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專利名稱：一種AZO透明導電薄膜的制備方法
專利類型：發明
申請號：CN201410141358.6
公開(公告)號：CN103938210B
申請日：20140410
公開(公告)日：20160817
申請人：三峽大學,湖北三峽新型建材股份有限公司
發明人：孫宜華,陳劍,呂鑫,方亮,王海林
申請人地址：443002 湖北省宜昌市大學路8號
申請人區域代碼：CN420502
專利權人：三峽大學,湖北三峽新型建材股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C23C28/04,C23C18/12,C23C14/06,C23C14/35
優先權：無
專利代理機構：宜昌市三峽專利事務所 42103
代理人：成鋼
審查員：趙亞斌
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

制備,磁控濺射法,薄膜,透明導電薄膜,應用前景廣闊,薄膜光電,玻璃基片,低溫條件,光電材料,使用壽命,綜合性能,附著性,凝膠法,凝膠,沉積

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