一、硅晶圓和芯片有什么關系
硅晶圓一般采用p型或n型單晶硅制成,具有高純度、高穩定性、高可加工性等優點。那么你知道硅晶圓和(he)芯片(pian)究(jiu)竟(jing)有什么關系(xi)嗎?
硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)和(he)(he)芯(xin)(xin)(xin)片(pian)是(shi)半(ban)導(dao)體制(zhi)造過程中(zhong)不(bu)可或缺(que)的(de)兩個元素(su),硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)作為芯(xin)(xin)(xin)片(pian)的(de)基礎材(cai)料,為芯(xin)(xin)(xin)片(pian)提供了(le)可靠的(de)物理支(zhi)撐(cheng)。芯(xin)(xin)(xin)片(pian)制(zhi)作過程離不(bu)開(kai)硅(gui)晶圓(yuan)(yuan),無論(lun)是(shi)電(dian)路(lu)圖案的(de)制(zhi)作還是(shi)電(dian)路(lu)的(de)連接(jie)和(he)(he)元器件的(de)生長,都需要(yao)硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)的(de)支(zhi)持。硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)的(de)質(zhi)量(liang)和(he)(he)性能對芯(xin)(xin)(xin)片(pian)的(de)質(zhi)量(liang)和(he)(he)性能有著(zhu)直接(jie)的(de)影響。
二、硅晶圓在芯片制造中的重要作用
前文已經簡單的了(le)解到(dao)硅晶(jing)圓是芯片(pian)制(zhi)造(zao)的基礎,芯片(pian)離不開硅晶(jing)圓。那(nei)么具體的硅晶(jing)圓在芯片(pian)制(zhi)造(zao)中的重要(yao)作用(yong)體現在哪些方面(mian)呢(ni)?
1、芯片刻畫
芯(xin)(xin)片刻畫是制作(zuo)芯(xin)(xin)片的重要步驟之一(yi),硅晶圓作(zuo)為(wei)芯(xin)(xin)片刻畫的載體,具有很好的機械穩定性和(he)高度的表面平(ping)整度,能夠承載半導體器(qi)件的各(ge)(ge)種(zhong)(zhong)圖形,以及各(ge)(ge)種(zhong)(zhong)圖形的加(jia)工和(he)制作(zuo)流(liu)程。
2、化學加工
化(hua)學加工是芯(xin)片(pian)制造(zao)的重要步驟之一。通過對硅晶圓表面(mian)進行(xing)化(hua)學反(fan)應,可以在表面(mian)形成(cheng)氧化(hua)層、硝化(hua)層等,達到保護、改性和創(chuang)造(zao)新的表面(mian)結構等多種目的。
3、光刻
光(guang)(guang)刻(ke)是芯片制(zhi)造中重(zhong)要的(de)(de)工藝(yi),用光(guang)(guang)刻(ke)技(ji)術將掩膜(mo)上的(de)(de)圖(tu)案通過(guo)硅(gui)晶圓上的(de)(de)紫外光(guang)(guang)投射到光(guang)(guang)致蝕性的(de)(de)光(guang)(guang)刻(ke)膠或者(zhe)氧化硅(gui)上,使得芯片上的(de)(de)此(ci)區域留下片上圖(tu)形或者(zhe)形變,從(cong)而達到芯片制(zhi)造的(de)(de)目的(de)(de)。
三、為什么芯片是方的,晶圓是圓的
1、在生產芯片的過程中,圓形(xing)晶(jing)圓由于力學(xue)因素(su)生產(chan)更(geng)方(fang)便(bian),良(liang)率更(geng)高,且硅棒(bang)天然是(shi)圓柱型(xing),晶(jing)圓自然也就是(shi)圓形(xing)了。
2、硅(gui)片(pian)在經過(guo)涂(tu)膠(jiao)、光刻(ke)、刻(ke)蝕(shi)、離子注入等步驟后,一顆顆芯(xin)片(pian)才(cai)會被制造出來,不過(guo)此時芯(xin)片(pian)還是“長(chang)”在晶圓(yuan)上的(de),需要(yao)(yao)(yao)經過(guo)切(qie)割才(cai)能(neng)變成一顆顆單獨的(de)芯(xin)片(pian)。方形(xing)的(de)芯(xin)片(pian)僅需幾(ji)刀(dao)就(jiu)可以全部切(qie)下。圓(yuan)形(xing)的(de)芯(xin)片(pian),恐怕(pa)就(jiu)要(yao)(yao)(yao)耗費(fei)(fei)比方形(xing)幾(ji)倍的(de)時間來切(qie)割了。最重要(yao)(yao)(yao)的(de)一點,圓(yuan)形(xing)芯(xin)片(pian)并不能(neng)解決硅(gui)片(pian)面積浪費(fei)(fei)的(de)問題。