一、探針的種類有哪些

在(zai)晶圓(yuan)或芯(xin)片(pian)測試的過(guo)程中，通(tong)常會使用探(tan)針來準確連接晶圓(yuan)或芯(xin)片(pian)的引腳或錫球與測試機，以便檢測產品的導(dao)通(tong)性、電流性、功能(neng)性和老化性等性能(neng)指標。那么你知(zhi)道(dao)探(tan)針的種(zhong)類有哪些嗎(ma)？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性探(tan)針是(shi)一(yi)個由(you)螺旋彈(dan)簧(huang)組成(cheng)的探(tan)針，其(qi)兩(liang)(liang)端(duan)連接在(zai)上(shang)下柱栓(shuan)上(shang)。螺旋彈(dan)簧(huang)的中間部(bu)分(fen)緊密纏(chan)繞(rao)在(zai)一(yi)起(qi)，以(yi)防止產生額外的電(dian)感和附(fu)件電(dian)阻。而彈(dan)簧(huang)的兩(liang)(liang)端(duan)部(bu)分(fen)則(ze)被稀疏纏(chan)繞(rao)，以(yi)降(jiang)低探(tan)針對被測試物體的壓力。在(zai)檢測集成(cheng)電(dian)路(lu)時，信號會從下柱栓(shuan)流向(xiang)上(shang)方(fang)，形成(cheng)導電(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂(bei)探(tan)針為探(tan)針部提供(gong)適當的縱(zong)向位移，用(yong)于通(tong)過橫(heng)向懸臂(bei)接觸待測半(ban)導體產品(pin)(pin)，以避免探(tan)針部對待測半(ban)導體產品(pin)(pin)施加(jia)過大的針壓(ya)。

（3）垂直式探針

垂直探(tan)針(zhen)可(ke)以對(dui)應高密度(du)信(xin)號觸(chu)點的待測半(ban)導體(ti)產品的細間距排列(lie)，針(zhen)尖(jian)接觸(chu)待測半(ban)導體(ti)產品所需的縱向(xiang)位移(yi)可(ke)以通過(guo)針(zhen)體(ti)本(ben)身的彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中(zhong)，鎢(wu)髁(ke)合(he)(he)金(jin)探(tan)針(zhen)具有穩定的接觸(chu)電阻，兼(jian)顧硬(ying)度和柔韌性，不易(yi)發生探(tan)針(zhen)偏差。因此，鎢(wu)髁(ke)合(he)(he)金(jin)探(tan)針(zhen)是目前性能良好的一種常見(jian)探(tan)針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針(zhen)用于對測(ce)試(shi)頻率比較敏感(gan)的測(ce)試(shi)環境；普通探針(zhen)用于對信號衰減不(bu)敏感(gan)的測(ce)試(shi)環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料(liao)：選(xuan)擇材(cai)質(zhi)通(tong)常為316不銹鋼、金屬玻璃(li)、石英玻璃(li)、硅、玻璃(li)鋼等。不同材(cai)料(liao)的探針具有(you)不同的化學惰性和機械(xie)性能，對探測的液體和氣體有(you)不同的適應性。

（2）形(xing)(xing)狀：選(xuan)擇探(tan)針的(de)形(xing)(xing)狀應該根據(ju)實驗(yan)需求進行選(xuan)擇，通常探(tan)針的(de)形(xing)(xing)狀為(wei)直棒狀、U形(xing)(xing)、Z形(xing)(xing)等(deng)。考(kao)慮到實驗(yan)的(de)靈敏度問題，在選(xuan)用(yong)探(tan)針時必須(xu)與被測物相匹(pi)配(pei)。

（3）長度(du)(du)：探針的(de)(de)長度(du)(du)是下(xia)降液面幅度(du)(du)的(de)(de)關鍵因素。為獲得準確的(de)(de)下(xia)降水平(ping)，要根據(ju)實際測量需求選擇合適(shi)的(de)(de)長度(du)(du)。

（4）直徑：探(tan)針(zhen)的粗細通常采用0.5mm至5mm之(zhi)間(jian)。過粗的探(tan)針(zhen)會(hui)影響測量(liang)的靈敏度，過細的探(tan)針(zhen)則(ze)可(ke)能會(hui)導(dao)致探(tan)針(zhen)的折斷。

（5）表面(mian)(mian)處理：在實驗中，探(tan)(tan)針處于探(tan)(tan)測(ce)的(de)介質中，探(tan)(tan)針的(de)表面(mian)(mian)形態和(he)性(xing)質會直(zhi)接(jie)影響到測(ce)量結果。因此，探(tan)(tan)針的(de)表面(mian)(mian)要求經過(guo)光潔處理和(he)表面(mian)(mian)處理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量問題：在使(shi)用過程中應定期(qi)進行質(zhi)量檢查。探針的質(zhi)量差(cha)會導(dao)致測量誤差(cha)增(zeng)大，嚴重(zhong)時(shi)可能會損(sun)壞實驗(yan)設備。

（2）加工工藝(yi)問題：在探(tan)針(zhen)的制作(zuo)過程中，要保證探(tan)針(zhen)的形狀、尺寸(cun)的精確與穩(wen)定。

（3）使(shi)用(yong)注意事項：避免在測(ce)(ce)量過程(cheng)中引(yin)入空氣，勿(wu)使(shi)用(yong)有(you)陷(xian)進、連續的(de)(de)探(tan)(tan)針以免擾動(dong)測(ce)(ce)量，對(dui)于使(shi)用(yong)多(duo)個探(tan)(tan)針進行測(ce)(ce)量的(de)(de)情(qing)況(kuang)要確保(bao)探(tan)(tan)針之間的(de)(de)長度和間距足夠。

（4）存(cun)(cun)儲和保養問題：盡(jin)可(ke)能地(di)保證存(cun)(cun)儲環境無(wu)除塵、避光性好；探針(zhen)表面不能有刮傷等損壞，使用(yong)前(qian)應清洗干(gan)凈且消毒處理。