1、根據不同材(cai)質劃分

（1）金屬靶材

鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ni、鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ti、鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zn、鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cr、鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mg、鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Nb、錫(xi)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Sn、鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Al、銦(yin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)In、鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Fe、鋯(gao)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)ZrAl、鈦鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiAl、鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zr、鋁(lv)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)AlSi、硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Si、銅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cu、鉭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ta、鍺靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ge、銀靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ag、鈷靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Co、金靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Au、釓靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Gd、鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)La、釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Y、鈰(shi)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ce、不(bu)銹鋼靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鎳鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiCr、鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Hf、鉬靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mo、鐵鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)FeNi、鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、W等。

（2）陶瓷靶材

ITO靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂(mei)(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、碳(tan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硫化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、一氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、五(wu)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉿(jia)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三(san)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎢(wu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三(san)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)五(wu)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鉭，五(wu)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟(fu)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂(mei)(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟(fu)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硒化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硼(peng)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，碳(tan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，鈮酸鋰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)酸鐠(pu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)酸鋇靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)酸鑭(lan)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、濺射(she)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材等(deng)。

（3）合金靶材

鐵(tie)鈷靶(ba)(ba)FeCo、鋁硅靶(ba)(ba)AlSi、鈦(tai)(tai)(tai)硅靶(ba)(ba)TiSi、鉻硅靶(ba)(ba)CrSi、鋅(xin)鋁靶(ba)(ba)ZnAl、鈦(tai)(tai)(tai)鋅(xin)靶(ba)(ba)材(cai)TiZn、鈦(tai)(tai)(tai)鋁靶(ba)(ba)TiAl、鈦(tai)(tai)(tai)鋯靶(ba)(ba)TiZr、鈦(tai)(tai)(tai)硅靶(ba)(ba)TiSi、鈦(tai)(tai)(tai)鎳(nie)(nie)(nie)靶(ba)(ba)TiNi、鎳(nie)(nie)(nie)鉻靶(ba)(ba)NiCr、鎳(nie)(nie)(nie)鋁靶(ba)(ba)NiAl、鎳(nie)(nie)(nie)釩靶(ba)(ba)NiV、鎳(nie)(nie)(nie)鐵(tie)靶(ba)(ba)NiFe等。

2、根據(ju)不同應用方(fang)向劃分

（1）半導體(ti)關聯靶材

電極(ji)、布線(xian)薄膜：鋁靶(ba)(ba)材，銅(tong)靶(ba)(ba)材，金靶(ba)(ba)材，銀靶(ba)(ba)材，鈀靶(ba)(ba)材，鉑靶(ba)(ba)材，鋁硅(gui)合(he)金靶(ba)(ba)材，鋁硅(gui)銅(tong)合(he)金靶(ba)(ba)材等(deng)。

儲存器電極(ji)薄膜(mo)：鉬靶(ba)材，鎢靶(ba)材，鈦靶(ba)材等(deng)。

粘(zhan)附薄膜：鎢靶(ba)材，鈦靶(ba)材等。

電容器絕緣膜(mo)薄膜(mo)：鋯鈦(tai)酸鉛(qian)靶材(cai)等。

（2）磁記錄(lu)靶(ba)材

垂直磁記錄薄膜：鈷鉻合金靶材(cai)等。

硬盤用薄膜：鈷鉻鉭合金(jin)(jin)靶材(cai)(cai)，鈷鉻鉑合金(jin)(jin)靶材(cai)(cai)，鈷鉻鉭鉑合金(jin)(jin)靶材(cai)(cai)等。

薄膜磁頭：鈷(gu)鉭(tan)鉻合(he)金(jin)靶材，鈷(gu)鉻鋯合(he)金(jin)靶材等。

人工晶(jing)體薄膜：鈷鉑合(he)金靶材，鈷鈀合(he)金靶材等。

（3）光記錄靶材

相(xiang)變光盤記錄薄(bo)膜：硒(xi)化碲(di)靶材，硒(xi)化銻靶材，鍺銻碲(di)合(he)金(jin)靶材，鍺碲(di)合(he)金(jin)靶材等(deng)。

磁(ci)光盤記錄(lu)薄膜(mo)：鏑鐵鈷(gu)合金靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，鋱(te)鏑鐵合金靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，鋱(te)鐵鈷(gu)合金靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，氧(yang)化鋁靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，氧(yang)化鎂靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，氮化硅靶(ba)(ba)材(cai)(cai)等(deng)。