一、半導體設備檢修工具有哪些

半導體設備(bei)是一種高(gao)精度的機(ji)器，在現(xian)代化工業(ye)發(fa)展(zhan)過(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)，流水線的生產(chan)操(cao)作對于(yu)半導體設備(bei)要求(qiu)較(jiao)高(gao)，一旦(dan)出(chu)現(xian)故障(zhang)會直接影響(xiang)整個企業(ye)的生產(chan)進(jin)(jin)程(cheng)(cheng)，因此需要定期進(jin)(jin)行維修(xiu)保養(yang)，防止出(chu)現(xian)故障(zhang)發(fa)生導致(zhi)停(ting)產(chan)，對企業(ye)造成較(jiao)為嚴重的經濟(ji)損失，半導體設備(bei)檢(jian)修(xiu)可(ke)以用到哪些(xie)工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振(zhen)動和(he)沖擊，同(tong)時保護地面不(bu)受損傷，可以(yi)實現(xian)精確(que)的位(wei)置控制(zhi)，保質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂可以(yi)實(shi)現前后100mm水平移動，頂升(sheng)平穩無晃(huang)動，可以(yi)實(shi)現高精度的升(sheng)降和定位(wei)控制，可定制無塵型。

3、楔形千斤頂

楔形千斤頂只(zhi)需5mm的(de)縫(feng)隙，楔頭即(ji)可(ke)(ke)插入起(qi)升至34mm的(de)高度，手柄可(ke)(ke)以360度旋轉，能用于(yu)狹窄(zhai)空間。

4、滑動紙

滑動(dong)紙人力即可推動(dong)1至9噸的重物，調整范圍為1cm-5cm，半導(dao)體(ti)設備檢(jian)修結束后抬起約1mm的高度即可拉出滑動(dong)紙，操(cao)作簡(jian)單，輕松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導(dao)體設備出現故障后，先做好總體分析(xi)，然后仔細檢查(cha)故障問(wen)題(ti)。

1、首(shou)先，檢查半導體(ti)設(she)備周圍的(de)冷凍機(ji)、真空壓縮機(ji)、變壓器(qi)等是否運(yun)行正(zheng)常(chang)，如果這些(xie)設(she)備都正(zheng)常(chang)，再排查和檢查半導體(ti)設(she)備主體(ti)，檢修人員貿然拆(chai)解半導體(ti)設(she)備會(hui)(hui)損壞元器(qi)件，重復的(de)返工會(hui)(hui)浪費大量物力、人力和財力。

2、其次(ci)，全面了解半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備情況，確定半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備故(gu)障范圍，有針對性地采用檢修方法，半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備包括附(fu)加部分(fen)(fen)、傳送部分(fen)(fen)、動(dong)力(li)部分(fen)(fen)、控制(zhi)(zhi)部分(fen)(fen)等，控制(zhi)(zhi)部分(fen)(fen)是半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備中最(zui)精密的部分(fen)(fen)，應重點檢查這個部分(fen)(fen)，逐一(yi)排查電路板模塊，反復(fu)進行對比(bi)分(fen)(fen)析，仔細檢查半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備故(gu)障位置。

3、最后，仔細(xi)清(qing)理(li)半導(dao)體(ti)設備(bei)灰塵，檢查各個板件的焊接和(he)(he)線路連(lian)接，很多半導(dao)體(ti)設備(bei)在長時間使用過程中接口(kou)和(he)(he)插頭容易堆積大量灰塵導(dao)致漏電(dian)事故(gu)，線路板發生氧化形成虛焊，對于(yu)這(zhe)些(xie)問題，檢修(xiu)人(ren)員應積極進行檢修(xiu)維護。