一、真空手套箱的使用方法

操作前

1、檢查氮氣(qi)瓶(ping)里是否有氮氣(qi)，氮氣(qi)要(yao)及時更(geng)換，氮氣(qi)的輸出(chu)壓(ya)力設定為0.5mpa。

2、檢查(cha)真(zhen)空泵是否正常開啟。

3、檢查(cha)手套(tao)箱內循環(huan)是否打開。（凈化柱(zhu)-I或(huo)凈化柱(zhu)-II要打開其中(zhong)的一個）

4、檢(jian)查設定里的上限(xian)壓力(li)應為(wei)+1，下限(xian)壓力(li)為(wei)0。

5、檢查氧(yang)和露點是否正常（氧(yang)為0.1ppm以(yi)(yi)下，露點-40以(yi)(yi)上）。

6、過(guo)渡艙真空泵(beng)應處于(yu)常開狀態(tai)。

操作時

1、系(xi)統工作中真空泵應保持開啟(qi)狀態(tai)。

2、當(dang)箱內(nei)氧(yang)氣濃度超出(chu)200PPM時，應通知(zhi)設備維(wei)修人員進(jin)行系統操作，否則(ze)會破(po)壞水、氧(yang)凈化系統。

3、在啟動循環前做檢(jian)查，是否在進行(xing)箱體(ti)情況或再生。如以(yi)上提及的操作正在進行(xing)，絕(jue)對禁止進行(xing)循環。

4、兩個凈化(hua)柱(zhu)不(bu)可以同(tong)時(shi)再生。

A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈（H2O<200ppm）保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。

B、啟動再(zai)生之前(qian)，請(qing)先確(que)認(ren)相應的凈化柱(zhu)循環已關閉。

C、再(zai)生(sheng)過程需要24小時，一旦執行不能(neng)被斷開，再(zai)生(sheng)開始后3-6小時通再(zai)生(sheng)氣(qi)體(ti)注(zhu)意再(zai)生(sheng)氣(qi)的(de)用量，適當調整再(zai)生(sheng)氣(qi)體(ti)的(de)壓力，包證再(zai)生(sheng)氣(qi)在這3小時的(de)充足供應，第(di)6小時后可以關閉再(zai)生(sheng)氣(qi)源。

D、再生過程(cheng)中真空泵不可以關閉(bi)，不要(yao)觸(chu)摸凈(jing)化柱的頂(ding)部，以防燙傷。

E、再(zai)(zai)生一(yi)旦意外(wai)終止，請保證12小時內不能重新啟動(dong)該凈化柱的再(zai)(zai)生和循環(huan)否則將損壞設備。

5、作業中(zhong)應注意保護作業手套不要被(bei)損壞。

二、真空手套箱的使用注意事項

1、請使用AC220V－50HZ的(de)電(dian)源供電(dian)，同時注意設備的(de)接地良好。

2、建議(yi)使用(yong)H2含(han)量(liang)(liang)為5％－10％的混合(he)氣源。H2含(han)量(liang)(liang)低于5％，系統還原效果差；H2含(han)量(liang)(liang)高(gao)于10％，可(ke)能會產生爆炸。

3、使(shi)用的(de)氣源（混(hun)合氣體或惰性(xing)氣體）請保證其壓力值(zhi)X的(de)范圍(wei)如下：3kg≤X≤30kg（3bar≤X≤30bar；0.3MPA≤X≤3MPA）；當氣源的(de)壓力值(zhi)低于3kg時(shi)(shi)，系統(tong)不工作；當氣源的(de)壓力值(zhi)高于30kg時(shi)(shi)，管道可(ke)能會破(po)裂。

4、氣(qi)體(ti)凈化系統(tong)補水(shui)(shui)箱內必須保證有充足(zu)的循(xun)環冷卻(que)水(shui)(shui)，否則系統(tong)工(gong)作時會產生(sheng)高溫。冷卻(que)水(shui)(shui)的水(shui)(shui)源禁止使用冰鹽水(shui)(shui)或其他腐蝕(shi)性的液體(ti)。建議使用普通的自來水(shui)(shui)。

5、不得對真空手套箱箱(xiang)體(ti)進行抽真(zhen)空(kong)或充(chong)高(gao)正(zheng)壓，箱(xiang)體(ti)承受壓力范圍為：-3000Pa～+3000Pa。

6、不得擊打(da)、不得用利器(qi)劃傷箱(xiang)體玻(bo)璃面板(ban)。

7、在對過渡艙抽真(zhen)空(kong)時必須(xu)將過渡艙內(nei)門(men)、外門(men)，過渡艙上的閥門(men)以(yi)及過渡艙與(yu)箱體(ti)連接(jie)的閥門(men)全部關(guan)閉(bi)（除(chu)“過渡艙真(zhen)空(kong)閥”），以(yi)免使(shi)箱體(ti)形(xing)成負壓而損壞(huai)箱體(ti)。

8、過渡(du)艙內(nei)門和外門不(bu)得同時打開，以(yi)免外部氣(qi)體直接擴散(san)到箱體內(nei)，破(po)壞潔凈(jing)環境。

9、大過渡艙門(men)要完全(quan)打開后才能推(tui)動門(men)桿把門(men)打開，以(yi)免(mian)擦刮破(po)壞密封膠圈。

10、在開啟過(guo)(guo)(guo)渡艙(cang)內門前必須先保證過(guo)(guo)(guo)渡艙(cang)和箱(xiang)體之間(jian)的壓力達到(dao)了(le)平衡，否則過(guo)(guo)(guo)渡艙(cang)門無法開啟，如(ru)強行開啟會嚴重損壞(huai)過(guo)(guo)(guo)渡艙(cang)密(mi)封圈。

11、對過(guo)渡艙(cang)抽真空時(shi)，必須保證過(guo)渡艙(cang)內沒有放置密閉常壓（易碎）容器，以免損壞。

12、在(zai)對(dui)氣(qi)體(ti)(ti)凈(jing)化系統進行(xing)還原處理時(shi)必須保證有混合氣(qi)體(ti)(ti)和惰性氣(qi)體(ti)(ti)氣(qi)源，否則(ze)不能啟動(dong)系統的(de)還原程序。

13、氣體(ti)凈化(hua)系統的冷卻水出(chu)口必須(xu)為常開(kai)，不(bu)得(de)安裝閥門或堵(du)上。

14、氣(qi)體凈(jing)化(hua)系統在進(jin)行凈(jing)化(hua)程序時必須保證箱體與氣(qi)體凈(jing)化(hua)系統之間(jian)的(de)連接管道是暢通(tong)的(de)。

15、氣(qi)體凈化系統的廢氣(qi)排出口應單獨(du)連接，將廢氣(qi)排出室(shi)外或(huo)妥善處(chu)理。

16、真空(kong)泵(beng)(beng)在使用時須(xu)按說明書上的要(yao)求操作并保證有足夠的真空(kong)泵(beng)(beng)油。當真空(kong)泵(beng)(beng)油需要(yao)添加或(huo)更換時，請(qing)使用真空(kong)泵(beng)(beng)專用油或(huo)該真空(kong)泵(beng)(beng)的原裝(zhuang)真空(kong)泵(beng)(beng)油。