一、振鏡1和振鏡2是什么意思

1、振鏡1（或者叫振鏡X）

振鏡1的(de)(de)(de)寬度是(shi)由光(guang)束的(de)(de)(de)直徑所決定的(de)(de)(de)。完整光(guang)束直徑在這里是(shi)比較容易(yi)討論的(de)(de)(de)，完整的(de)(de)(de)光(guang)束直徑在一定程度上(shang)是(shi)任意的(de)(de)(de)。

例如，一(yi)個系(xi)統設計師(shi)可(ke)(ke)能(neng)將DF界定為激光射在有機玻(bo)璃留(liu)下的(de)(de)燒(shao)焦的(de)(de)光束直徑。另外(wai)DF可(ke)(ke)能(neng)被(bei)定為一(yi)個能(neng)量為99%的(de)(de)標(biao)準能(neng)量點，或者是限(xian)定在某(mou)個范圍內，如1.4D–1.6D。

考慮(lv)到鏡(jing)片(pian)的(de)誤差(cha)，振(zhen)鏡(jing)的(de)寬W1要略微大(da)于所選擇的(de)DF的(de)值。鏡(jing)片(pian)上(shang)的(de)最大(da)入射(she)角(jiao)imax決定了振(zhen)鏡(jing)的(de)長(chang)度。讓a=(90°-imax)。當振(zhen)鏡(jing)的(de)長(chang)度是(shi)L1，這里L1=W1/sina。

2、振鏡2（或者叫振鏡y）

振(zhen)鏡(jing)2的(de)(de)寬度應該等于振(zhen)鏡(jing)1的(de)(de)長度。振(zhen)鏡(jing)2的(de)(de)長度就(jiu)是光束打在第二個振(zhen)鏡(jing)上時同S1的(de)(de)距離(li)，和最大入射角(jiao)q。這些鏡(jing)片被制作并被鍍上的(de)(de)特(te)定的(de)(de)膜層(ceng)，從而(er)決定用于CO2激光還是YAG激光。他們有很高的(de)(de)激光損傷(shang)值，1000w/mm的(de)(de)情況下光束直徑是1/e2（D）。

我(wo)們(men)將鏡頭描(miao)述(shu)為F-theta鏡頭，或者‘Fq’。設計的(de)方法(fa)是(shi)要(yao)產生一個(ge)離軸點(dian)的(de)位置成正比的(de)掃(sao)(sao)描(miao)角度(du)。依次(ci)，就是(shi)要(yao)產生成正比的(de)電壓，已適用于掃(sao)(sao)描(miao)器馬(ma)達。由于失(shi)真(zhen)是(shi)來自于兩個(ge)振鏡，所以我(wo)們(men)兩個(ge)軸上(shang)的(de)掃(sao)(sao)描(miao)器要(yao)有能夠轉動(dong)F-theta的(de)特征(zheng)。

二、振鏡1和振鏡2怎么調比例

為了使軟件坐標與實(shi)(shi)(shi)際運行距離(li)場地對(dui)應及輸出軌跡不失真(zhen)，則需要需要實(shi)(shi)(shi)時(shi)的對(dui)每一個(ge)數據點進(jin)行校(xiao)正(zheng)，通常采用查找表分段線(xian)性插值的方法(fa)進(jin)行位(wei)置(zhi)(zhi)校(xiao)正(zheng)，校(xiao)正(zheng)點越(yue)多實(shi)(shi)(shi)際輸出位(wei)置(zhi)(zhi)越(yue)精準。

正運動SCAN控制(zhi)器提供了BOX校正、多點校正等方法，不管是(shi)系數校正還是(shi)多點校正，校正點參數都是(shi)寫(xie)到控制(zhi)器內(nei)部(bu)系統數組TABLE寄(ji)存(cun)器的。因(yin)此在程序中有其他功能應用到TABLE寄(ji)存(cun)器時需要注意地址的合理分配。

1、Box系數校正

系數(shu)(shu)校正(zheng)指的是根據振鏡(jing)輸出圖形枕(zhen)/桶形失真(zhen)、平行四(si)邊形失真(zhen)、梯(ti)形失真(zhen)、比例縮放幾種(zhong)情況(kuang)進(jin)行系數(shu)(shu)調整校正(zheng)。

通過調用ZScan_CorrectFactor進行系數(shu)校(xiao)(xiao)正(zheng)。先控制振鏡繪(hui)制出一個正(zheng)方(fang)形校(xiao)(xiao)正(zheng)圖形，根(gen)據(ju)校(xiao)(xiao)正(zheng)圖形的(de)(de)失真按下圖情況調整(zheng)對應的(de)(de)系數(shu)參數(shu)，根(gen)據(ju)標刻長(chang)度與測量長(chang)度調整(zheng)縮放系數(shu)，直(zhi)到(dao)實際標刻的(de)(de)尺寸與設置一致(zhi)時(shi)認(ren)為(wei)校(xiao)(xiao)正(zheng)成(cheng)功，校(xiao)(xiao)正(zheng)系以是(shi)填(tian)寫的(de)(de)變化量，通常以0值(zhi)為(wei)參考基準變化。

2、9點校正

9點校正指(zhi)的(de)是根據在工作范圍內標(biao)刻3*3的(de)表格，根據每個點的(de)理論(lun)位置與實際位置來(lai)進行振鏡校正。

先控制振(zhen)鏡(jing)預繪制出一個3*3校(xiao)正表格(ge)圖(tu)形，按下圖(tu)所示P1-P9的(de)順序填入X坐(zuo)標(biao)與Y坐(zuo)標(biao)實際測(ce)量(liang)值(zhi)，填入P1點的(de)理(li)論標(biao)刻(ke)與P9點的(de)理(li)論坐(zuo)標(biao)，通過調用ZScan_Correct9進行9點校(xiao)正。需重(zhong)新標(biao)刻(ke)測(ce)試，直到(dao)(dao)實際標(biao)刻(ke)與理(li)論值(zhi)達到(dao)(dao)預期精度(du)范圍。

3、25點校正

25點(dian)校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)指的是根據(ju)在工作范圍內標刻5*5的表格，校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)過程與9點(dian)校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)相同，通過調用ZScan_Correct25進(jin)行25點(dian)校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)。校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)點(dian)數越(yue)多校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)精度也越(yue)高(gao)。