一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)導體設備(bei)是一種高精度的(de)機器，在現代化工(gong)業(ye)發展過程(cheng)中(zhong)，流水線的(de)生(sheng)產操作對(dui)(dui)于半(ban)導體設備(bei)要(yao)求較高，一旦(dan)出(chu)現故障會直接影響(xiang)整個企(qi)業(ye)的(de)生(sheng)產進(jin)程(cheng)，因此(ci)需要(yao)定(ding)期進(jin)行維修保養(yang)，防止出(chu)現故障發生(sheng)導致(zhi)停產，對(dui)(dui)企(qi)業(ye)造成較為嚴重(zhong)的(de)經濟損失，半(ban)導體設備(bei)檢修可以用到哪些工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振動和(he)沖(chong)擊，同時保(bao)護地面不受(shou)損(sun)傷，可以實現精確的(de)位(wei)置控(kong)制，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪(zhua)式千斤頂(ding)可(ke)以(yi)實(shi)現前后(hou)100mm水平移動，頂(ding)升平穩無晃動，可(ke)以(yi)實(shi)現高精度的(de)升降(jiang)和(he)定位控制，可(ke)定制無塵型。

3、楔形千斤頂

楔形千(qian)斤頂只需5mm的縫隙(xi)，楔頭即可插入起升至34mm的高度，手柄可以360度旋(xuan)轉，能用(yong)于狹窄空(kong)間。

4、滑動紙

滑動(dong)紙人力即可推(tui)動(dong)1至(zhi)9噸的重物，調整范圍(wei)為1cm-5cm，半導體設(she)備檢(jian)修結束后抬起(qi)約1mm的高(gao)度即可拉(la)出滑動(dong)紙，操作簡單，輕松(song)便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體(ti)設(she)備出現故障后，先(xian)做好(hao)總體(ti)分析，然后仔細檢查故障問(wen)題。

1、首先，檢(jian)查(cha)半導體設(she)備(bei)(bei)周圍的冷凍機(ji)、真空壓縮機(ji)、變(bian)壓器(qi)(qi)等(deng)是否運行正常，如(ru)果這些(xie)設(she)備(bei)(bei)都正常，再排查(cha)和檢(jian)查(cha)半導體設(she)備(bei)(bei)主(zhu)體，檢(jian)修人員貿然(ran)拆(chai)解半導體設(she)備(bei)(bei)會損壞元(yuan)器(qi)(qi)件，重復(fu)的返工會浪費(fei)大量物(wu)力、人力和財力。

2、其次，全面了解半(ban)導體設(she)備(bei)情況，確定半(ban)導體設(she)備(bei)故障(zhang)范圍，有針(zhen)對性地采用檢(jian)修方法，半(ban)導體設(she)備(bei)包括附(fu)加部分、傳送部分、動力(li)部分、控制部分等，控制部分是(shi)半(ban)導體設(she)備(bei)中最精密的部分，應(ying)重(zhong)點檢(jian)查這(zhe)個(ge)部分，逐(zhu)一(yi)排(pai)查電路板(ban)模塊，反復進行對比分析，仔細檢(jian)查半(ban)導體設(she)備(bei)故障(zhang)位置(zhi)。

3、最后，仔細清理半(ban)導(dao)(dao)體設備灰塵，檢(jian)(jian)查各個(ge)板件的焊接(jie)和(he)線路連(lian)接(jie)，很多(duo)半(ban)導(dao)(dao)體設備在長時(shi)間使用過程中接(jie)口和(he)插頭(tou)容易堆(dui)積(ji)大量灰塵導(dao)(dao)致漏電事故(gu)，線路板發生(sheng)氧(yang)化形成虛焊，對于這些問(wen)題，檢(jian)(jian)修人(ren)員應積(ji)極(ji)進行檢(jian)(jian)修維護。