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專利名稱：一種調節裝置
專利類型：實用新型
申請號：CN201020565127.5
公開(公告)號：CN201842888U
申請日：20101016
公開(公告)日：20110525
申請人：中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
發明人：許亮
申請人地址：201203 上海市浦東新區張江路18號
申請人區域代碼：CN310115
專利權人：中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C23C16/455
優先權：無
專利代理機構：上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
代理人：屈蘅;李時云
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵(jian)詞(ci)

噴管,調節裝置,垂直距離,斜臺,底座,吸盤,化學氣相沉積,反應腔,吸盤表面,有刻度,底面,頂面,緊貼,大于

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