中國(guo)科(ke)學院(yuan)(yuan)沈(shen)陽科(ke)學儀器股份有限公(gong)(gong)(gong)司(si)(以下(xia)簡稱 “公(gong)(gong)(gong)司(si)”)創建(jian)于1958年,前身為中國(guo)科(ke)學院(yuan)(yuan)沈(shen)陽科(ke)學儀器研(yan)制(zhi)中心。園區位于遼寧省(sheng)沈(shen)陽市渾南區,占地(di)面(mian)積110畝(mu),建(jian)筑面(mian)積3.5萬平(ping)方米(mi)。多年來,公(gong)(gong)(gong)司(si)專注于高真空(kong)(kong)、超高真空(kong)(kong)、超潔凈真空(kong)(kong)技(ji)術的研(yan)究和(he)(he)發展,是(shi)我國(guo)集成電路裝(zhuang)備和(he)(he)真空(kong)(kong)儀器設備的研(yan)制(zhi)、生產基(ji)地(di),先后組(zu)建(jian)“國(guo)家分子束(shu)外延技(ji)術試驗(yan)基(ji)地(di)”、“國(guo)家真空(kong)(kong)儀器裝(zhuang)置工程技(ji)術研(yan)究中心”和(he)(he)“真空(kong)(kong)技(ji)術裝(zhuang)備國(guo)家工程實驗(yan)室”等科(ke)研(yan)平(ping)臺。
公(gong)(gong)(gong)司主要從事干(gan)(gan)式真(zhen)空(kong)泵(beng)、真(zhen)空(kong)儀(yi)器(qi)(qi)設備(bei)的(de)(de)研發(fa)、生產(chan)和銷售,并提供相關技(ji)(ji)(ji)(ji)術服務。公(gong)(gong)(gong)司產(chan)品主要包括系(xi)(xi)列(lie)羅茨干(gan)(gan)泵(beng)、系(xi)(xi)列(lie)渦(wo)旋干(gan)(gan)泵(beng)、大(da)科學裝置、真(zhen)空(kong)薄(bo)膜(mo)儀(yi)器(qi)(qi)設備(bei)和新(xin)(xin)(xin)材(cai)料制(zhi)備(bei)設備(bei)等。公(gong)(gong)(gong)司承擔了(le)國(guo)(guo)家(jia)“極大(da)規模(mo)集成(cheng)電路制(zhi)造裝備(bei)及(ji)成(cheng)套工藝”(“02專(zhuan)(zhuan)項(xiang)”)、“高檔數控機床與基礎制(zhi)造裝備(bei)”(“04”專(zhuan)(zhuan)項(xiang))、“國(guo)(guo)家(jia)重點研發(fa)計劃”等科技(ji)(ji)(ji)(ji)專(zhuan)(zhuan)項(xiang),并通過自(zi)主研發(fa)創新(xin)(xin)(xin)實(shi)現了(le)國(guo)(guo)產(chan)干(gan)(gan)式真(zhen)空(kong)泵(beng)在集成(cheng)電路領(ling)域的(de)(de)批量(liang)應用,打破(po)了(le)歐美(mei)及(ji)日本企(qi)(qi)業(ye)(ye)對同類產(chan)品的(de)(de)長期(qi)壟斷,實(shi)現了(le)關鍵裝備(bei)的(de)(de)進(jin)口替代(dai)。先后獲(huo)得國(guo)(guo)家(jia)科技(ji)(ji)(ji)(ji)進(jin)步獎六項(xiang),中國(guo)(guo)科學院(yuan)及(ji)省(sheng)部級科技(ji)(ji)(ji)(ji)進(jin)步獎二十項(xiang),擁有專(zhuan)(zhuan)利七(qi)十一項(xiang),被(bei)認定為(wei)國(guo)(guo)家(jia)高新(xin)(xin)(xin)技(ji)(ji)(ji)(ji)術企(qi)(qi)業(ye)(ye)、國(guo)(guo)家(jia)知識產(chan)權優勢企(qi)(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)(liao)寧(ning)省(sheng)技(ji)(ji)(ji)(ji)術創新(xin)(xin)(xin)示范(fan)企(qi)(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)(liao)寧(ning)省(sheng)創新(xin)(xin)(xin)型中小(xiao)企(qi)(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)(liao)寧(ning)省(sheng)省(sheng)級企(qi)(qi)業(ye)(ye)技(ji)(ji)(ji)(ji)術中心、沈陽市科技(ji)(ji)(ji)(ji)領(ling)航型企(qi)(qi)業(ye)(ye)、沈陽市科技(ji)(ji)(ji)(ji)小(xiao)巨人企(qi)(qi)業(ye)(ye)等。
公(gong)司(si)設立(li)有(you)2個全資子公(gong)司(si)——上海上凱儀(yi)真空技(ji)術有(you)限(xian)公(gong)司(si)、中(zhong)(zhong)科(ke)儀(yi)(南(nan)通)半導體(ti)設備(bei)有(you)限(xian)責任公(gong)司(si);1個分公(gong)司(si)——中(zhong)(zhong)國科(ke)學院沈(shen)陽科(ke)學儀(yi)器股份有(you)限(xian)公(gong)司(si)上海分公(gong)司(si)。