一、探針的種類有哪些

在晶圓(yuan)(yuan)或(huo)芯片測試的(de)過程中，通(tong)常會使用探針來準確連接晶圓(yuan)(yuan)或(huo)芯片的(de)引腳或(huo)錫球與測試機，以便檢測產品的(de)導(dao)通(tong)性(xing)、電流性(xing)、功能性(xing)和老化性(xing)等(deng)性(xing)能指標。那么(me)你知道(dao)探針的(de)種類(lei)有(you)哪些(xie)嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由(you)螺旋彈簧組(zu)成(cheng)的探針，其兩端(duan)連接在(zai)上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部(bu)分(fen)緊密纏繞(rao)在(zai)一起，以防止產生額外的電(dian)感和(he)附件電(dian)阻(zu)。而彈簧的兩端(duan)部(bu)分(fen)則被稀疏(shu)纏繞(rao)，以降低探針對被測(ce)試物體的壓力(li)。在(zai)檢(jian)測(ce)集成(cheng)電(dian)路(lu)時，信號會從下柱栓流向上方(fang)，形成(cheng)導(dao)電(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探(tan)針為探(tan)針部(bu)(bu)提供適當的縱(zong)向位(wei)移(yi)，用(yong)于(yu)通過橫向懸臂接觸(chu)待測(ce)半導體產(chan)品，以避免探(tan)針部(bu)(bu)對(dui)待測(ce)半導體產(chan)品施加過大的針壓(ya)。

（3）垂直式探針

垂直探針(zhen)可(ke)(ke)以(yi)對應(ying)高密(mi)度信號(hao)觸(chu)點的待(dai)測(ce)半(ban)(ban)導體(ti)產品(pin)的細間距排(pai)列(lie)，針(zhen)尖(jian)接(jie)觸(chu)待(dai)測(ce)半(ban)(ban)導體(ti)產品(pin)所需的縱向位移(yi)可(ke)(ke)以(yi)通過針(zhen)體(ti)本身的彈性變(bian)形來提供(gong)。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其(qi)中，鎢(wu)髁(ke)合金(jin)探(tan)針(zhen)具有穩定的接觸電(dian)阻，兼顧硬度和(he)柔韌性(xing)，不(bu)易發生探(tan)針(zhen)偏差。因此，鎢(wu)髁(ke)合金(jin)探(tan)針(zhen)是目前(qian)性(xing)能良好(hao)的一種常見探(tan)針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同(tong)軸探針用于對(dui)測試(shi)頻率比較敏感的測試(shi)環(huan)境；普通探針用于對(dui)信(xin)號衰減不(bu)敏感的測試(shi)環(huan)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通(tong)常為(wei)316不銹鋼(gang)、金屬玻璃(li)、石英玻璃(li)、硅、玻璃(li)鋼(gang)等。不同材料的(de)探針具有不同的(de)化學惰性(xing)和機械(xie)性(xing)能(neng)，對探測的(de)液體和氣體有不同的(de)適應性(xing)。

（2）形(xing)狀：選擇探(tan)(tan)針的形(xing)狀應(ying)該根據實驗(yan)(yan)需(xu)求進行選擇，通(tong)常(chang)探(tan)(tan)針的形(xing)狀為直棒狀、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到實驗(yan)(yan)的靈敏度問(wen)題，在選用探(tan)(tan)針時必須與(yu)被測物相(xiang)匹配。

（3）長(chang)度：探(tan)針的(de)(de)長(chang)度是(shi)下降液面幅度的(de)(de)關(guan)鍵因(yin)素。為(wei)獲得(de)準確的(de)(de)下降水平(ping)，要(yao)根據實際測量需求選擇合(he)適的(de)(de)長(chang)度。

（4）直(zhi)徑(jing)：探(tan)(tan)針的(de)(de)粗細通常采(cai)用0.5mm至5mm之間。過(guo)粗的(de)(de)探(tan)(tan)針會影響測量的(de)(de)靈(ling)敏(min)度，過(guo)細的(de)(de)探(tan)(tan)針則(ze)可能(neng)會導(dao)致探(tan)(tan)針的(de)(de)折斷。

（5）表面(mian)處理：在(zai)實驗中(zhong)，探針處于探測(ce)的(de)介質中(zhong)，探針的(de)表面(mian)形態和性質會(hui)直接影(ying)響到測(ce)量結果。因(yin)此，探針的(de)表面(mian)要(yao)求經(jing)過光(guang)潔處理和表面(mian)處理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)問題：在使用過程中應定期進行質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)檢查(cha)。探針的質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)差(cha)會(hui)導致測量(liang)(liang)誤差(cha)增大，嚴(yan)重(zhong)時可能會(hui)損(sun)壞實(shi)驗設備(bei)。

（2）加工工藝問(wen)題：在(zai)探針的(de)(de)制作(zuo)過(guo)程中，要(yao)保證探針的(de)(de)形狀、尺寸的(de)(de)精確與穩定。

（3）使用(yong)注意事項：避免在測(ce)(ce)量過程中(zhong)引入空氣，勿使用(yong)有陷(xian)進(jin)、連續的(de)探(tan)針(zhen)以(yi)免擾動測(ce)(ce)量，對(dui)于使用(yong)多(duo)個(ge)探(tan)針(zhen)進(jin)行測(ce)(ce)量的(de)情況要確保探(tan)針(zhen)之間的(de)長度和間距足夠。

（4）存儲和保養問題：盡可能地保證存儲環境無除塵、避(bi)光性(xing)好；探(tan)針(zhen)表面不(bu)能有刮傷等損壞，使用(yong)前(qian)應清洗干(gan)凈且消毒處理。