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專利名稱:
一種濕式刻蝕機的噴淋裝置
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201420418404.8
公開(公告)號:
CN204102920U
申請日:
20140728
公開(公告)日:
20150114
申請人:
浙江德西瑞光電科技有限公司
發明人:
侯飛
申請人地址:
314415 浙江省嘉興市海寧市尖山新區仙俠路116號
申請人區域代碼:
CN330481
專利權人:
浙江德西瑞光電科技有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
H01L31/18
優先權:
無
專利代理機構:
寧波市鄞州盛飛專利代理事務所(普通合伙) 33243
代理人:
張向飛
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關(guan)鍵詞
滾輪,噴淋裝置,槽體,刻蝕機,濕式,噴淋頭,輪軸,硅片表面,機械設備,均勻覆蓋,刻蝕溶液,輪軸高度,升降結構,腐蝕量,刻蝕槽,硅片,側壁,盛放,水膜,水管,電機,連接
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