一、光刻膠的組成成分有哪些

光刻膠主要由感(gan)光劑(ji)（光引發劑(ji)）、聚合劑(ji)（感(gan)光樹(shu)脂）、溶劑(ji)與助劑(ji)構成。

1、光引發劑是光刻膠的最(zui)關(guan)鍵(jian)成分，對光刻膠的感光度(du)、分辨(bian)率起著(zhu)決定性作(zuo)用。

2、感光(guang)樹脂用于將光(guang)刻(ke)膠中不同(tong)材料聚合在一起，是構成(cheng)光(guang)刻(ke)膠的(de)骨架，決定光(guang)刻(ke)膠包括(kuo)硬度、柔韌性(xing)、附著力等基本屬性(xing)。

3、溶(rong)劑是光刻膠(jiao)中最大(da)成分，目的(de)是使光刻膠(jiao)處于液(ye)態，但溶(rong)劑本身對光刻膠(jiao)的(de)化學性質幾乎沒影響。

4、助劑通常(chang)是專有化(hua)合物，由各家廠(chang)商獨(du)自研發，主要(yao)用來改變光(guang)刻膠特定(ding)化(hua)學性質。

二、光刻膠的原理

1、光敏性原理

光(guang)(guang)刻膠的(de)基本原(yuan)理是光(guang)(guang)敏材料暴露在紫(zi)外線(xian)下，光(guang)(guang)線(xian)將(jiang)光(guang)(guang)敏材料中的(de)分子(zi)(zi)激活，使(shi)其發(fa)(fa)生化學反應，使(shi)光(guang)(guang)敏膠發(fa)(fa)生預設的(de)變(bian)化。根據(ju)光(guang)(guang)線(xian)能量的(de)不同，光(guang)(guang)刻膠可分為UV光(guang)(guang)刻膠和(he)深(shen)紫(zi)外光(guang)(guang)刻膠。UV光(guang)(guang)刻膠用于制(zhi)造精度要求低(di)的(de)電子(zi)(zi)元件，而深(shen)紫(zi)外光(guang)(guang)刻膠則用于制(zhi)造更微小的(de)元器件。

2、光學成像原理

光刻膠是通過光學成像原理來實現預期的紋理結構。當光照射在光刻膠表面(mian)時，會通過掩(yan)膜上(shang)(shang)的(de)白(bai)色(se)區域透過黑色(se)區域，達(da)到將(jiang)圖案映射到光刻膠上(shang)(shang)的(de)目的(de)。通過開發過程，只剩下光刻膠上(shang)(shang)所需(xu)的(de)微型(xing)(xing)器(qi)件的(de)部分區域，即可形成要制造的(de)微型(xing)(xing)器(qi)件。

3、選擇適合的溶劑

光刻膠的成(cheng)分包括光敏(min)材料、單(dan)體、溶(rong)劑和劑量。反應關(guan)鍵(jian)因素(su)之一是選擇適合系統的溶(rong)劑，溶(rong)劑是優化反應速率和接觸角(jiao)的關(guan)鍵(jian)因素(su)。正確的溶(rong)劑選擇可確保強(qiang)大的粘附力和最小(xiao)的溶(rong)液浸透時間。