一、探針的種類有哪些

在(zai)晶(jing)圓(yuan)或芯片測(ce)試的(de)過程中(zhong)，通(tong)常(chang)會使用探針來準確連接晶(jing)圓(yuan)或芯片的(de)引腳或錫球(qiu)與(yu)測(ce)試機，以便檢測(ce)產品(pin)的(de)導(dao)通(tong)性(xing)、電(dian)流性(xing)、功能性(xing)和老化性(xing)等性(xing)能指標。那(nei)么你(ni)知道探針的(de)種類有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性(xing)探針(zhen)是一(yi)個由螺(luo)旋彈(dan)簧組成(cheng)的(de)探針(zhen)，其兩端連接(jie)在上(shang)下柱栓上(shang)。螺(luo)旋彈(dan)簧的(de)中間(jian)部(bu)分緊密纏繞在一(yi)起，以防(fang)止產生(sheng)額外的(de)電(dian)感和附(fu)件電(dian)阻。而(er)彈(dan)簧的(de)兩端部(bu)分則被稀(xi)疏纏繞，以降(jiang)低探針(zhen)對被測(ce)(ce)試物體的(de)壓力。在檢測(ce)(ce)集成(cheng)電(dian)路(lu)時，信號(hao)會從下柱栓流向(xiang)上(shang)方，形成(cheng)導電(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探(tan)針(zhen)為探(tan)針(zhen)部提供適當的縱向位(wei)移，用于通(tong)過(guo)橫向懸臂接觸(chu)待(dai)測半導(dao)體產品，以避免(mian)探(tan)針(zhen)部對待(dai)測半導(dao)體產品施加過(guo)大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以(yi)對應高密度信號(hao)觸點的(de)待測半導體產(chan)品(pin)(pin)的(de)細間距排(pai)列，針尖接觸待測半導體產(chan)品(pin)(pin)所(suo)需(xu)的(de)縱向(xiang)位移可以(yi)通過針體本身的(de)彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢(wu)髁(ke)合金(jin)探(tan)針具有(you)穩定(ding)的接觸電(dian)阻，兼顧硬(ying)度和柔韌性(xing)，不易發(fa)生探(tan)針偏差。因此，鎢(wu)髁(ke)合金(jin)探(tan)針是(shi)目前性(xing)能良好的一種常見探(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針(zhen)用于(yu)對(dui)測試頻率比較敏感(gan)的測試環境；普通探針(zhen)用于(yu)對(dui)信(xin)號衰減(jian)不敏感(gan)的測試環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料：選(xuan)擇材(cai)質通常為316不銹鋼、金屬玻(bo)璃(li)、石英(ying)玻(bo)璃(li)、硅(gui)、玻(bo)璃(li)鋼等。不同材(cai)料的(de)(de)探針具(ju)有不同的(de)(de)化學惰性(xing)和機械性(xing)能，對探測的(de)(de)液體和氣體有不同的(de)(de)適應性(xing)。

（2）形(xing)(xing)狀：選(xuan)擇(ze)探針(zhen)的(de)形(xing)(xing)狀應該根據實驗(yan)需(xu)求進行選(xuan)擇(ze)，通常(chang)探針(zhen)的(de)形(xing)(xing)狀為直棒狀、U形(xing)(xing)、Z形(xing)(xing)等。考慮到實驗(yan)的(de)靈(ling)敏度問題，在選(xuan)用探針(zhen)時(shi)必須與被測(ce)物相(xiang)匹配(pei)。

（3）長(chang)(chang)度(du)：探針的長(chang)(chang)度(du)是下降液面(mian)幅度(du)的關(guan)鍵(jian)因(yin)素。為獲得準確的下降水平(ping)，要根據實際(ji)測量需(xu)求(qiu)選擇合適的長(chang)(chang)度(du)。

（4）直(zhi)徑：探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)的(de)(de)粗(cu)細通常采用0.5mm至(zhi)5mm之(zhi)間。過(guo)粗(cu)的(de)(de)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)會影(ying)響(xiang)測量的(de)(de)靈(ling)敏(min)度，過(guo)細的(de)(de)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)則可能(neng)會導致探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)的(de)(de)折斷。

（5）表(biao)面(mian)(mian)處(chu)(chu)理(li)：在實驗中，探針處(chu)(chu)于(yu)探測(ce)的介質中，探針的表(biao)面(mian)(mian)形態和性質會直接影響到(dao)測(ce)量結(jie)果。因(yin)此，探針的表(biao)面(mian)(mian)要求經(jing)過(guo)光潔處(chu)(chu)理(li)和表(biao)面(mian)(mian)處(chu)(chu)理(li)。

2、探針的要求

（1）質量(liang)(liang)問題：在使用(yong)過(guo)程中應定期進行質量(liang)(liang)檢查(cha)。探針的質量(liang)(liang)差會導致測量(liang)(liang)誤差增大(da)，嚴重時可能會損壞(huai)實驗設備(bei)。

（2）加(jia)工工藝問題(ti)：在探針的(de)制作過程中，要保證探針的(de)形狀、尺寸(cun)的(de)精(jing)確(que)與(yu)穩定。

（3）使用注意事項：避免在測量(liang)(liang)過程中引入空氣，勿使用有陷進(jin)、連續的探針以免擾動測量(liang)(liang)，對于(yu)使用多個探針進(jin)行測量(liang)(liang)的情況要確保探針之間的長度(du)和(he)間距足夠。

（4）存(cun)(cun)儲(chu)和(he)保養問題(ti)：盡可能(neng)地保證存(cun)(cun)儲(chu)環境無除塵、避光性好；探針表面(mian)不能(neng)有刮傷等損壞，使(shi)用前應清(qing)洗(xi)干凈且消毒處(chu)理。