一、探針的種類有哪些

在(zai)晶(jing)圓(yuan)或芯片(pian)測試(shi)的過(guo)程中，通常會使用探(tan)針(zhen)來(lai)準確連接晶(jing)圓(yuan)或芯片(pian)的引腳或錫(xi)球與測試(shi)機，以(yi)便檢測產品的導通性(xing)、電流性(xing)、功能性(xing)和老化性(xing)等性(xing)能指標。那么(me)你知道探(tan)針(zhen)的種類(lei)有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性探針(zhen)(zhen)是一個由螺旋彈(dan)簧(huang)組成(cheng)的(de)(de)探針(zhen)(zhen)，其(qi)兩端(duan)連接在(zai)(zai)上(shang)下柱栓上(shang)。螺旋彈(dan)簧(huang)的(de)(de)中間部(bu)分緊密(mi)纏(chan)繞(rao)在(zai)(zai)一起(qi)，以(yi)防止產生(sheng)額(e)外的(de)(de)電感和(he)附件電阻。而彈(dan)簧(huang)的(de)(de)兩端(duan)部(bu)分則被稀疏纏(chan)繞(rao)，以(yi)降低探針(zhen)(zhen)對(dui)被測(ce)試(shi)物體的(de)(de)壓力(li)。在(zai)(zai)檢測(ce)集成(cheng)電路(lu)(lu)時，信號(hao)會從下柱栓流向上(shang)方，形成(cheng)導電路(lu)(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探(tan)針(zhen)為探(tan)針(zhen)部(bu)提供適當的縱向(xiang)(xiang)位(wei)移，用(yong)于通(tong)過橫向(xiang)(xiang)懸臂接觸(chu)待測(ce)半導體產品，以避(bi)免探(tan)針(zhen)部(bu)對待測(ce)半導體產品施加(jia)過大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以(yi)對(dui)應高密度信號觸點(dian)的(de)(de)(de)待測半導體(ti)產品的(de)(de)(de)細間距排列，針尖(jian)接(jie)觸待測半導體(ti)產品所需的(de)(de)(de)縱向位移可以(yi)通過針體(ti)本身的(de)(de)(de)彈性變形來(lai)提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探針(zhen)具有穩定(ding)的(de)接觸電阻(zu)，兼顧硬度和(he)柔韌性，不易發生探針(zhen)偏差(cha)。因此，鎢髁合金探針(zhen)是目前性能良好的(de)一(yi)種常見探針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針(zhen)用(yong)于對測試(shi)(shi)頻率比(bi)較敏感(gan)的測試(shi)(shi)環(huan)境；普通(tong)探針(zhen)用(yong)于對信號衰減(jian)不敏感(gan)的測試(shi)(shi)環(huan)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通常為(wei)316不銹鋼、金屬玻(bo)璃、石(shi)英玻(bo)璃、硅、玻(bo)璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學惰性和(he)(he)機械性能，對探測(ce)的液(ye)體和(he)(he)氣體有不同的適應性。

（2）形狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)：選(xuan)擇探針(zhen)的(de)形狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)應該根據實驗需求進行選(xuan)擇，通(tong)常探針(zhen)的(de)形狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)為直棒狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)、U形、Z形等(deng)。考慮到實驗的(de)靈敏度問題，在選(xuan)用探針(zhen)時必須與被測物相匹配。

（3）長度(du)：探針的(de)長度(du)是下降(jiang)液面幅度(du)的(de)關鍵因素。為獲得準確(que)的(de)下降(jiang)水平，要(yao)根據實(shi)際(ji)測量需求選擇合適的(de)長度(du)。

（4）直(zhi)徑(jing)：探(tan)針的(de)(de)粗細通常采用0.5mm至5mm之間。過(guo)粗的(de)(de)探(tan)針會影響測量(liang)的(de)(de)靈敏(min)度，過(guo)細的(de)(de)探(tan)針則可能會導(dao)致探(tan)針的(de)(de)折斷(duan)。

（5）表(biao)面(mian)(mian)(mian)處理(li)：在實驗中(zhong)，探(tan)針處于探(tan)測的介質中(zhong)，探(tan)針的表(biao)面(mian)(mian)(mian)形態和(he)性質會直接影響(xiang)到測量結果。因此，探(tan)針的表(biao)面(mian)(mian)(mian)要求經(jing)過光潔處理(li)和(he)表(biao)面(mian)(mian)(mian)處理(li)。

2、探針的要求

（1）質量問(wen)題：在使(shi)用過程中應定期進行質量檢查。探(tan)針的質量差會導致測量誤(wu)差增大，嚴重時(shi)可能會損壞實驗設備。

（2）加工工藝問(wen)題：在(zai)探針(zhen)(zhen)的(de)制作過(guo)程(cheng)中，要保證探針(zhen)(zhen)的(de)形狀、尺寸的(de)精確與穩定。

（3）使用(yong)注意事項：避免在測量過程中引入空氣，勿使用(yong)有(you)陷(xian)進、連續(xu)的(de)探針以免擾動測量，對于使用(yong)多個探針進行測量的(de)情(qing)況要確保探針之間的(de)長(chang)度和間距足夠。

（4）存(cun)(cun)儲和保(bao)養問題：盡(jin)可能地保(bao)證存(cun)(cun)儲環境無除塵、避光性好(hao)；探針(zhen)表(biao)面(mian)不能有刮傷等(deng)損壞(huai)，使用前應清洗干凈且消毒處理(li)。