一、什么是探針臺

探(tan)針(zhen)臺（Probe Station）是(shi)一種用于對半(ban)(ban)導體器件進行電性(xing)(xing)能(neng)測試(shi)的(de)重(zhong)要設備。它通常由精密(mi)的(de)機械結構、高(gao)性(xing)(xing)能(neng)的(de)探(tan)針(zhen)針(zhen)頭和電性(xing)(xing)能(neng)測試(shi)儀器組成。探(tan)針(zhen)臺可以對半(ban)(ban)導體芯片(pian)、集成電路和其他微電子器件進行直接的(de)電性(xing)(xing)能(neng)測試(shi)，從(cong)而為研究(jiu)和生產提供有(you)價值的(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據用戶(hu)測試樣品(pin)、測試環境、應(ying)用類別、產(chan)品(pin)級別以及(ji)操作(zuo)方式分類，如下(xia)：

1、按測試樣品分類，可分為：晶(jing)圓測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、LED測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、功(gong)率(lv)器件(jian)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、MEMS測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、PCB測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、液晶(jing)面(mian)板測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、太(tai)陽(yang)能電池片測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、材料表面(mian)電阻(zu)率(lv)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、納米器件(jian)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻(pin)、射(she)頻(pin)及微波測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低溫(wen)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低溫(wen)真空環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、低電流（fA級）測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、高(gao)壓(ya)、大電流測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、特殊氣體(ti)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、磁場環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、雙面點針(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、全封閉(bi)式探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)（非真空環(huan)境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)(xing)探針臺(tai)、標(biao)準(zhun)型(xing)(xing)探針臺(tai)、分析型(xing)(xing)探針臺(tai)、高端型(xing)(xing)探針臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動(dong)(dong)型(xing)(xing)、半(ban)自(zi)動(dong)(dong)型(xing)(xing)、全自(zi)動(dong)(dong)型(xing)(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結構測試(shi)探針(zhen)臺。