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專利名稱:
一種氧化物陶瓷濺射靶的制備方法
專利類型:
發明
申請號:
CN201110262874.0
公開(公告)號:
CN102409299B
申請日:
20110907
公開(公告)日:
20140806
申請人:
三峽大學,孫宜華,湖北三峽新型建材股份有限公司
發明人:
孫宜華,呂鑫
申請人地址:
443002 湖北省宜昌市大學路8號
申請人區域代碼:
CN420502
專利權人:
三峽大學,孫宜華,湖北三峽新型建材股份有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
C23C14/34,C23C14/08,B23K1/19,B23K35/26,C22C13/00
優先權:
無
專利代理機構:
宜昌市三峽專利事務所 42103
代理人:
成鋼
審查員:
張占江
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵(jian)詞
背板,連接,陶瓷靶材,濺射靶,氧化物陶瓷,功率密度,釬焊合金,靶材,合金,釬料潤濕性,抗剪強度,連接材料,特定含量,穩定濺射,真空濺射,制備方法,低成本,高效率,過渡層,極薄
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