一、光學3d輪廓測量儀是什么

光學(xue)3d輪廓測(ce)量(liang)(liang)儀(yi)也叫白光干涉(she)儀(yi)，是目前三(san)(san)維形貌(mao)測(ce)量(liang)(liang)領域高精度(du)的(de)3D三(san)(san)維測(ce)量(liang)(liang)儀(yi)器之(zhi)一。在同(tong)等放大倍(bei)率(lv)下，測(ce)量(liang)(liang)精度(du)和(he)重復性(xing)都(dou)高于共聚焦(jiao)(jiao)顯(xian)微鏡(jing)和(he)聚焦(jiao)(jiao)成像(xiang)顯(xian)微鏡(jing)。光學(xue)3d輪廓測(ce)量(liang)(liang)儀(yi)是以(yi)白光干涉(she)測(ce)量(liang)(liang)技術為(wei)基礎而(er)(er)研發生產(chan)(chan)的(de)，采用的(de)是非(fei)接觸式光學(xue)測(ce)量(liang)(liang)，在獲得實時數據(ju)的(de)同(tong)時，不(bu)會對產(chan)(chan)品造成任(ren)何損(sun)傷(shang)，從(cong)而(er)(er)有效節約了生產(chan)(chan)成本，提高了生產(chan)(chan)效率(lv)，并(bing)且(qie)在線檢測(ce)，沒(mei)有滯(zhi)后(hou)性(xing)，從(cong)而(er)(er)減少(shao)不(bu)合格品，對表面缺陷檢測(ce)亦如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它儀(yi)器達(da)不到檢測(ce)的精度要求。

光學3d輪廓(kuo)測量儀的優點：

1、非(fei)接(jie)觸(chu)高精密測量，不會(hui)劃傷甚至破壞(huai)工件(jian)。

2、測量速度快，不必像探頭(tou)逐點進行測量。

3、不必作(zuo)探(tan)頭半徑補正，光點位置就(jiu)是工件(jian)表面測(ce)量(liang)的位置。

4、對高(gao)深寬比(bi)的溝槽結構(gou)，可以快速(su)而精確的得到理想的測(ce)量結果。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分辨率：0.1nm

2、橫向(xiang)分辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙(cao)度RMS重復性：0.1nm

4、表面形貌重復(fu)性：0.1nm

5、臺階測量：重復(fu)性：0.1%；準確度：0.75%

6、主要特點：非接觸式無損檢測(ce)，一鍵分(fen)析(xi)、快(kuai)速高效。