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專利名稱：半導體硅片液態源擴散爐
專利類型：發明
申請號：CN200610030727.X
公開(公告)號：CN101136325B
申請日：20060831
公開(公告)日：20100512
申請人：上海航天汽車機電股份有限公司,上海太陽能科技有限公司
發明人：符育剛,袁曉,李紅波
申請人地址：201206 上海市浦東新區榕橋路661號
申請人區域代碼：CN310115
專利權人：上海航天汽車機電股份有限公司,上海太陽能科技有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L21/22,H01L21/00
優先權：無
專利代理機構：上海航天局專利中心 31107
代理人：張緒成
審查員：高鶯然
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞(ci)

石英管,擴散爐管,擴散爐,半導體硅片,開放式結構,擴散,孔徑大小,擴散源,液態源,管壁,爐管,毛細,內壁,源瓶,連接,出口

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