一、探針的種類有哪些

在晶圓或芯(xin)片測(ce)試的過程中，通常(chang)會使用探針來準確連接(jie)晶圓或芯(xin)片的引(yin)腳或錫球與(yu)測(ce)試機(ji)，以(yi)便檢測(ce)產品的導通性(xing)(xing)、電流性(xing)(xing)、功(gong)能(neng)性(xing)(xing)和老化性(xing)(xing)等(deng)性(xing)(xing)能(neng)指標。那么你(ni)知道探針的種類(lei)有(you)哪(na)些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性(xing)探針是(shi)一(yi)個由螺旋彈(dan)簧(huang)組成的(de)探針，其兩端連接(jie)在上(shang)下柱栓上(shang)。螺旋彈(dan)簧(huang)的(de)中間部分(fen)緊(jin)密纏(chan)繞在一(yi)起，以防止(zhi)產生額外的(de)電感和附件電阻。而彈(dan)簧(huang)的(de)兩端部分(fen)則被稀疏纏(chan)繞，以降低探針對被測試物(wu)體的(de)壓力。在檢測集(ji)成電路時，信(xin)號會從下柱栓流向上(shang)方，形(xing)成導電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂(bei)(bei)探(tan)針(zhen)為探(tan)針(zhen)部(bu)提供適當的縱向(xiang)位(wei)移，用于通過橫向(xiang)懸臂(bei)(bei)接觸待測半導(dao)體(ti)產品(pin)，以(yi)避免(mian)探(tan)針(zhen)部(bu)對待測半導(dao)體(ti)產品(pin)施加過大(da)的針(zhen)壓。

（3）垂直(zhi)式探針

垂直探針(zhen)可(ke)以對應(ying)高(gao)密度(du)信號觸點的待測半導體產(chan)品的細間(jian)距排列(lie)，針(zhen)尖接觸待測半導體產(chan)品所需的縱向位(wei)移可(ke)以通(tong)過針(zhen)體本身的彈性變形來(lai)提供(gong)。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中(zhong)，鎢髁合金(jin)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)具有穩定的(de)接觸電阻，兼顧(gu)硬度(du)和柔韌性，不易發生探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)偏差。因此，鎢髁合金(jin)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)是目前性能良好(hao)的(de)一(yi)種常見探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同(tong)軸探(tan)針用(yong)于對測(ce)試頻率(lv)比較敏(min)感的測(ce)試環(huan)境(jing)；普(pu)通探(tan)針用(yong)于對信號衰減不敏(min)感的測(ce)試環(huan)境(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料(liao)(liao)：選擇(ze)材(cai)質通常為316不(bu)銹鋼(gang)、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼(gang)等。不(bu)同(tong)材(cai)料(liao)(liao)的(de)探(tan)(tan)針具有(you)不(bu)同(tong)的(de)化學惰(duo)性和機械性能，對探(tan)(tan)測的(de)液體和氣體有(you)不(bu)同(tong)的(de)適應性。

（2）形狀：選(xuan)(xuan)擇(ze)探針的(de)形狀應該根據實(shi)驗(yan)需求進行選(xuan)(xuan)擇(ze)，通常(chang)探針的(de)形狀為直棒狀、U形、Z形等。考(kao)慮到實(shi)驗(yan)的(de)靈(ling)敏度問題，在選(xuan)(xuan)用探針時必須與被測物相匹配。

（3）長度(du)(du)(du)：探針的(de)長度(du)(du)(du)是(shi)下降(jiang)液(ye)面幅度(du)(du)(du)的(de)關鍵因素。為獲得準確的(de)下降(jiang)水(shui)平，要根(gen)據實(shi)際測量(liang)需求選擇合適的(de)長度(du)(du)(du)。

（4）直徑：探(tan)針的粗細通常采用(yong)0.5mm至5mm之間(jian)。過(guo)粗的探(tan)針會影響測量的靈敏(min)度，過(guo)細的探(tan)針則可能會導致探(tan)針的折斷(duan)。

（5）表面處(chu)理(li)：在實驗中(zhong)，探(tan)針處(chu)于探(tan)測(ce)的介(jie)質中(zhong)，探(tan)針的表面形態和(he)性質會直接影(ying)響到測(ce)量結果。因此，探(tan)針的表面要求經過光潔處(chu)理(li)和(he)表面處(chu)理(li)。

2、探針的要求

（1）質量(liang)問題(ti)：在(zai)使用過程中應定期(qi)進(jin)行質量(liang)檢查。探針的質量(liang)差(cha)會導致測量(liang)誤差(cha)增大(da)，嚴(yan)重(zhong)時可能會損壞實驗設(she)備。

（2）加工(gong)工(gong)藝問題：在探針的制作(zuo)過(guo)程中，要保(bao)證探針的形(xing)狀(zhuang)、尺寸的精確與穩(wen)定(ding)。

（3）使用(yong)注(zhu)意事項：避免在測量過程中引入空氣，勿使用(yong)有(you)陷進、連續(xu)的(de)探針以免擾動測量，對(dui)于使用(yong)多個探針進行測量的(de)情(qing)況要確保探針之間的(de)長(chang)度和間距足(zu)夠。

（4）存(cun)儲和保養(yang)問題：盡(jin)可能(neng)地保證存(cun)儲環境無除(chu)塵(chen)、避(bi)光性好；探針表面不(bu)能(neng)有(you)刮傷等損壞，使用前應清洗干凈(jing)且消(xiao)毒(du)處理(li)。