上海(hai)華(hua)力微電子有限公(gong)(gong)司(si),是(shi)中(zhong)國(guo)(guo)大陸一條全自動12英寸集成(cheng)電路Foundry生產線,工藝水平達(da)(da)到55-40-28nm技(ji)術(shu)等級(ji),月產能達(da)(da)3.5萬片。華(hua)力微電子采用代工模(mo)式,為設(she)計公(gong)(gong)司(si)、IDM公(gong)(gong)司(si)和其他(ta)系統公(gong)(gong)司(si)代工邏(luo)輯和閃存芯片。公(gong)(gong)司(si)位于(yu)中(zhong)國(guo)(guo)上海(hai)張江(jiang)高(gao)科技(ji)園區(qu),在中(zhong)國(guo)(guo)臺灣(wan)地區(qu)、日本、北(bei)美等地均設(she)有辦公(gong)(gong)室,提(ti)供銷售(shou)與技(ji)術(shu)支(zhi)持。
華力微電(dian)子(zi)廠房面積(ji)超過9萬平方米,其(qi)中凈化(hua)面積(ji)超過1.5萬平方米。生產線采用(yong)精(jing)良生產設備(bei),能滿足(zu)193nm浸沒(mei)式光(guang)刻(ke)技(ji)術(shu)(shu)、應變硅(gui)技(ji)術(shu)(shu)、銅后道金屬互連技(ji)術(shu)(shu)、大馬士(shi)革(ge)一體化(hua)刻(ke)蝕技(ji)術(shu)(shu)等工藝技(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)要求(qiu),同時還配備(bei)了(le)業界的(de)(de)亮(liang)場(chang)缺陷(xian)檢測和(he)電(dian)子(zi)掃(sao)描顯微鏡等檢測設備(bei)。
華力微(wei)電(dian)子采(cai)用(yong)全(quan)(quan)自(zi)(zi)動硅片(pian)搬送(song)系統和全(quan)(quan)自(zi)(zi)動派工系統,建(jian)立了(le)集成電(dian)路“柔性全(quan)(quan)自(zi)(zi)動生(sheng)產(chan)(chan)系統”,可(ke)靈活調配產(chan)(chan)能,產(chan)(chan)線良率指標達到業界前沿(yan)水平(ping)。
華力微電(dian)子(zi)建立了(le)擁有自主(zhu)知識產(chan)權的55-40-28nm邏(luo)輯(ji)工藝技(ji)術平臺和延伸的特色工藝技(ji)術,可(ke)以滿足客戶在低功(gong)耗、高(gao)性能、射頻(pin)、高(gao)壓、圖像傳感器、嵌入式(shi)存儲器等多(duo)種芯(xin)片的大規模生產(chan)需求。