一、探針的種類有哪些

在晶圓(yuan)或芯(xin)片(pian)測試的過程中，通常會使(shi)用探針來準確連接晶圓(yuan)或芯(xin)片(pian)的引腳或錫球與測試機(ji)，以便檢測產品的導通性、電流性、功(gong)能(neng)(neng)性和(he)老化性等性能(neng)(neng)指標。那么你知道探針的種類有哪些嗎(ma)？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由螺旋(xuan)彈簧組成的探針，其兩端連接在(zai)上下(xia)柱(zhu)栓上。螺旋(xuan)彈簧的中(zhong)間(jian)部(bu)分(fen)緊密纏繞在(zai)一起，以防止產生(sheng)額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部(bu)分(fen)則被稀疏纏繞，以降(jiang)低探針對被測試(shi)物(wu)體(ti)的壓力。在(zai)檢測集(ji)成電路時，信號(hao)會(hui)從下(xia)柱(zhu)栓流向上方，形成導電路徑。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂(bei)探(tan)針(zhen)(zhen)為探(tan)針(zhen)(zhen)部提供適當的(de)縱向位移，用于通過橫向懸(xuan)臂(bei)接觸待(dai)測(ce)半導體產品，以(yi)避免探(tan)針(zhen)(zhen)部對待(dai)測(ce)半導體產品施(shi)加過大的(de)針(zhen)(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直(zhi)探(tan)針可(ke)以(yi)對應高密(mi)度信號觸點的(de)(de)(de)待測半導體產品(pin)的(de)(de)(de)細間距排(pai)列(lie)，針尖(jian)接觸待測半導體產品(pin)所(suo)需(xu)的(de)(de)(de)縱向位(wei)移可(ke)以(yi)通過針體本身的(de)(de)(de)彈(dan)性變(bian)形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中(zhong)，鎢髁合金(jin)探針(zhen)具有穩定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發生探針(zhen)偏差。因此，鎢髁合金(jin)探針(zhen)是目(mu)前性能良(liang)好的一(yi)種常見探針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同(tong)軸(zhou)探針用(yong)于對(dui)測試頻率比較敏感的測試環(huan)境；普通(tong)探針用(yong)于對(dui)信號衰(shuai)減不(bu)敏感的測試環(huan)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料：選擇材(cai)質(zhi)通(tong)常為316不銹鋼(gang)、金屬玻(bo)(bo)璃、石(shi)英玻(bo)(bo)璃、硅、玻(bo)(bo)璃鋼(gang)等。不同(tong)材(cai)料的(de)探(tan)針具有不同(tong)的(de)化學惰性(xing)(xing)和機(ji)械性(xing)(xing)能，對探(tan)測的(de)液體和氣體有不同(tong)的(de)適應性(xing)(xing)。

（2）形(xing)(xing)狀：選(xuan)擇探針的形(xing)(xing)狀應該根據實(shi)(shi)驗(yan)需(xu)求進行(xing)選(xuan)擇，通常探針的形(xing)(xing)狀為直棒狀、U形(xing)(xing)、Z形(xing)(xing)等。考慮到實(shi)(shi)驗(yan)的靈敏度問題(ti)，在選(xuan)用探針時必(bi)須與被測(ce)物(wu)相匹(pi)配。

（3）長(chang)度(du)(du)：探針的長(chang)度(du)(du)是下降液面幅度(du)(du)的關鍵因(yin)素。為獲得準確的下降水平，要根(gen)據實(shi)際測(ce)量需求選擇(ze)合適的長(chang)度(du)(du)。

（4）直徑：探(tan)針(zhen)的(de)粗細(xi)(xi)通(tong)常采用0.5mm至(zhi)5mm之(zhi)間。過(guo)粗的(de)探(tan)針(zhen)會(hui)影(ying)響測量的(de)靈(ling)敏(min)度，過(guo)細(xi)(xi)的(de)探(tan)針(zhen)則(ze)可能會(hui)導(dao)致探(tan)針(zhen)的(de)折斷。

（5）表(biao)面處理：在實驗中，探針處于探測的(de)介質中，探針的(de)表(biao)面形態和性質會直接影響(xiang)到測量(liang)結果。因此，探針的(de)表(biao)面要求(qiu)經過光潔處理和表(biao)面處理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)問題(ti)：在使用過程中應定期進(jin)行(xing)質(zhi)量(liang)檢查。探(tan)針(zhen)的質(zhi)量(liang)差(cha)會(hui)導致測量(liang)誤差(cha)增大(da)，嚴重時可能(neng)會(hui)損壞(huai)實驗設(she)備(bei)。

（2）加工(gong)工(gong)藝(yi)問題(ti)：在探(tan)針的(de)制作過(guo)程中，要保證探(tan)針的(de)形狀、尺寸的(de)精確與穩定(ding)。

（3）使(shi)(shi)用注意事項：避免(mian)在(zai)測量(liang)過程中引(yin)入(ru)空氣，勿(wu)使(shi)(shi)用有陷進、連續的探(tan)針(zhen)以免(mian)擾動測量(liang)，對(dui)于使(shi)(shi)用多個探(tan)針(zhen)進行(xing)測量(liang)的情況(kuang)要(yao)確(que)保探(tan)針(zhen)之間的長度(du)和間距足夠。

（4）存儲和保(bao)養(yang)問題(ti)：盡可(ke)能地保(bao)證存儲環境(jing)無除塵、避光性好；探針表(biao)面不能有刮傷(shang)等損壞，使用前應清洗干凈(jing)且消(xiao)毒處理。