一、制造芯片一定要光刻機嗎
芯片生產是一定要光刻機的(de)。光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)是芯片制造(zao)(zao)的(de)核心(xin)設備之一。目(mu)前有用于生產的(de)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji),有用于LED制造(zao)(zao)領域的(de)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji),還(huan)有用于封裝的(de)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)。光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)是采用類似照片沖印(yin)的(de)技術,然后把掩膜版上的(de)精細圖形通過光(guang)(guang)線的(de)曝光(guang)(guang)印(yin)制到硅(gui)片上。
在加工芯(xin)片(pian)的過程中,光刻(ke)(ke)機通(tong)過一系列的光源能量、形(xing)狀(zhuang)控(kong)制手(shou)段,將(jiang)光束透(tou)射(she)過畫著線路圖(tu)的掩模,經(jing)物鏡(jing)補(bu)償各種(zhong)光學誤差,將(jiang)線路圖(tu)成比例縮(suo)小后(hou)映射(she)到硅片(pian)上,然(ran)后(hou)使用化(hua)學方法顯影(ying),得(de)到刻(ke)(ke)在硅片(pian)上的電路圖(tu)。
光刻機(ji)(ji)是(shi)半導(dao)體行業最重(zhong)要(yao)的設備(bei)之一,是(shi)“沙子變(bian)芯(xin)片”最重(zhong)要(yao)的設備(bei)。離開(kai)光刻機(ji)(ji),玩(wan)不(bu)轉(zhuan)芯(xin)片,離開(kai)高端光刻機(ji)(ji),玩(wan)不(bu)轉(zhuan)高端芯(xin)片。目(mu)前,還沒有替代設備(bei)能夠(gou)代替光刻機(ji)(ji)。
二、蝕刻機能代替光刻機嗎
蝕(shi)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)不能(neng)代替(ti)光刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)。光刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)的(de)精(jing)度和難度的(de)要求都比(bi)蝕(shi)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)高出很多(duo),在需要光刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)加工的(de)時候蝕(shi)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)有些不能(neng)辦到,并且(qie)蝕(shi)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)的(de)精(jing)度十分(fen)籠統,而光刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)對精(jing)度的(de)要求十分(fen)細致,所以蝕(shi)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)不能(neng)代替(ti)光刻(ke)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)。
蝕刻機和光刻機無(wu)論(lun)是從(cong)工藝、流(liu)程、設(she)備(bei)性能、精度等方面都有很(hen)大(da)的區別,主要區別如下:
光刻機的難(nan)度大于蝕(shi)刻機,光刻機是把圖(tu)案印上去(qu),而蝕(shi)刻機是根據(ju)打印的圖(tu)案去(qu)掉有(you)無圖(tu)案的部分,將剩下的留(liu)下。