一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍銀(yin)灰色∶用鈦靶材(cai)，真(zhen)空鍍抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa左右(you)鍍三(san)分鐘左右(you)。（產(chan)生Ti金(jin)屬層）

2、鍍銀白色∶用鉻(ge)靶(ba)材(cai)，真空度抽至1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.5×10-1Pa左右鍍三分鐘(zhong)左右。（產生Cr金屬層）

3、鍍(du)金色∶用鈦靶材，真空度抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬(ya)氣(qi)）至1×10-1Pa鍍(du)60秒—關氬(ya)氣(qi)（Ar）—開(kai)氮氣(qi)至2~4×10-1Pa鍍(du)4分鐘左右（產生TiN化合物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦鋁靶材，充Ar（氬氣(qi)(qi)(qi)）至(zhi)1×10Pa-1開鈦靶鍍50秒(miao)—關Ar（氬氣(qi)(qi)(qi)）開氮氣(qi)(qi)(qi)至(zhi)1×10-1Pa—開鈦靶、鈦鋁靶—充乙炔150流(liu)量左右，氮氣(qi)(qi)(qi)調(diao)至(zhi)3×10-1Pa左右，鍍4分(fen)鐘(zhong)（加熱爐體至(zhi)200°C左右）。（產生TiCN和TiN化合(he)物）

5、鍍玫瑰(gui)金色∶跟(gen)古(gu)銅色一樣操作，只是乙炔(gui)在60流量(liang)左右，氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)調(diao)(diao)至2.5×10-1Pa左右（氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)、乙炔(gui)要同(tong)時加進去反應(ying)，乙炔(gui)要保持不變(bian)，真空度多少只調(diao)(diao)節(jie)氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)流量(liang)，古(gu)銅跟(gen)玫瑰(gui)金同(tong)樣調(diao)(diao)節(jie)）。（產生(sheng)TiCN化(hua)合物）

6、鍍五(wu)彩色∶用鈦靶材，充Ar（氬(ya)(ya)氣）至1.0×10-1Pa鍍1分鐘(zhong)后，關氬(ya)(ya)氣，開(kai)N氮(dan)(dan)氣至2.5×10-1Pa鍍70秒后關氮(dan)(dan)氣，開(kai)氧氣O2至4.5×10-1Pa鍍160秒左右，（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、鍍(du)(du)珠光(guang)色(se)∶用鈦靶材，充(chong)O2（氧氣(qi)）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不(bu)變動(dong)，鍍(du)(du)40秒左(zuo)右即可，注意(yi)同時引弧，加(jia)熱(re)爐體至180°C。（產生TiO2、Ti2O3等(deng)氧化物）

8、鍍18K金(jin)色(se)∶用鋯靶材，充(chong)Ar（氬氣）至(zhi)1.0×10-1Pa鍍30秒，關氬氣，開(kai)氮氣至(zhi)2~4×10-1Pa左右(you)鍍3~4分鐘(zhong)即可。（產生ZrN化合物(wu)）

9、鍍(du)土豪金色∶裝一半(ban)鈦(tai)靶(ba)材，一半(ban)錯靶(ba)材，充Ar（（氬氣）1.0×10-1Pa鍍(du)鈦(tai)靶(ba)30秒后關氬氣，開(kai)氮(dan)氣至2~4×10-1Pa左(zuo)右(you)，開(kai)鈦(tai)靶(ba)、鋯靶(ba)，鍍(du)4分鐘(zhong)左(zuo)右(you)。（產生(sheng)TiZrN化合物）

10、鍍(du)透明七彩色（AB彩）∶用鈦靶材，充O2（氧氣）至6.5~7.5×10-1Pa鍍(du)4分鐘左右(you)，加(jia)熱爐戶溫(wen)150°C。（產生(sheng)TiO2、Ti2O3；TiO、等氧化(hua)物）

11、鍍酒紅色∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加熱爐溫150°℃左右，弧焊機(ji)電流在150A左右（產生Fe2O3氧化(hua)物(wu)）。

12、鍍(du)琥珀(po)色(se)∶用鐵靶材(cai)，充O2（氧(yang)氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍(du)1.5~2.5分鐘，加熱爐溫150℃左(zuo)右(you)，弧(hu)焊(han)機電流在150A左(zuo)右(you)。（產生Fe2O3氧(yang)化物）

13、鍍寶石藍色，用鈦(tai)靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍60秒(miao)后關氯氣，開(kai)氮(dan)氣800-900流量，同時開(kai)氧氣1000-1130流量（真空控制(zhi)在(zai)2.5~3.5×10-1Pa鍍110秒(miao)左右）。（產(chan)生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物(wu)和TiN化合物(wu)的混合膜層）

14、鍍紫色∶同十三號工(gong)藝，充氮氣和氧氣的鍍膜時間控制在60-70秒(miao)左(zuo)右，真空在2.5~3.8×10-1Pa左(zuo)右即可。

15、鍍(du)(du)鉻(ge)黑(hei)色(se)∶用(yong)鈦(tai)Ti和鉻(ge)靶材(cai)，先充(chong)入氬氣Ar在1×10-1Pa鍍(du)(du)60秒(miao)左(zuo)右，關鈦(tai)靶，開鉻(ge)靶，關小氯氣至80-120流量再通入CH乙快氣至8~9.0×10-1Pa，鍍(du)(du)300秒(miao)左(zuo)右。（產生(sheng)CrC黑(hei)色(se)膜層）

16、鍍槍黑色∶用鈦(tai)靶材，充入Ar氣在(zai)(zai)1.0×10-1Pa鍍60秒后，關小氬氣至80-120流量(liang)，再(zai)通入CH乙炔氣在(zai)(zai)8~9×10-1Pa鍍300秒左右。（產生(sheng)TiC化合物膜層）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類、材質(zhi)和氣(qi)體(ti)（氮氣(qi)、氧氣(qi)、乙炔、甲烷、等），確(que)定靶(ba)材及(ji)氣(qi)體(ti)種類，然后調整氣(qi)體(ti)比(bi)例、用(yong)(yong)量、濺(jian)射功(gong)率、濺(jian)射時間(jian)、基材處理(li)溫(wen)(wen)度、濺(jian)射溫(wen)(wen)度、濺(jian)射時間(jian)等工藝參數，制備出顏色膜層，廣泛(fan)應(ying)用(yong)(yong)于裝(zhuang)飾性鍍膜行業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍(du)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)膜(mo)(mo)層(ceng)，將待鍍(du)產品傳入裝有金(jin)屬(shu)(shu)(shu)靶(ba)材的鍍(du)膜(mo)(mo)腔(qiang)室(shi)，開啟泵抽真空及加熱裝置(zhi)進(jin)行基底加熱，使得本底真空達到(dao)1×10-3Pa及達到(dao)80-150℃工藝溫度后，向(xiang)腔(qiang)室(shi)通(tong)入10-1000sccm的氬氣(qi)，啟動(dong)濺射電源，設置(zhi)濺射功(gong)率(lv)1-15KW，鍍(du)膜(mo)(mo)時(shi)間10-300S，得到(dao)厚度為(wei)1-100nm的金(jin)屬(shu)(shu)(shu)膜(mo)(mo)層(ceng)，金(jin)屬(shu)(shu)(shu)膜(mo)(mo)層(ceng)為(wei)銅（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金(jin)屬(shu)(shu)(shu)膜(mo)(mo)層(ceng)，或鎳(nie)銅（NiCu）、鎳(nie)鉻（NiCr）等合金(jin)膜(mo)(mo)層(ceng)。

2、鍍低折(zhe)射(she)率膜(mo)層(ceng)(ceng)，將鍍完金(jin)屬膜(mo)層(ceng)(ceng)的(de)產品傳(chuan)入裝有可形(xing)成低折(zhe)射(she)率膜(mo)層(ceng)(ceng)的(de)靶材鍍膜(mo)腔室(shi)，加(jia)熱達(da)到(dao)80-150℃的(de)工(gong)藝(yi)(yi)溫度，向腔室(shi)通入工(gong)藝(yi)(yi)氣體，設置濺(jian)射(she)功率1-15KW，鍍膜(mo)時間1-300S，得到(dao)厚(hou)度為1-100nm的(de)低折(zhe)射(she)率膜(mo)層(ceng)(ceng)，此低折(zhe)射(she)率膜(mo)層(ceng)(ceng)為氧(yang)化硅、氮化硅等(deng)膜(mo)層(ceng)(ceng)。

3、鍍高折(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)層，將鍍完低折(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)層的(de)產品(pin)傳入(ru)裝有可形成高折(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)層的(de)靶(ba)材鍍膜(mo)腔室(shi)，加熱達到80-150℃的(de)工(gong)藝(yi)(yi)溫度(du)，向腔室(shi)通入(ru)工(gong)藝(yi)(yi)氣(qi)(qi)(qi)體，設置(zhi)濺射(she)(she)(she)功率(lv)1-15KW，鍍膜(mo)時間1-300S，得到厚度(du)為(wei)1-100nm的(de)高折(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)層，所述高折(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)層為(wei)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鈦(tai)、氮化(hua)(hua)鈦(tai)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鋯(gao)、氮化(hua)(hua)鋯(gao)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鈮、氮化(hua)(hua)鈮、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鋅、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)銦、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鋁、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鐵、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鉻(ge)、氮化(hua)(hua)鉻(ge)等膜(mo)層，此高低折(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)膜(mo)層的(de)工(gong)藝(yi)(yi)氣(qi)(qi)(qi)體為(wei)Ar、N2、O2中的(de)至少(shao)一種，其中Ar氣(qi)(qi)(qi)體流(liu)量(liang)(liang)(liang)為(wei)10-1000sccm，N2氣(qi)(qi)(qi)體流(liu)量(liang)(liang)(liang)為(wei)10-1000sccm，O2氣(qi)(qi)(qi)體流(liu)量(liang)(liang)(liang)為(wei)10-1000sccm。

4、重復(fu)步驟(zou)(zou)(zou)二(er)和(he)步驟(zou)(zou)(zou)三(san)數次(ci)，得(de)到不同(tong)顏色的(de)膜(mo)層，重復(fu)步驟(zou)(zou)(zou)二(er)和(he)步驟(zou)(zou)(zou)三(san)的(de)次(ci)數為1-100次(ci)。

以(yi)下(xia)是PVD真空(kong)鍍膜(mo)裝飾薄膜(mo)常用材料(liao)及其常用氣體制作的各(ge)類裝飾顏色(se)涂層(ceng)：

鋯靶(ba)+氮氣(qi)：黃綠金黃色(se)

鋯靶+甲烷：深淺黑色(se)

鋯+氧氣：白色、透(tou)明膜

鋯靶+氮氣+甲烷：金色(se)、仿(fang)玫瑰金

鉻靶(ba)+甲烷：深淺黑色

鉻靶+氮氣(qi)：淺(qian)黑色

鉻靶+氮氣(qi)+甲烷：銀灰色

鉻靶+氧氣：黃色、紫色、綠(lv)色

鉻(ge)靶+氧氣(qi)：銀色

不銹鋼(gang)靶+氧氣：紫色

不銹鋼靶+氮(dan)氣：藍色

不銹(xiu)鋼(gang)靶+甲烷：亮(liang)黑色

不銹鋼(gang)靶+甲(jia)烷(wan)+氮(dan)氣：藍黑色(se)

硅+氮氣：黑色

硅靶+氧氣：混濁白(bai)、透明(ming)膜(mo)

硅(gui)靶+甲烷：黃色(se)、綠(lv)色(se)、藍色(se)、黑色(se)（靶材純度高于99%僅(jin)能調黑色(se)）

鈦靶(ba)+氧氣：光(guang)學(xue)膜七彩截色

鈦(tai)靶+甲烷(wan)：深淺黑色（DLC制備不能(neng)達(da)標）

鈦靶+氮(dan)氣：仿金色(se)、黃銅色(se)、紫色(se)、紅(hong)色(se)

鈦靶(ba)+氮(dan)氣+甲烷：仿玫(mei)瑰金、黑綠色、復古(gu)黃、棕色、紫色

鎢靶+氮(dan)氣(qi)：棕(zong)黃色(se)

鎢靶+甲烷：深淺黑色

鎢靶+氧(yang)氣：紫色、鮮黃色、棕色、藍色