一、光刻機是干什么用的
光刻機是(shi)(shi)用來制造芯片(pian)的(de)。光(guang)刻(ke)機又(you)被稱為(wei)掩膜對準(zhun)曝光(guang)機,在(zai)芯片(pian)生產中(zhong)用于光(guang)刻(ke)工藝,而光(guang)刻(ke)工藝又(you)是(shi)(shi)生產流程中(zhong)最關鍵(jian)的(de)一步,所以光(guang)刻(ke)機又(you)是(shi)(shi)芯片(pian)生產中(zhong)不(bu)可缺少(shao)的(de)設備。
光刻機(ji)決定了芯片的精(jing)密尺寸,設(she)計(ji)師設(she)計(ji)好(hao)芯片線路,再通過光刻機(ji)將線路刻在芯片上(shang),其尺度通常在微米級以上(shang)。
光刻機(ji)是芯(xin)(xin)片(pian)(pian)生產中最(zui)昂(ang)貴也(ye)是技(ji)術難度最(zui)大的設備,因為(wei)其決定了一塊芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的整體框架與功能。
其實生(sheng)(sheng)產高(gao)精度(du)芯(xin)片并(bing)不(bu)難,只是生(sheng)(sheng)產速度(du)太慢,而光刻機能(neng)快(kuai)速生(sheng)(sheng)產高(gao)精度(du)的(de)芯(xin)片,所以很(hen)重(zhong)要。
二、光刻機的工作原理
利(li)用(yong)光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)發出的(de)光(guang)(guang)(guang)通過具(ju)有圖(tu)形(xing)的(de)光(guang)(guang)(guang)罩對涂有光(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠的(de)薄(bo)片(pian)曝光(guang)(guang)(guang),光(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠見光(guang)(guang)(guang)后會發生性質變化(hua),從而使光(guang)(guang)(guang)罩上(shang)得圖(tu)形(xing)復印(yin)到薄(bo)片(pian)上(shang),從而使薄(bo)片(pian)具(ju)有電子線(xian)路(lu)圖(tu)的(de)作(zuo)(zuo)用(yong)。這就是(shi)光(guang)(guang)(guang)刻(ke)的(de)作(zuo)(zuo)用(yong),類似照(zhao)相(xiang)機(ji)照(zhao)相(xiang)。照(zhao)相(xiang)機(ji)拍攝(she)的(de)照(zhao)片(pian)是(shi)印(yin)在底片(pian)上(shang),而光(guang)(guang)(guang)刻(ke)刻(ke)的(de)不是(shi)照(zhao)片(pian),而是(shi)電路(lu)圖(tu)和其他電子元(yuan)件。
簡單點來(lai)說,光(guang)刻機(ji)就(jiu)(jiu)是放(fang)大的單反,光(guang)刻機(ji)就(jiu)(jiu)是將光(guang)罩(zhao)上的設計好集成電(dian)路圖(tu)形(xing)通過光(guang)線的曝光(guang)印到光(guang)感(gan)材料上,形(xing)成圖(tu)形(xing)。
三、光刻機的性能指標
光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸(cun)范圍,分辨(bian)率、對準精度、曝光(guang)方式、光(guang)源波長、光(guang)強均(jun)勻(yun)性、生(sheng)產效率等(deng)。
分辨(bian)率(lv)是對光(guang)刻(ke)工藝加(jia)工可以(yi)達(da)到的(de)最細線條精度的(de)一種描(miao)述方(fang)式。光(guang)刻(ke)的(de)分辨(bian)率(lv)受受光(guang)源衍射(she)的(de)限制(zhi),所以(yi)與光(guang)源、光(guang)刻(ke)系統、光(guang)刻(ke)膠和工藝等各方(fang)面的(de)限制(zhi)。
對準精(jing)度(du)是在多(duo)層曝(pu)光(guang)時層間圖案的定位精(jing)度(du)。
曝光方式(shi)(shi)分(fen)為接觸接近(jin)式(shi)(shi)、投影式(shi)(shi)和直寫式(shi)(shi)。
曝光光源(yuan)波長分(fen)(fen)為紫(zi)(zi)外(wai)、深紫(zi)(zi)外(wai)和(he)極紫(zi)(zi)外(wai)區(qu)域,光源(yuan)有汞燈,準分(fen)(fen)子(zi)激光器等。