中科院長春光(guang)學精(jing)密機械與(yu)物理研究(jiu)所(suo)研究(jiu)人員(yuan)開發了(le)(le)一種(zhong)新型飛秒激光(guang)等離(li)子激元(yuan)光(guang)刻(ke)技(ji)術（FPL）。利(li)用該技(ji)術，研究(jiu)人員(yuan)在百納米(mi)厚的(de)硅(gui)基氧化石墨烯薄膜表面實(shi)現(xian)了(le)(le)高(gao)質量微納周期結構(gou)的(de)快速制(zhi)(zhi)備，首(shou)次證明了(le)(le)FPL技(ji)術在二(er)維薄膜材料(liao)上能夠實(shi)現(xian)大(da)面積(ji)高(gao)質量亞(ya)微米(mi)周期結構(gou)的(de)快速制(zhi)(zhi)備。

在此之前，在石墨烯上(shang)制(zhi)備微納結構的技術有(you)自(zi)組裝、電(dian)子束刻蝕和極紫外光刻等(deng)，但(dan)這些技術存在著耗時長、成本高、缺乏通用性等(deng)問題。

FPL技術加(jia)工過程不易受(shou)材(cai)料(liao)表面缺陷、雜質等因素(su)的(de)(de)(de)(de)影響，加(jia)工基底也(ye)不易受(shou)到材(cai)料(liao)種類(lei)的(de)(de)(de)(de)限(xian)制。加(jia)工材(cai)料(liao)表現出了優異(yi)的(de)(de)(de)(de)機械性(xing)能，可以利用傳統的(de)(de)(de)(de)濕轉(zhuan)移法進行完整(zheng)轉(zhuan)移。這為(wei)相關材(cai)料(liao)周期性(xing)微(wei)納結(jie)構的(de)(de)(de)(de)靈活制備(bei)奠定了基礎(chu)。