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著(zhu)錄信息

專利名稱：能夠防止硅片上浮的硅片筐提手
專利類型：實用新型
申請號：CN201420851682.2
公開(公告)號：CN204375780U
申請日：20141229
公開(公告)日：20150603
申請人：吉林華微電子股份有限公司
發明人：曲蕾,車陸,李軍,于雄飛
申請人地址：132013 吉林省吉林市深圳街99號
申請人區域代碼：CN220211
專利權人：吉林華微電子股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L31/18
優先權：無
專利代理機構：長春菁華專利商標代理事務所 22210
代理人：陶尊新
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

橫擋,硅片,下部,上浮,腐蝕,兩側,右端,左端,半導體器件芯片,腐蝕液,有兩種,橫梁,滾輪,套管,提手,液面,平行,右側,轉動,左側,露出,連接,脫離,接觸,停止

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