一、光刻膠的優缺點
光刻膠作(zuo)為芯片(pian)制(zhi)造中的一種重(zhong)要材料,具有(you)以下優點:
1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,具有非常高的精度和穩定性。
2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片、玻璃(li)、陶瓷等。
3、加工速度快。光刻膠可以在短時間內完成芯片表面的加工和處理,提高了生產(chan)效率(lv)。
但光刻膠也(ye)存在(zai)一些缺點(dian),主要(yao)包括以下幾點(dian):
1、成(cheng)本(ben)較高。光(guang)刻膠的制備和加工過程較為復雜,成(cheng)本(ben)較高。
2、對環境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會產生一定的污染(ran)物,對環(huan)境有一定影響。
3、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質,對人體有一定危害。
二、光刻膠的危害及防護
危害:光刻膠是一(yi)種乙類危險品,無(wu)色透明液體,有(you)(you)微(wei)弱類似(si)芳香酯(zhi)的(de)(de)氣味。高(gao)(gao)濃(nong)(nong)度蒸汽(qi)刺激眼和(he)呼吸(xi)道,經(jing)常(chang)吸(xi)入對腎臟(zang)有(you)(you)損(sun)傷。易燃,遇(yu)明火、高(gao)(gao)熱能燃燒。受高(gao)(gao)熱分解放出(chu)有(you)(you)毒的(de)(de)氣體。其(qi)蒸氣與空氣可形成爆炸(zha)性(xing)混合物,當達(da)到一(yi)定(ding)濃(nong)(nong)度時,遇(yu)火星(xing)會(hui)發生(sheng)爆炸(zha)。
急救措(cuo)施(shi):應(ying)使吸(xi)入(ru)(ru)蒸氣的患者脫離污(wu)染區。安(an)置休息(xi)并保暖(nuan),眼睛受刺(ci)激(ji)用水沖洗(xi),對濺入(ru)(ru)眼內(nei)的嚴(yan)重患送醫院診治。皮膚接觸用溶劑(ji)擦洗(xi),再(zai)用肥(fei)皂徹底(di)洗(xi)滌。誤服立(li)即漱(shu)口,送醫院救治。
消(xiao)防方法:消(xiao)防人員必(bi)須(xu)佩(pei)戴過濾式防毒面具(全(quan)面罩(zhao))或隔離(li)式呼吸器(qi),穿全(quan)身防火(huo)(huo)防毒服,在上(shang)風(feng)向滅(mie)(mie)火(huo)(huo)。盡(jin)可(ke)能將容(rong)器(qi)從(cong)火(huo)(huo)場移至空曠處。噴水保持(chi)火(huo)(huo)場容(rong)器(qi)冷卻,直至滅(mie)(mie)火(huo)(huo)結束。處在火(huo)(huo)場中的容(rong)器(qi)若已變色(se)或從(cong)安(an)全(quan)泄(xie)壓裝置中產(chan)生聲音,必(bi)須(xu)馬上(shang)撤離(li)。滅(mie)(mie)火(huo)(huo)劑:霧狀水、泡(pao)沫(mo)、干(gan)粉、二氧化(hua)碳、砂土。
泄漏(lou)應急處理:迅速撤離泄漏污染區人(ren)員至(zhi)安全區,并(bing)進行隔(ge)離,嚴格限制出(chu)入(ru)。切(qie)斷(duan)火源。建議應急處(chu)理(li)人員(yuan)戴自給正壓式呼吸(xi)器,穿(chuan)一般(ban)作(zuo)(zuo)業工(gong)作(zuo)(zuo)服。若是液(ye)體,盡可(ke)能切斷泄漏源。防止流(liu)入下水道、排(pai)洪(hong)溝等限制性空間。小量泄漏:用干燥(zao)的砂(sha)土或類似物(wu)質吸收。大量泄漏:構筑(zhu)圍堤或(huo)挖(wa)坑(keng)收(shou)(shou)容。用泡沫(mo)覆蓋,降低蒸(zheng)氣災害。用防爆泵(beng)轉移至槽車或(huo)專(zhuan)用收(shou)(shou)集器內,回收(shou)(shou)或(huo)運至(zhi)廢物處理場所(suo)處置。若(ruo)是固體,收集于干燥、潔凈、有蓋(gai)的容(rong)器中。若(ruo)大(da)量泄漏,收集回收或(huo)運(yun)至廢物處理場所處置(zhi)。
操作注意事項:密閉(bi)操作。密閉(bi)操作,提(ti)供良好的(de)自然通(tong)風條件。操作人員必須經過(guo)專門(men)培訓,嚴格遵守操作規程(cheng)。建議操作人員佩戴自(zi)吸過濾式防(fang)塵口罩,戴化學安全防(fang)護眼(yan)鏡(jing)。遠離火種、熱源,工(gong)作(zuo)場(chang)所嚴禁(jin)吸(xi)煙。使用防(fang)爆型的(de)通風系統和設備。防(fang)止蒸氣泄漏到(dao)工(gong)作(zuo)場(chang)所空氣中(zhong)。避免與(yu)氧化劑接觸(chu)。搬運時(shi)要(yao)輕(qing)裝輕(qing)卸,防止包(bao)裝及容器(qi)(qi)損壞(huai)。配備(bei)相應品(pin)種(zhong)和(he)數(shu)量的消防器(qi)(qi)材及泄漏應急處理設備。倒空的容器可(ke)能殘留有害物。