一、什么是探針臺

探(tan)針臺(tai)（Probe Station）是一種(zhong)用于對(dui)半(ban)導體器件(jian)進行電(dian)性(xing)(xing)(xing)能(neng)測(ce)(ce)試(shi)(shi)的(de)重要設(she)備。它(ta)通(tong)常由精密的(de)機械結構、高性(xing)(xing)(xing)能(neng)的(de)探(tan)針針頭(tou)和(he)電(dian)性(xing)(xing)(xing)能(neng)測(ce)(ce)試(shi)(shi)儀器組成。探(tan)針臺(tai)可以(yi)對(dui)半(ban)導體芯片(pian)、集(ji)成電(dian)路和(he)其他微(wei)電(dian)子器件(jian)進行直接(jie)的(de)電(dian)性(xing)(xing)(xing)能(neng)測(ce)(ce)試(shi)(shi)，從而為研究和(he)生產提供有(you)價值(zhi)的(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據用戶測試(shi)樣(yang)品、測試(shi)環(huan)境(jing)、應用類別、產品級(ji)別以及操作(zuo)方式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶(jing)圓測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、LED測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、功率器(qi)件(jian)測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、MEMS測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、PCB測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、液晶(jing)面(mian)板測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、太陽能電(dian)池(chi)片測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、材料表面(mian)電(dian)阻率測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、納米器(qi)件(jian)測(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻(pin)、射頻(pin)及微(wei)波(bo)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、高(gao)/低溫環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、高(gao)/低溫真空(kong)環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、低電(dian)流（fA級）測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、高(gao)壓、大電(dian)流測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、特殊(shu)氣(qi)體環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、磁(ci)場環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、雙(shuang)面點針(zhen)(zhen)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、全(quan)封閉(bi)式探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺（非(fei)真空(kong)環(huan)境(jing)(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)(xing)探針臺(tai)(tai)、標準(zhun)型(xing)(xing)探針臺(tai)(tai)、分(fen)析型(xing)(xing)探針臺(tai)(tai)、高端型(xing)(xing)探針臺(tai)(tai)。

4、按操作方式可分為：手動型(xing)、半(ban)自動型(xing)、全自動型(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標(biao)準(zhun)類(lei)結構測試探針臺。