一、真空手套箱的使用方法
操作前
1、檢查氮氣(qi)瓶(ping)里是否有氮氣(qi),氮氣(qi)要及時更(geng)換,氮氣(qi)的輸出壓力設定為0.5mpa。
2、檢(jian)查(cha)真(zhen)空泵是否正常開(kai)啟(qi)。
3、檢(jian)查手套箱內循環是否打(da)開。(凈化(hua)柱(zhu)(zhu)-I或凈化(hua)柱(zhu)(zhu)-II要(yao)打(da)開其中的一個)
4、檢查設定里(li)的(de)上限(xian)壓(ya)力應為+1,下(xia)限(xian)壓(ya)力為0。
5、檢查(cha)氧和露點是(shi)否正常(氧為0.1ppm以下,露點-40以上)。
6、過(guo)渡艙真空泵應處(chu)于常開(kai)狀態(tai)。
操作時
1、系統工(gong)作中真(zhen)空泵應保持開啟狀態。
2、當箱內氧氣濃度(du)超出(chu)200PPM時(shi),應通知設備維修人員進行系統操(cao)作(zuo),否則會破壞水(shui)、氧凈(jing)化(hua)系統。
3、在(zai)啟動循環前(qian)做(zuo)檢查,是否在(zai)進行(xing)(xing)箱體情況或再生(sheng)。如以上提及的(de)操作正在(zai)進行(xing)(xing),絕對禁(jin)止進行(xing)(xing)循環。
4、兩(liang)個凈化柱不(bu)可(ke)以(yi)同時(shi)再(zai)生。
A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈(H2O<200ppm)保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。
B、啟動(dong)再生之前,請先(xian)確認相應的凈化柱循環已關閉。
C、再(zai)(zai)生(sheng)過程需要24小(xiao)時(shi),一旦執行(xing)不能(neng)被斷開,再(zai)(zai)生(sheng)開始后3-6小(xiao)時(shi)通再(zai)(zai)生(sheng)氣(qi)(qi)體注意再(zai)(zai)生(sheng)氣(qi)(qi)的(de)用量(liang),適當(dang)調整(zheng)再(zai)(zai)生(sheng)氣(qi)(qi)體的(de)壓力,包(bao)證再(zai)(zai)生(sheng)氣(qi)(qi)在這3小(xiao)時(shi)的(de)充足供應,第6小(xiao)時(shi)后可以關(guan)閉再(zai)(zai)生(sheng)氣(qi)(qi)源。
D、再生過程中真空泵不(bu)可(ke)以關(guan)閉,不(bu)要觸摸(mo)凈化(hua)柱的頂部(bu),以防燙傷。
E、再生一旦意外終止,請保證12小時內不能重新(xin)啟動該凈化柱的再生和循環否則將損壞設(she)備。
5、作業中應注(zhu)意保護(hu)作業手套不要被損(sun)壞。
二、真空手套箱的使用注意事項
1、請使用AC220V-50HZ的電(dian)(dian)源供電(dian)(dian),同時(shi)注意設備的接地(di)良好。
2、建議使用H2含(han)量(liang)為(wei)5%-10%的混合(he)氣源。H2含(han)量(liang)低(di)于5%,系統還原效果差;H2含(han)量(liang)高于10%,可能會產生爆(bao)炸(zha)。
3、使用(yong)的氣(qi)源(混合氣(qi)體或惰性氣(qi)體)請保證其壓力(li)(li)值(zhi)(zhi)X的范圍如下:3kg≤X≤30kg(3bar≤X≤30bar;0.3MPA≤X≤3MPA);當氣(qi)源的壓力(li)(li)值(zhi)(zhi)低于3kg時,系統不工(gong)作;當氣(qi)源的壓力(li)(li)值(zhi)(zhi)高于30kg時,管(guan)道可能會破裂(lie)。
4、氣體凈化系(xi)統(tong)(tong)補水(shui)(shui)箱內必須保證(zheng)有(you)充足的循環冷卻水(shui)(shui),否(fou)則(ze)系(xi)統(tong)(tong)工作時會產生高(gao)溫。冷卻水(shui)(shui)的水(shui)(shui)源禁止(zhi)使用(yong)冰鹽(yan)水(shui)(shui)或其(qi)他(ta)腐蝕性的液體。建議使用(yong)普通(tong)的自來水(shui)(shui)。
5、不得對真空手套箱箱體(ti)(ti)進(jin)行(xing)抽(chou)真空(kong)或充高正壓,箱體(ti)(ti)承受壓力(li)范圍為:-3000Pa~+3000Pa。
6、不得擊打、不得用利(li)器劃傷箱體玻璃面板(ban)。
7、在(zai)對過(guo)(guo)渡(du)艙抽真空(kong)時必須將過(guo)(guo)渡(du)艙內門(men)(men)、外門(men)(men),過(guo)(guo)渡(du)艙上的(de)閥門(men)(men)以及過(guo)(guo)渡(du)艙與(yu)箱(xiang)體連(lian)接的(de)閥門(men)(men)全部關閉(除(chu)“過(guo)(guo)渡(du)艙真空(kong)閥”),以免使箱(xiang)體形成負壓(ya)而損壞箱(xiang)體。
8、過渡艙內門和外門不得同(tong)時打開,以免外部氣(qi)體(ti)直接擴散到箱體(ti)內,破壞潔凈環(huan)境。
9、大過渡艙門要完全打開后才能推動門桿(gan)把門打開,以免擦刮破壞密封膠圈。
10、在開(kai)啟過渡(du)艙(cang)內門(men)前必(bi)須先保證(zheng)過渡(du)艙(cang)和(he)箱體之間(jian)的壓力達(da)到了平衡,否則過渡(du)艙(cang)門(men)無(wu)法(fa)開(kai)啟,如強行開(kai)啟會嚴重損壞過渡(du)艙(cang)密封圈。
11、對過渡(du)艙抽(chou)真空時,必(bi)須保(bao)證過渡(du)艙內(nei)沒(mei)有(you)放(fang)置密閉常壓(易碎)容器,以免(mian)損壞(huai)。
12、在(zai)對氣體凈化系統進(jin)行還原處理(li)時必須保證有(you)混合氣體和(he)惰性(xing)氣體氣源(yuan),否(fou)則不(bu)能(neng)啟動(dong)系統的還原程序。
13、氣(qi)體(ti)凈化系統的冷(leng)卻水(shui)出口必須為常開(kai),不(bu)得安(an)裝閥(fa)門或堵上。
14、氣體(ti)凈(jing)(jing)化(hua)系統在進行(xing)凈(jing)(jing)化(hua)程序時必須(xu)保證箱體(ti)與氣體(ti)凈(jing)(jing)化(hua)系統之(zhi)間的(de)(de)連(lian)接管道是暢通(tong)的(de)(de)。
15、氣體(ti)凈(jing)化(hua)系統(tong)的廢氣排出(chu)(chu)口應單獨連接,將廢氣排出(chu)(chu)室(shi)外或妥(tuo)善(shan)處(chu)理。
16、真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)在(zai)使用時須按說明(ming)書上(shang)的(de)(de)要(yao)求操作并保證有足(zu)夠的(de)(de)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)油(you)。當真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)油(you)需(xu)要(yao)添加或更換(huan)時,請使用真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)專用油(you)或該真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)原(yuan)裝真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)油(you)。