一、靶材的分類有哪些

1、根據不同材質劃分

（1）金屬靶材

鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ni、鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ti、鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zn、鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cr、鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mg、鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Nb、錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Sn、鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Al、銦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)In、鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Fe、鋯鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)ZrAl、鈦鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiAl、鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zr、鋁(lv)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)AlSi、硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Si、銅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cu、鉭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ta、鍺靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ge、銀靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ag、鈷靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Co、金(jin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Au、釓(ga)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Gd、鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)La、釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Y、鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ce、不銹(xiu)鋼靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鎳(nie)鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiCr、鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Hf、鉬(mu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mo、鐵鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)FeNi、鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、W等。

（2）陶瓷靶材

ITO靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硫化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、一氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)(er)鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，、二(er)(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)(er)(er)(er)硼化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)(er)(er)(er)硼化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)(er)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)(er)鉭，五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)(er)鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硒化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硼靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，鈮(ni)酸(suan)鋰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)(tai)酸(suan)鐠靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)(tai)酸(suan)鋇(bei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)(tai)酸(suan)鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、濺射靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材等。

（3）合金靶材

鐵鈷靶(ba)(ba)(ba)FeCo、鋁硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)AlSi、鈦硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)TiSi、鉻硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)CrSi、鋅鋁靶(ba)(ba)(ba)ZnAl、鈦鋅靶(ba)(ba)(ba)材(cai)TiZn、鈦鋁靶(ba)(ba)(ba)TiAl、鈦鋯靶(ba)(ba)(ba)TiZr、鈦硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)TiSi、鈦鎳(nie)(nie)靶(ba)(ba)(ba)TiNi、鎳(nie)(nie)鉻靶(ba)(ba)(ba)NiCr、鎳(nie)(nie)鋁靶(ba)(ba)(ba)NiAl、鎳(nie)(nie)釩靶(ba)(ba)(ba)NiV、鎳(nie)(nie)鐵靶(ba)(ba)(ba)NiFe等(deng)。

2、根據不同應用方向劃分

（1）半導體關聯靶材

電極、布線薄膜：鋁靶材(cai)(cai)(cai)，銅靶材(cai)(cai)(cai)，金靶材(cai)(cai)(cai)，銀靶材(cai)(cai)(cai)，鈀靶材(cai)(cai)(cai)，鉑靶材(cai)(cai)(cai)，鋁硅合金靶材(cai)(cai)(cai)，鋁硅銅合金靶材(cai)(cai)(cai)等。

儲(chu)存(cun)器電極薄膜：鉬靶材(cai)，鎢靶材(cai)，鈦(tai)靶材(cai)等。

粘(zhan)附薄膜：鎢靶材(cai)，鈦靶材(cai)等。

電容器絕(jue)緣膜(mo)薄(bo)膜(mo)：鋯(gao)鈦酸(suan)鉛(qian)靶材等。

（2）磁記錄靶材

垂(chui)直磁記錄薄膜：鈷(gu)鉻合金靶材(cai)等。

硬盤用薄(bo)膜(mo)：鈷鉻鉭合(he)金靶(ba)(ba)材(cai)，鈷鉻鉑合(he)金靶(ba)(ba)材(cai)，鈷鉻鉭鉑合(he)金靶(ba)(ba)材(cai)等。

薄膜磁頭：鈷(gu)鉭鉻(ge)合(he)(he)金靶材，鈷(gu)鉻(ge)鋯合(he)(he)金靶材等。

人工晶體薄膜：鈷(gu)鉑合金靶(ba)材，鈷(gu)鈀合金靶(ba)材等。

（3）光記錄靶材

相變(bian)光盤記錄(lu)薄膜：硒化(hua)碲靶(ba)材，硒化(hua)銻(ti)靶(ba)材，鍺銻(ti)碲合金靶(ba)材，鍺碲合金靶(ba)材等。

磁(ci)光盤記錄薄膜：鏑鐵鈷(gu)合(he)金靶(ba)(ba)(ba)材，鋱鏑鐵合(he)金靶(ba)(ba)(ba)材，鋱鐵鈷(gu)合(he)金靶(ba)(ba)(ba)材，氧化鋁靶(ba)(ba)(ba)材，氧化鎂靶(ba)(ba)(ba)材，氮化硅靶(ba)(ba)(ba)材等。

該圖片由注冊用戶"天空之城"提供，版權聲明反饋

二、靶材的性能和指標

靶(ba)材(cai)制約著濺鍍薄(bo)膜的物理，力學(xue)性能(neng)，影響鍍膜質量(liang)，因而要求靶(ba)材(cai)的制備應滿足以下(xia)要求：

1、純度(du)(du)：要(yao)求(qiu)雜質含量低(di)純度(du)(du)高，靶材(cai)(cai)的(de)純度(du)(du)影(ying)響薄(bo)膜的(de)均勻性，以(yi)純Al靶為(wei)例，純度(du)(du)越高，濺射(she)Al膜的(de)耐蝕(shi)性及電學、光(guang)學性能(neng)越好。不(bu)過不(bu)同用(yong)(yong)途的(de)靶材(cai)(cai)對純度(du)(du)要(yao)求(qiu)也(ye)不(bu)同，一般工(gong)業(ye)用(yong)(yong)靶材(cai)(cai)純度(du)(du)要(yao)求(qiu)不(bu)高，但就半導體、顯(xian)示器件等領域用(yong)(yong)靶材(cai)(cai)對純度(du)(du)要(yao)求(qiu)是十(shi)分嚴(yan)格的(de)，磁(ci)性薄(bo)膜用(yong)(yong)靶材(cai)(cai)對純度(du)(du)的(de)要(yao)求(qiu)一般為(wei)99.9%以(yi)上，ITO中的(de)氧(yang)化銦以(yi)及氧(yang)化錫(xi)的(de)純度(du)(du)則(ze)要(yao)求(qiu)不(bu)低(di)于(yu)99.99%。

2、雜質(zhi)(zhi)含量(liang)：靶(ba)材(cai)(cai)(cai)作為(wei)濺射中的(de)(de)陰極源，固體(ti)中的(de)(de)雜質(zhi)(zhi)和(he)氣孔(kong)中的(de)(de)O2和(he)H2O是沉積薄膜的(de)(de)主要(yao)(yao)污染源，不(bu)同用(yong)途的(de)(de)靶(ba)材(cai)(cai)(cai)對單個雜質(zhi)(zhi)含量(liang)的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)也不(bu)同，如：半導(dao)體(ti)電極布線用(yong)的(de)(de)W，Mo，Ti等靶(ba)材(cai)(cai)(cai)對U，Th等放(fang)射性元素(su)的(de)(de)含量(liang)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)低(di)于3*10-9，光盤反射膜用(yong)的(de)(de)Al合金靶(ba)材(cai)(cai)(cai)則要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)O2的(de)(de)含量(liang)低(di)于2*10-4。

3、高(gao)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)：為了減少靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)氣孔，提高(gao)薄(bo)(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)性能一般(ban)(ban)要(yao)求靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)具有(you)(you)較高(gao)的(de)(de)(de)(de)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)，靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)不僅影響濺(jian)(jian)射(she)(she)時的(de)(de)(de)(de)沉積速(su)率、濺(jian)(jian)射(she)(she)膜(mo)粒子的(de)(de)(de)(de)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)和放(fang)電(dian)現象等(deng)，還影響濺(jian)(jian)射(she)(she)薄(bo)(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)電(dian)學和光(guang)(guang)學性能。致(zhi)密(mi)(mi)性越好(hao)，濺(jian)(jian)射(she)(she)膜(mo)粒子的(de)(de)(de)(de)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)越低，放(fang)電(dian)現象越弱。高(gao)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)具有(you)(you)導電(dian)、導熱性好(hao)，強度(du)(du)(du)(du)(du)高(gao)等(deng)優點，使用(yong)這種靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)鍍膜(mo)，濺(jian)(jian)射(she)(she)功(gong)率小，成膜(mo)速(su)率高(gao)，薄(bo)(bo)膜(mo)不易開裂(lie)，靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)使用(yong)壽命長，且濺(jian)(jian)鍍薄(bo)(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)電(dian)阻率低，透光(guang)(guang)率高(gao)。靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)主要(yao)取決于制備工藝(yi)。一般(ban)(ban)而(er)言，鑄(zhu)造(zao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)高(gao)而(er)燒結靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)相對(dui)較低，因此提高(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)致(zhi)密(mi)(mi)度(du)(du)(du)(du)(du)是燒結制備靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)技術關鍵(jian)之一。

4、成分(fen)與組織結構均(jun)勻(yun)，靶(ba)材成分(fen)均(jun)勻(yun)是鍍膜(mo)質(zhi)量穩定的重要保證(zheng)，尤(you)其是對于復相結構的合(he)金靶(ba)材和混(hun)合(he)靶(ba)材。如ITO，為(wei)了保證(zheng)膜(mo)質(zhi)量，要求靶(ba)中In2O3-SnO2組成均(jun)勻(yun)，都為(wei)93：7或91：9（分(fen)子比）。

5、晶粒尺寸細小，靶材的晶粒(li)尺寸越(yue)細小，濺鍍薄膜的厚度分布越(yue)均勻，濺射(she)速(su)率越(yue)快。