一、光刻膠的組成成分有哪些

光刻膠主要由感光劑(ji)（光引發劑(ji)）、聚(ju)合劑(ji)（感光樹(shu)脂）、溶劑(ji)與助劑(ji)構成(cheng)。

1、光(guang)引發(fa)劑是光(guang)刻膠的最關鍵(jian)成分，對(dui)光(guang)刻膠的感光(guang)度、分辨率(lv)起著(zhu)決定性作(zuo)用。

2、感光(guang)(guang)樹脂用于(yu)將光(guang)(guang)刻膠中不同材料聚(ju)合在一起(qi)，是構成光(guang)(guang)刻膠的(de)骨架，決定光(guang)(guang)刻膠包括硬度、柔韌(ren)性、附著(zhu)力等基本(ben)屬性。

3、溶(rong)劑(ji)是光(guang)刻(ke)膠中(zhong)最大成分，目(mu)的是使(shi)光(guang)刻(ke)膠處于液(ye)態，但(dan)溶(rong)劑(ji)本(ben)身對光(guang)刻(ke)膠的化學性質幾乎(hu)沒(mei)影(ying)響。

4、助劑通(tong)常是(shi)專有化(hua)(hua)合物，由各家廠商獨自研發(fa)，主要用來改變光刻膠特(te)定化(hua)(hua)學性質。

二、光刻膠的原理

1、光敏性原理

光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)的(de)(de)基本原(yuan)理(li)是光(guang)(guang)(guang)(guang)敏材料暴(bao)露在(zai)紫(zi)(zi)外線(xian)下，光(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)將光(guang)(guang)(guang)(guang)敏材料中(zhong)的(de)(de)分(fen)子激活，使其發生化(hua)學(xue)反應，使光(guang)(guang)(guang)(guang)敏膠(jiao)(jiao)發生預設的(de)(de)變化(hua)。根據(ju)光(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)能量的(de)(de)不(bu)同，光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)可分(fen)為UV光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)和深紫(zi)(zi)外光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)。UV光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)用(yong)(yong)于制(zhi)造精度要求低的(de)(de)電子元件，而(er)深紫(zi)(zi)外光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)則(ze)用(yong)(yong)于制(zhi)造更微小的(de)(de)元器件。

2、光學成像原理

光刻膠是通過光學成像原理來實現預期的紋理結構。當光照射在光刻膠表面時，會通過(guo)掩膜上的(de)(de)白色區(qu)(qu)(qu)域透過(guo)黑色區(qu)(qu)(qu)域，達到將(jiang)圖案映(ying)射到光刻膠上的(de)(de)目的(de)(de)。通過(guo)開發過(guo)程，只剩下光刻膠上所需的(de)(de)微(wei)型器(qi)件的(de)(de)部分(fen)區(qu)(qu)(qu)域，即可形成要(yao)制造的(de)(de)微(wei)型器(qi)件。

3、選擇適合的溶劑

光刻膠(jiao)的成分包括光敏材料、單體、溶劑(ji)(ji)和劑(ji)(ji)量(liang)。反應關鍵(jian)(jian)因(yin)素(su)之(zhi)一是(shi)選擇適合系統的溶劑(ji)(ji)，溶劑(ji)(ji)是(shi)優化反應速率和接觸角的關鍵(jian)(jian)因(yin)素(su)。正確的溶劑(ji)(ji)選擇可確保強(qiang)大的粘(zhan)附力和最小的溶液浸透時間。