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著錄信息
專利名稱:
石英舟檢具
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201620887473.2
公開(公告)號:
CN205898002U
申請日:
20160816
公開(公告)日:
20170118
申請人:
常州億晶光電科技有限公司
發明人:
吳俊,鄒海軍,吳佳俊,王少華,吳家宏,張凱勝,姚偉忠,孫鐵囤
申請人地址:
213213 江蘇省常州市金壇市堯塘鎮金武路18號
申請人區域代碼:
CN320482
專利權人:
常州億晶光電科技有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
G01B5/00
優先權:
無
專利代理機構:
常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
代理人:
鄭云
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
石英舟,底板,自動化設備,定位座,本實用新型,檢具,卡槽,立柱,滑動設置,間距分布,檢測設備,判斷標準,基準槽,硅片,產能,滑片,匹配,破損,檢驗,統一
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