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專利名稱:
TFT基板的制作方法及其結構
專利類型:
發明
申請號:
CN201410415799.0
公開(公告)號:
CN104157608B
申請日:
20140820
公開(公告)日:
20170215
申請人:
深圳市華星光電技術有限公司
發明人:
王俊
申請人地址:
518132 廣東省深圳市光明新區塘明大道9—2號
申請人區域代碼:
CN440306
專利權人:
深圳市華星光電技術有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
H01L21/77,H01L27/12
優先權:
無
專利代理機構:
深圳市德力知識產權代理事務所 44265
代理人:
林才桂
審查員:
周文龍
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
光阻層,移除,沉積,絕緣層,第一金屬層,灰化處理,保護層,灰階,氧化物半導體層,透明導電薄膜,光阻間隔物,像素定義層,部分透明,導電薄膜,曝光,源/漏極,基板,制作
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