一、低溫真空泵是什么真空泵
低(di)(di)溫(wen)(wen)真空泵是一種(zhong)利用(yong)20K以(yi)下(xia)的低(di)(di)溫(wen)(wen)表面凝(ning)聚吸附氣體(ti)的真空泵,又叫冷泵、冷凝(ning)泵,一般(ban)是以(yi)低(di)(di)溫(wen)(wen)液(ye)體(ti)(液(ye)氮或液(ye)氦)或低(di)(di)溫(wen)(wen)制(zhi)冷機為冷源。
二、低溫真空泵的原理與結構
低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)真(zhen)空泵主要由泵殼、障(zhang)板(ban)和(he)冷(leng)(leng)屏、冷(leng)(leng)頭、二級冷(leng)(leng)板(ban)等組成,其作用(yong)原(yuan)理是:依靠冷(leng)(leng)源提供的冷(leng)(leng)量使表面氣體(ti)被冷(leng)(leng)到低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)冷(leng)(leng)凝(ning)時(shi)壓(ya)力下(xia)降,不(bu)冷(leng)(leng)凝(ning)氣體(ti)在(zai)低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)下(xia)被固體(ti)吸(xi)附劑吸(xi)附,從而達(da)到排氣的效果,獲得潔(jie)凈真(zhen)空,低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)抽氣的主要作用(yong)是低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)冷(leng)(leng)凝(ning)、低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)吸(xi)附和(he)低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)捕集(ji)。
三、低溫真空泵的優點
1、高極限真空度
標準的低溫真空泵,其極限真空度可達10-7Pa,必要時,在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa,而理論上,甚至于達到10-11Pa以上(shang)極高(gao)真(zhen)空。
2、大抽速
低溫真(zhen)空(kong)泵(beng)的抽速(su)(su)較快,尤(you)其(qi)對水具有超高(gao)的抽速(su)(su),其(qi)遠高(gao)于其(qi)它真(zhen)空(kong)泵(beng),低溫泵(beng)的高(gao)抽速(su)(su)使(shi)得(de)建立真(zhen)空(kong)的速(su)(su)度比其(qi)他真(zhen)空(kong)泵(beng)快,可以大大提高(gao)產品產出量。
3、潔凈
低溫(wen)泵是真(zhen)正的潔凈無油、抽速(su)高(gao)的高(gao)真(zhen)空(kong)泵,它是利用低溫(wen)冷板來(lai)冷凝、吸附氣體而獲得(de)和(he)保(bao)持(chi)真(zhen)空(kong),在(zai)真(zhen)空(kong)區域(yu)任何(he)沒有(you)運動部件,沒有(you)油,所有(you)清潔無污(wu)染。
4、運行成本低
低溫真空(kong)泵可(ke)大(da)大(da)減少電(dian)能消耗(hao),尤其是大(da)口徑泵。就抽速而言,低溫泵僅(jin)需1/3的能耗(hao)就可(ke)以達到與擴散泵同等的效果(guo)。
5、安全可靠
低溫真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的真(zhen)空(kong)(kong)腔內無運(yun)動(dong)部件(jian),來(lai)(lai)自外(wai)界的干擾或來(lai)(lai)自真(zhen)空(kong)(kong)系統的微粒不(bu)影響(xiang)工作;同時,由于(yu)低溫泵(beng)回溫具有一(yi)定“慣性”,可在突然(ran)停(ting)電的情況下(xia),有效(xiao)地保護(hu)真(zhen)空(kong)(kong)腔體內真(zhen)空(kong)(kong),不(bu)至(zhi)于(yu)被鍍(du)工件(jian)受到影響(xiang)。
6、使用方便
低溫泵(beng)對(dui)安裝(zhuang)方位(wei)沒要求,可(ke)以泵(beng)口(kou)超上、泵(beng)口(kou)朝下、水平位(wei)置安裝(zhuang)或以腔體需要的任何角度安裝(zhuang)。
7、使用壽命長
低溫(wen)真空泵運動部件少(shao)且低速運行,通(tong)過日常的(de)保養維護,低溫(wen)泵的(de)正常的(de)使用壽(shou)命(ming)可達5~6萬(wan)小時,有(you)的(de)甚至超過8萬(wan)小時。
四、低溫真空泵的缺點
1、需要降溫時(shi)間(準備時(shi)間)。
2、需要再生。
3、購置成(cheng)本高。
五、低溫真空泵應用領域有哪些
低溫泵(beng)適合用(yong)于需要(yao)高真空度的領(ling)域,尤(you)其適合應用(yong)于要(yao)求潔凈無油或快速(su)抽氣的場合,例(li)如半導(dao)體(ti)與集成電(dian)(dian)路前工序、光學(xue)鍍膜(mo)、太陽能電(dian)(dian)池板、光電(dian)(dian)子(zi)器件和真空電(dian)(dian)子(zi)器件制(zhi)造、平板顯(xian)示器件鍍膜(mo)等領(ling)域。