盛美(mei)成立于(yu)2005年,是(shi)一家注(zhu)冊在上海(hai)浦東新區張江(jiang)高(gao)科技(ji)(ji)(ji)園區、具備(bei)(bei)(bei)世(shi)界先進技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)半(ban)導(dao)體設(she)備(bei)(bei)(bei)制造(zao)商(shang)。公司集研發(fa)、設(she)計(ji)、制造(zao)、銷售于(yu)一體,主(zhu)(zhu)要產(chan)品包括(kuo)半(ban)導(dao)體清(qing)洗(xi)設(she)備(bei)(bei)(bei)、半(ban)導(dao)體電鍍(du)設(she)備(bei)(bei)(bei)和先進封(feng)裝濕法設(she)備(bei)(bei)(bei)等。公司堅持差異(yi)化競爭和創新的(de)發(fa)展戰略,通過自(zi)主(zhu)(zhu)研發(fa)的(de)單(dan)片兆聲(sheng)波清(qing)洗(xi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)、單(dan)片槽式(shi)組合(he)清(qing)洗(xi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)、電鍍(du)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)、無(wu)應力拋(pao)光技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)和立式(shi)爐管技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)等,向(xiang)全球晶圓制造(zao)、先進封(feng)裝及其他客戶提(ti)供定制化的(de)設(she)備(bei)(bei)(bei)及工(gong)藝解決方案,有(you)效(xiao)提(ti)升客戶的(de)生(sheng)(sheng)產(chan)效(xiao)率(lv)、提(ti)升產(chan)品良率(lv)并降低生(sheng)(sheng)產(chan)成本。
盛美具有(you)高新技(ji)術企(qi)業資質(zhi),承擔(dan)十一五國家科(ke)技(ji)重(zhong)大專項(xiang)課題“65-45nm銅互連(lian)無應(ying)力拋光(guang)設(she)備(bei)研(yan)發(fa)(fa)(fa)項(xiang)目”的(de)研(yan)發(fa)(fa)(fa)和(he)(he)十二五國家科(ke)技(ji)重(zhong)大專項(xiang)課題“20-14nm銅互連(lian)鍍銅設(she)備(bei)研(yan)發(fa)(fa)(fa)與應(ying)用(yong)(yong)”和(he)(he)“45-22納米單片(pian)晶(jing)圓(yuan)清(qing)洗(xi)(xi)(xi)裝備(bei)研(yan)發(fa)(fa)(fa)與應(ying)用(yong)(yong)”的(de)研(yan)發(fa)(fa)(fa)。公司立足(zu)自主創新,通過多年(nian)的(de)技(ji)術研(yan)發(fa)(fa)(fa)和(he)(he)工藝積累,成功研(yan)發(fa)(fa)(fa)出全球(qiu)首創的(de) SAPS/TEBO 兆聲波清(qing)洗(xi)(xi)(xi)技(ji)術和(he)(he) Tahoe 單片(pian)槽式組合清(qing)洗(xi)(xi)(xi)技(ji)術,可應(ying)用(yong)(yong)于 28nm及以(yi)下技(ji)術節點的(de)晶(jing)圓(yuan)清(qing)洗(xi)(xi)(xi)領域,可有(you)效解決刻蝕后有(you)機沾污和(he)(he)顆粒的(de)清(qing)洗(xi)(xi)(xi)難題,并大幅減(jian)少濃硫酸等化學試劑的(de)使用(yong)(yong)量,在幫助客(ke)戶降低生產成本的(de)同時,滿足(zu)節能減(jian)排的(de)要求。
盛(sheng)美憑借先進的(de)(de)技術(shu)和豐富的(de)(de)產(chan)品線,已發(fa)展(zhan)成為中國(guo)大(da)陸少數具有一定國(guo)際競爭力的(de)(de)半導體專(zhuan)用設備提供商,產(chan)品得到眾多國(guo)內外主流半導體廠商的(de)(de)認可,并取得良好(hao)的(de)(de)市場口碑。