沈(shen)陽(yang)芯源微電子設備股(gu)份有限(xian)公(gong)司成立于2002年,是由中科院(yuan)沈(shen)陽(yang)自(zi)動化研(yan)究所發起創建的國家高(gao)新技術(shu)企業,專(zhuan)業從事(shi)半(ban)導(dao)(dao)體生產設備的研(yan)發、生產、銷售(shou)與(yu)服務,致力于為客戶(hu)提供半(ban)導(dao)(dao)體裝備與(yu)工藝整體解(jie)決方案(an)。
芯(xin)源公(gong)司(si)總部(bu)位于(yu)(yu)沈(shen)陽市渾南區,并在上海臨港設(she)有全資子公(gong)司(si)。公(gong)司(si)總部(bu)占地4萬平米,擁有專業的(de)(de)集(ji)成(cheng)(cheng)電路工(gong)藝(yi)(yi)開發(fa)和檢測(ce)實驗室以(yi)及半(ban)導(dao)體設(she)備(bei)生(sheng)(sheng)產(chan)組裝(zhuang)(zhuang)車(che)間。芯(xin)源公(gong)司(si)通過多年技術積累、創新提高(gao),形成(cheng)(cheng)自主知(zhi)識產(chan)權體系(xi)(xi),已(yi)擁有授(shou)權專利(li)212項(xiang),其中發(fa)明專利(li)159項(xiang)。沈(shen)陽芯(xin)源公(gong)司(si)作為國(guo)內(nei)知(zhi)名的(de)(de)高(gao)端(duan)半(ban)導(dao)體裝(zhuang)(zhuang)備(bei)制(zhi)造(zao)企業,所開發(fa)的(de)(de)涂膠(jiao)機(ji)、顯(xian)影機(ji)、噴膠(jiao)機(ji)、去膠(jiao)機(ji)、濕法(fa)刻(ke)蝕機(ji)、單片清洗機(ji)等(deng)產(chan)品(pin),已(yi)形成(cheng)(cheng)完整(zheng)的(de)(de)技術體系(xi)(xi)和豐(feng)富的(de)(de)產(chan)品(pin)系(xi)(xi)列(lie),可(ke)根據(ju)用(yong)戶的(de)(de)工(gong)藝(yi)(yi)要求(qiu)量身定制(zhi)。產(chan)品(pin)適應不(bu)同(tong)工(gong)藝(yi)(yi)等(deng)級的(de)(de)客戶要求(qiu),廣泛應用(yong)于(yu)(yu)半(ban)導(dao)體生(sheng)(sheng)產(chan)、高(gao)端(duan)封裝(zhuang)(zhuang)、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等(deng)領域(yu)。可(ke)滿足(zu)300mm前道制(zhi)程及300mm先進封裝(zhuang)(zhuang)厚膠(jiao)工(gong)藝(yi)(yi)制(zhi)程。芯(xin)源公(gong)司(si)連續(xu)承擔國(guo)家(jia)02科(ke)技重大(da)專項(xiang)《極大(da)規模集(ji)成(cheng)(cheng)電路制(zhi)造(zao)裝(zhuang)(zhuang)備(bei)及成(cheng)(cheng)套工(gong)藝(yi)(yi)》項(xiang)目。
2019年12月16日,芯(xin)(xin)源(yuan)公司(si)在上交所科創(chuang)板上市,借力資本市場,芯(xin)(xin)源(yuan)將加速提(ti)升(sheng)企業(ye)的(de)創(chuang)新(xin)能力和產(chan)(chan)品(pin)成(cheng)套能力,以(yi)先(xian)進可(ke)靠的(de)產(chan)(chan)品(pin)和優質服務贏(ying)得(de)客(ke)戶信賴,為客(ke)戶提(ti)供先(xian)進的(de)半導體設備,助推(tui)產(chan)(chan)業(ye)技術(shu)進步。