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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速退火爐是用于快速熱處理、熱氧化處理、高(gao)溫退火的設備(bei),采(cai)用先進的微電腦控(kong)制系統(tong),采(cai)用PID閉環控(kong)制溫度,可以達到極高(gao)的控(kong)溫精(jing)度和溫度均勻性(xing),并且可配(pei)置真空腔體(ti),也可根(gen)據用戶工(gong)藝(yi)需求配(pei)置多路氣(qi)體(ti)。

主要功(gong)能和(he)特點:

1、可視化7寸(cun)觸摸(mo)屏,設定(ding)數據和操作(zuo)都是圖文界面,操作(zuo)方(fang)便。

2、爐體配備高精度移動平臺(tai),運(yun)行平穩無抖動。

3、爐(lu)(lu)管可(ke)(ke)自由移動(dong),且密封法(fa)蘭之間用搭扣壓(ya)緊連接,放、取物(wu)料(liao)(liao)方便(bian)快(kuai)捷,避免了螺栓密封人為操作導致(zhi)漏氣的(de)(de)可(ke)(ke)能(neng)、減少了因安裝法(fa)蘭而造成加熱(re)(re)管損壞的(de)(de)可(ke)(ke)能(neng)、當(dang)爐(lu)(lu)管移出(chu)爐(lu)(lu)膛時冷(leng)確風扇啟(qi)動(dong),可(ke)(ke)實(shi)現試樣的(de)(de)迅速降溫,滿(man)足材料(liao)(liao)驟冷(leng)驟熱(re)(re)的(de)(de)實(shi)驗要求。

4、爐膛采(cai)用(yong)進(jin)口(kou)多(duo)晶纖維真空吸附(fu)制成,采(cai)用(yong)進(jin)口(kou)紅(hong)外線加熱管加熱,使用(yong)壽命可達5000小時,升溫(wen)速度(du)快,最高溫(wen)度(du)可達1050℃。

5、預留了真(zhen)空(kong)、氣路快速接口,可(ke)配合我(wo)司真(zhen)空(kong)系統(tong)、混氣系統(tong)使(shi)用(yong)。

6、預留了485轉(zhuan)換接口,可通過(guo)我司專用(yong)軟件,與計算機互聯,可實現單臺或(huo)者(zhe)多(duo)臺電爐(lu)的遠程控制、實時追蹤、歷(li)史記錄、輸(shu)出報表等功能。

7、設置超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應用領域介紹吧!

1、快(kuai)速(su)熱處理(li)(RTP),快(kuai)速(su)退火(huo)(RTA),快(kuai)速(su)熱氧(yang)化(RTO),快(kuai)速(su)熱氮化(RTN)。

2、離子注入(ru)/接(jie)觸退(tui)火(huo)。

3、金屬合金。

4、熱(re)氧(yang)化處理。

5、化合物合金(jin)(砷化鎵、氮化物等(deng))。

6、多晶硅退火。

7、太(tai)陽能(neng)電池片(pian)退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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