一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內，測量曲線上的(de)極限值±F不(bu)超過精(jing)度等級±a，也就是(shi)光(guang)柵尺(chi)的測量(liang)結(jie)果與實(shi)際值(zhi)之間的差(cha)距小(xiao)于所標(biao)稱的值(zhi)，如(ru)有效測量(liang)范圍2040mm，精度3um的光(guang)柵尺(chi)，任意一(yi)米范圍內的測量(liang)結(jie)果與實(shi)際值(zhi)的差(cha)距小(xiao)于±3um，注意，不是±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)是在顯示設備上（如(ru)數(shu)顯表、數(shu)控系統），其數(shu)值(zhi)累加的最小(xiao)單位(wei)。光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)的分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)與(yu)信(xin)(xin)號類型(xing)有(you)關，如(ru)1Vpp正(zheng)弦(xian)波信(xin)(xin)號可以(yi)任意倍頻，所以(yi)1Vpp信(xin)(xin)號的光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)其分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)由(you)接收端(duan)的設備（如(ru)數(shu)顯表或數(shu)控系統）確定，光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)信(xin)(xin)號周(zhou)期20um，20倍頻后(hou)是0.001mm，如(ru)果200倍頻后(hou)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)就是0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區別

對于傳感(gan)器的分辨率與精(jing)度(du)的理解(jie)，可以拿千分尺為例(li)，分辨率代表(biao)千分尺，最(zui)多可以讀到小(xiao)數點后(hou)幾位(wei)，但精(jing)度(du)還與尺子的加工精(jing)度(du)，測量(liang)方法有關系。同(tong)樣的，在光柵尺的使用中，分辨率與精(jing)度(du)是(shi)完全不同(tong)的兩個(ge)概念。

光(guang)柵尺的(de)分(fen)(fen)辨率，是指光(guang)柵尺可(ke)讀取并輸出的(de)最(zui)小長度變化，對應的(de)參數(shu)有：每毫米光(guang)柵刻(ke)線(xian)(xian)數(shu)、脈沖數(shu)、細(xi)(xi)分(fen)(fen)等。比(bi)如50線(xian)(xian)光(guang)柵和100線(xian)(xian)光(guang)柵在同(tong)等條件下分(fen)(fen)辨率就不一(yi)(yi)樣(yang)，同(tong)等的(de)50線(xian)(xian)光(guang)柵如果細(xi)(xi)分(fen)(fen)方法不一(yi)(yi)樣(yang)分(fen)(fen)辨率也會(hui)不一(yi)(yi)樣(yang)。

光(guang)柵尺(chi)的(de)精度反映了光(guang)柵尺(chi)輸出(chu)的(de)信號數據(ju)對測(ce)量(liang)的(de)真(zhen)實長(chang)度的(de)準確度，可以理(li)解(jie)為測(ce)量(liang)誤差值，是(shi)(shi)已測(ce)定(ding)的(de)固定(ding)值，對應(ying)的(de)參數是(shi)(shi)微米（μm）、納米（nm）。

目前國(guo)內光柵尺分辨(bian)率(lv)一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些分辨(bian)率(lv)是怎么得來的呢？

以每毫米50線光柵為例，經過4細分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細分，這也是目前國內機床尺的多數工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細分技術，增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應(ying)用于儀器儀表如視(shi)頻儀、工具顯(xian)微(wei)鏡、CNC加(jia)工中心等(deng)。