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專利名稱：氣致冷多晶硅鑄錠爐的閉式冷卻系統
專利類型：實用新型
申請號：CN201120277027.7
公開(公告)號：CN202272988U
申請日：20110801
公開(公告)日：20120613
申請人：浙江晶盛機電股份有限公司,上虞晶信機電科技有限公司
發明人：曹建偉,石剛,傅林堅,葉欣,邱敏秀
申請人地址：312300 浙江省紹興市上虞市經濟技術開發區通江西路218號
申請人區域代碼：CN330682
專利權人：浙江晶盛機電股份有限公司,上虞晶信機電科技有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C30B28/06,C30B29/06
優先權：無
專利代理機構：杭州中成專利事務所有限公司 33212
代理人：金祺
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

熱交換,冷卻氣,多晶硅鑄錠,冷卻氣通道,出氣管路,進氣管路,致冷,坩堝,氣動力,坩堝底部溫度,閉式循環,長晶過程,輻射降溫,精確控制,均勻形核,冷卻方法,冷卻系統,氣體出口,氣體入口,下降速度,整體溫度,硅熔體,冷卻器,水冷式,支撐柱,泵組,閉式,底部,冷卻,連接,內部

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