北京華卓精(jing)(jing)科科技股份有限公司成立于2012年(nian)5月9日(ri),主(zhu)(zhu)營(ying)業(ye)務為(wei)集成電(dian)路制(zhi)造(zao)裝(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)及(ji)關(guan)鍵(jian)零部件的研發和產(chan)(chan)業(ye)化。目前產(chan)(chan)品包括超精(jing)(jing)密運動平臺、激(ji)光退火設(she)備(bei)(bei)、晶圓鍵(jian)合設(she)備(bei)(bei)、晶圓傳輸系統、主(zhu)(zhu)被動隔振器、靜(jing)電(dian)卡盤、精(jing)(jing)密測量系統等整機設(she)備(bei)(bei)及(ji)半導(dao)體關(guan)鍵(jian)零部件,主(zhu)(zhu)要應用(yong)于集成電(dian)路芯片(pian)制(zhi)造(zao)、先進封裝(zhuang)(zhuang)、功率器件制(zhi)造(zao)等產(chan)(chan)線,并在電(dian)子制(zhi)造(zao)、激(ji)光加工(gong)等技術領域(yu)實(shi)現廣泛(fan)應用(yong)。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日,有限(xian)公司整體變更為股份有限(xian)公司。華卓精科面(mian)向(xiang)國內外的IC制(zhi)造(zao)、光學、超(chao)精密制(zhi)造(zao)等行(xing)業,致力于為行(xing)業提供(gong)整機裝(zhuang)備(bei)、核心子系統、關鍵零(ling)部件和定制(zhi)服務,主營產品(pin)包含整機、超(chao)精密運(yun)動系統、精密儀器設備(bei)和特種制(zhi)造(zao)等方(fang)面(mian)。
華卓精(jing)(jing)科以國(guo)內高校的(de)原發技(ji)(ji)術為基礎,經過(guo)多年技(ji)(ji)術攻關(guan)和客戶實用,形成了堅(jian)實規范的(de)技(ji)(ji)術研發體系(xi),現在已經成功(gong)推(tui)出了光刻機雙(shuang)工件臺、精(jing)(jing)密(mi)隔(ge)振、超精(jing)(jing)密(mi)運(yun)動系(xi)統(tong)、關(guan)鍵零(ling)部(bu)件等系(xi)列化產(chan)品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |