一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)備是一種高(gao)精度的(de)機器，在現(xian)(xian)代(dai)化工業發(fa)展過程中，流水線的(de)生(sheng)產(chan)操作對于半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)備要求(qiu)較高(gao)，一旦出現(xian)(xian)故(gu)障會(hui)直(zhi)接影響整個(ge)企業的(de)生(sheng)產(chan)進程，因此需(xu)要定期進行(xing)維修保養，防(fang)止出現(xian)(xian)故(gu)障發(fa)生(sheng)導(dao)(dao)致停產(chan)，對企業造成較為嚴重的(de)經濟(ji)損失，半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)備檢(jian)修可以用到哪些工具(ju)？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動和沖(chong)擊，同時保(bao)護(hu)地面不受損傷，可以(yi)實(shi)現(xian)精確(que)的位置控制，保(bao)質期(qi)四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑(hua)臺爪式千斤頂可以實現(xian)前后100mm水平移(yi)動(dong)，頂升平穩無晃動(dong)，可以實現(xian)高精度的升降和定位控制，可定制無塵型(xing)。

3、楔形千斤頂

楔形(xing)千斤頂只需5mm的(de)縫隙，楔頭(tou)即可插入(ru)起(qi)升至34mm的(de)高度(du)，手(shou)柄(bing)可以(yi)360度(du)旋轉，能用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑動(dong)紙人力即可推動(dong)1至9噸的(de)重物，調整范圍為1cm-5cm，半導體設備檢修結束后(hou)抬起(qi)約1mm的(de)高(gao)度(du)即可拉出滑動(dong)紙，操作簡單，輕松便攜(xie)。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備出(chu)現故障(zhang)后，先做好總體分析(xi)，然后仔細檢(jian)查故障(zhang)問題。

1、首先(xian)，檢(jian)(jian)查(cha)半導體(ti)設(she)備周圍的冷凍機、真空壓縮機、變壓器(qi)等是(shi)否運行正常，如(ru)果這些設(she)備都正常，再排查(cha)和(he)(he)檢(jian)(jian)查(cha)半導體(ti)設(she)備主(zhu)體(ti)，檢(jian)(jian)修人(ren)員貿然拆解半導體(ti)設(she)備會(hui)損壞元器(qi)件，重復的返工會(hui)浪(lang)費大量物力(li)、人(ren)力(li)和(he)(he)財力(li)。

2、其次(ci)，全面了(le)解半導(dao)(dao)(dao)體(ti)設備情(qing)況，確定(ding)半導(dao)(dao)(dao)體(ti)設備故障(zhang)范圍，有針對性地(di)采用(yong)檢修方法，半導(dao)(dao)(dao)體(ti)設備包(bao)括(kuo)附加部(bu)分(fen)、傳送部(bu)分(fen)、動力部(bu)分(fen)、控(kong)制部(bu)分(fen)等，控(kong)制部(bu)分(fen)是(shi)半導(dao)(dao)(dao)體(ti)設備中最精密(mi)的部(bu)分(fen)，應重點檢查(cha)這個(ge)部(bu)分(fen)，逐一排查(cha)電路板模(mo)塊，反復進(jin)行對比(bi)分(fen)析，仔細檢查(cha)半導(dao)(dao)(dao)體(ti)設備故障(zhang)位置(zhi)。

3、最后，仔細清理半(ban)導(dao)體(ti)設備灰塵(chen)，檢(jian)查各個板(ban)件的(de)焊接(jie)和線(xian)路(lu)(lu)連接(jie)，很多(duo)半(ban)導(dao)體(ti)設備在(zai)長(chang)時間使(shi)用過程中接(jie)口和插(cha)頭容易堆積大量(liang)灰塵(chen)導(dao)致漏(lou)電事故，線(xian)路(lu)(lu)板(ban)發生氧化形成虛焊，對(dui)于這(zhe)些問題，檢(jian)修人(ren)員(yuan)應積極(ji)進行檢(jian)修維(wei)護。