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著錄信息
專利名稱:
硅片加工裝置
專利類型:
發明
申請號:
CN201310383210.9
公開(公告)號:
CN103471899B
申請日:
20130828
公開(公告)日:
20160120
申請人:
西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
發明人:
邢建龍,張治國,王真
申請人地址:
710100 陜西省西安市長安區航天中路388號
申請人區域代碼:
CN610116
專利權人:
西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
G01N1/32,H01L21/67,H01L21/02
優先權:
無
專利代理機構:
西安弘理專利事務所 61214
代理人:
羅笛
審查員:
王琴
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
硅片,安裝機構,機臺,加工盤,第一方向,硅片加工,加工機構,加工部,轉動,單晶硅,靠近,自動化操作,第二方向,生產效率,相對設置,依次設置,可移動,上部,設置,下部,遠離,傷害,帶動,加工,污染,進行
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