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三井造船株式會社專利CN201180038790.7介紹
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專利名稱:
感應加熱裝置及感應加熱方法
專利類型:
發明
申請號:
CN201180038790.7
公開(公告)號:
CN103069921B
申請日:
20110728
公開(公告)日:
20150603
申請人:
三井造船株式會社
發明人:
內田直喜,岡崎良弘,尾崎一博
申請人地址:
日本東京都
申請人區域代碼:
JP
專利權人:
三井造船株式會社
洛迦諾分類:
無
IPC:
H01L21/205,H01L21/22,H01L21/324,H05B6/10,H05B6/44
優先權:
JP2010-178725 20100809
專利代理機構:
北京市柳沈律師事務所 11105
代理人:
岳雪蘭
審查員:
孫長欣
國際申請:
PCT/JP2011/067346 20110728
國際公開(公告):
WO2012/020652 20120216
進入國家日期:
20130206
分案申請:
無
關(guan)鍵詞
加熱線圈,感應加熱線圈,感受器,熱處理裝置,晶片,垂直方向配置,區域控制裝置,半導體基板,電磁耦合,電流波形,加熱控制,間接加熱,水平配置,相互感應,耦合線圈,耦合,電流,外周,平行,交流
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