上海(hai)華力微(wei)電子(zi)(zi)有(you)限公司(si),是中(zhong)國大陸(lu)一條全自動12英寸集(ji)成電路Foundry生(sheng)產線,工(gong)藝水平達到55-40-28nm技(ji)術(shu)等(deng)級,月產能達3.5萬片(pian)。華力微(wei)電子(zi)(zi)采用代工(gong)模式,為設計公司(si)、IDM公司(si)和其他系統公司(si)代工(gong)邏輯(ji)和閃存(cun)芯片(pian)。公司(si)位于中(zhong)國上海(hai)張江高(gao)科技(ji)園區,在中(zhong)國臺灣地區、日本、北美等(deng)地均(jun)設有(you)辦公室,提供銷售與技(ji)術(shu)支持(chi)。
華(hua)力微(wei)電子(zi)廠房面積超過9萬(wan)平(ping)方(fang)米(mi),其中凈化面積超過1.5萬(wan)平(ping)方(fang)米(mi)。生產線采(cai)用精良生產設備,能滿足193nm浸沒式光刻(ke)技(ji)術(shu)、應變硅技(ji)術(shu)、銅后道(dao)金屬(shu)互連技(ji)術(shu)、大馬士革(ge)一體化刻(ke)蝕技(ji)術(shu)等工藝技(ji)術(shu)的要求,同時還配備了業界的亮場缺陷檢(jian)測(ce)和(he)電子(zi)掃描(miao)顯微(wei)鏡等檢(jian)測(ce)設備。
華力微電(dian)子采用全自動硅(gui)片搬送系統(tong)(tong)和(he)全自動派工系統(tong)(tong),建(jian)立了集成電(dian)路“柔性(xing)全自動生產系統(tong)(tong)”,可(ke)靈活調配(pei)產能,產線良率指標達到(dao)業(ye)界(jie)前沿水平(ping)。
華(hua)力(li)微電子建(jian)立了擁有自主知識產(chan)權的(de)55-40-28nm邏輯工藝技術平(ping)臺和延伸的(de)特色工藝技術,可以滿足客戶在低功耗、高(gao)性能、射頻、高(gao)壓、圖像傳感器、嵌入式存儲器等多種芯片的(de)大規模生產(chan)需求。