成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上海微電子裝(zhuang)備(集團)股份有限公司(簡稱SMEE)主要(yao)致力于半(ban)導(dao)體裝備、泛半(ban)導(dao)體裝備、高端智(zhi)能裝備的開發、設(she)計、制(zhi)(zhi)造、銷(xiao)售及技術(shu)服務。公司設(she)備廣泛應用于集(ji)成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制(zhi)(zhi)造領(ling)域。
SMEE致力于以極致服務,造高端產品(pin),創卓越價值,全(quan)天候(hou)、多方位(wei)、全(quan)身(shen)心地為(wei)顧客提供優質產品(pin)和技術服務。
SMEE已通過ISO27001信息安全、ISO9001質(zhi)量(liang)管理和ISO14001環(huan)境管理等體系(xi)的(de)(de)國(guo)際認(ren)證,力(li)求為客戶(hu)提供持(chi)續(xu)、穩定、高(gao)品質(zhi)的(de)(de)產品和服務,并履行一個優秀的(de)(de)高(gao)科(ke)技企業的(de)(de)社會責任。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |