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企(qi)業
著錄信息
專利名稱:
一種全解耦雙軸電容式微機械加速度計
專利類型:
發明
申請號:
CN200910242283.X
公開(公告)號:
CN101876665B
申請日:
20091211
公開(公告)日:
20120425
申請人:
紫光股份有限公司
發明人:
高宏,王慶
申請人地址:
北京市海淀區清華大學紫光大樓605室
申請人區域代碼:
CN110108
專利權人:
紫光股份有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
G01P15/125,B81B7/02
優先權:
無
專利代理機構:
北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
代理人:
羅文群
審查員:
臧自欣
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵(jian)詞
加速度計,電極,固定,敏感質量,折疊梁,電容,隔離,立柱,雙軸,方框,慣性傳感器,微機電系統,測量誤差,橫向隔離,交叉耦合,縱向固定,高精度,加速度
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