一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內，測量曲線(xian)上的極限值(zhi)±F不(bu)超過精度等級±a，也就是光柵尺(chi)(chi)的測量結果(guo)與實(shi)際值之間的差距小(xiao)于所標(biao)稱的值，如(ru)有效測量范圍(wei)2040mm，精度3um的光柵尺(chi)(chi)，任意一米范圍(wei)內的測量結果(guo)與實(shi)際值的差距小(xiao)于±3um，注意，不是±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率是(shi)在顯(xian)示設備(bei)上（如(ru)(ru)數(shu)(shu)顯(xian)表(biao)、數(shu)(shu)控系(xi)統），其(qi)數(shu)(shu)值累加(jia)的最小單位。光(guang)柵尺的分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率與信(xin)號(hao)類型(xing)有關，如(ru)(ru)1Vpp正(zheng)弦波(bo)信(xin)號(hao)可(ke)以任意倍(bei)頻(pin)，所以1Vpp信(xin)號(hao)的光(guang)柵尺其(qi)分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率由(you)接收端的設備(bei)（如(ru)(ru)數(shu)(shu)顯(xian)表(biao)或數(shu)(shu)控系(xi)統）確定，光(guang)柵尺信(xin)號(hao)周期(qi)20um，20倍(bei)頻(pin)后是(shi)0.001mm，如(ru)(ru)果200倍(bei)頻(pin)后分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率就是(shi)0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區別

對于傳感器的(de)(de)分辨(bian)率與精度(du)的(de)(de)理(li)解，可以(yi)拿千分尺(chi)(chi)為(wei)例，分辨(bian)率代表千分尺(chi)(chi)，最多(duo)可以(yi)讀到小(xiao)數點后幾位，但(dan)精度(du)還與尺(chi)(chi)子的(de)(de)加工(gong)精度(du)，測量(liang)方(fang)法有關系。同(tong)樣的(de)(de)，在(zai)光柵尺(chi)(chi)的(de)(de)使用中，分辨(bian)率與精度(du)是完全不同(tong)的(de)(de)兩個概念(nian)。

光柵尺的分(fen)(fen)辨(bian)率，是指光柵尺可讀取并輸出(chu)的最(zui)小長度變化，對應(ying)的參數(shu)有：每毫米光柵刻線數(shu)、脈沖數(shu)、細(xi)分(fen)(fen)等(deng)。比(bi)如50線光柵和(he)100線光柵在同(tong)等(deng)條件下分(fen)(fen)辨(bian)率就(jiu)不(bu)(bu)一樣(yang)(yang)，同(tong)等(deng)的50線光柵如果細(xi)分(fen)(fen)方法不(bu)(bu)一樣(yang)(yang)分(fen)(fen)辨(bian)率也會不(bu)(bu)一樣(yang)(yang)。

光柵(zha)尺(chi)的(de)精度(du)反映了光柵(zha)尺(chi)輸出的(de)信號數據對(dui)測量的(de)真實長度(du)的(de)準確度(du)，可(ke)以理解為測量誤差(cha)值，是已測定(ding)的(de)固定(ding)值，對(dui)應(ying)的(de)參數是微米(mi)（μm）、納米(mi)（nm）。

目前國(guo)內光(guang)柵尺分辨(bian)率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么(me)這些分辨(bian)率是(shi)怎么(me)得來的呢？

以每毫米50線光柵為例，經過4細分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細分，這也是目前國內機床尺的多數工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細分技術，增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應用于儀(yi)(yi)器儀(yi)(yi)表如(ru)視頻儀(yi)(yi)、工(gong)具顯微(wei)鏡、CNC加工(gong)中心等。