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光刻膠的優缺點 光刻膠的危害及防護

本文章由注冊用戶 天空之城 上傳提供 2024-04-18 評論 0
摘要:光刻膠是一種感光材料,可以通過光化學反應,經曝光、顯影等光刻工序將掩膜版圖形轉移至襯底上,形成與掩膜版完全對應的幾何圖形。光刻膠作為芯片制造中的一種重要材料,具有精度高、適用范圍廣、加工速度快的優點,但也具有成本較高、對環境有一定污染、對人體有一定危害的缺點。下面來了解下光刻膠的危害及防護。

一、光刻膠的優缺點

光刻膠作為芯片制(zhi)造中的(de)一種(zhong)重要(yao)材料,具有以下優點:

1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,具有非常(chang)高的(de)精度和穩定性。

2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片(pian)、玻(bo)璃(li)、陶瓷等。

3、加工速度快。光刻膠可以在短時間內完成芯片表面的加工和處理,提高了生產(chan)效率。

但光刻膠也(ye)存在一些(xie)缺(que)點,主要包括以下幾(ji)點:

1、成本(ben)(ben)較高。光(guang)刻膠的制備和加工(gong)過(guo)程較為復雜,成本(ben)(ben)較高。

2、對環境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會產生一定的污染物,對環境有一定影響(xiang)。

3、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質,對人體有一定(ding)危害。

二、光刻膠的危害及防護

危害:光刻膠是一種乙類危險品,無色透明液體,有微(wei)弱(ruo)類似芳香(xiang)酯的氣味(wei)。高(gao)濃(nong)度(du)蒸(zheng)汽(qi)刺激眼和呼吸道,經(jing)常(chang)吸入對(dui)腎臟有損傷。易(yi)燃(ran),遇(yu)明火、高(gao)熱能燃(ran)燒。受(shou)高(gao)熱分解放出(chu)有毒(du)的氣體。其(qi)蒸(zheng)氣與(yu)空氣可形成爆炸性(xing)混(hun)合(he)物(wu),當達(da)到一定濃(nong)度(du)時,遇(yu)火星(xing)會發生爆炸。

急救(jiu)措施:應使(shi)吸(xi)入蒸氣的(de)患者脫離污染區(qu)。安置休息并(bing)保暖,眼睛受刺激用(yong)水沖洗(xi),對濺(jian)入眼內的(de)嚴重患送(song)醫(yi)院(yuan)診治(zhi)。皮膚接觸(chu)用(yong)溶劑(ji)擦洗(xi),再用(yong)肥皂徹底(di)洗(xi)滌。誤服立即(ji)漱口(kou),送(song)醫(yi)院(yuan)救(jiu)治(zhi)。

消防(fang)方法(fa):消防(fang)人員必(bi)須佩(pei)戴過濾式(shi)防(fang)毒面(mian)具(全面(mian)罩)或(huo)隔離式(shi)呼(hu)吸器(qi)(qi),穿全身防(fang)火(huo)防(fang)毒服,在(zai)(zai)上(shang)風(feng)向滅火(huo)。盡可(ke)能(neng)將(jiang)容(rong)器(qi)(qi)從(cong)火(huo)場移至(zhi)空(kong)曠處。噴(pen)水保持火(huo)場容(rong)器(qi)(qi)冷(leng)卻,直至(zhi)滅火(huo)結束。處在(zai)(zai)火(huo)場中的容(rong)器(qi)(qi)若已(yi)變色(se)或(huo)從(cong)安全泄(xie)壓裝置中產生聲音,必(bi)須馬上(shang)撤離。滅火(huo)劑(ji):霧狀(zhuang)水、泡沫、干粉、二氧化碳、砂土。

泄漏(lou)應急處(chu)理:迅速撤(che)離泄漏污染區人員至安全區,并進(jin)行隔(ge)離,嚴格限制出入(ru)。切斷(duan)火源(yuan)。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿(chuan)一般作(zuo)(zuo)業工作(zuo)(zuo)服。若(ruo)是液體,盡可(ke)能切(qie)斷泄漏源。防止流入(ru)下水(shui)道、排洪(hong)溝等限制性空(kong)間。小量泄漏(lou):用干燥的砂(sha)土(tu)或(huo)類似物質(zhi)吸收。大量泄漏(lou):構筑圍堤或挖坑(keng)收容。用泡沫覆蓋,降低蒸氣災(zai)害。用防爆泵(beng)轉(zhuan)移(yi)至槽車或專(zhuan)用收集(ji)器(qi)內,回收或運至廢(fei)物處(chu)理(li)場所處(chu)置。若(ruo)是固體,收(shou)集(ji)于干(gan)燥(zao)、潔凈、有(you)蓋的容器中。若(ruo)大量泄漏(lou),收(shou)集(ji)回(hui)收或運至廢物處理場所處置。

操作注意事項:密閉(bi)操(cao)作。密閉(bi)操(cao)作,提供(gong)良好(hao)的自然通風條件。操(cao)作人員必須經過專門培訓,嚴(yan)格(ge)遵(zun)守(shou)操(cao)作規(gui)程。建(jian)議操作人(ren)員佩戴(dai)自吸過濾式防塵口罩,戴(dai)化學安全防護眼鏡。遠(yuan)離(li)火(huo)種、熱源,工作場所嚴禁吸煙。使(shi)用防(fang)爆型的通(tong)風系(xi)統和設備(bei)。防(fang)止蒸氣泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化(hua)劑接觸。搬運時(shi)要(yao)輕裝輕卸(xie),防(fang)止(zhi)包裝及容器損(sun)壞。配備(bei)相應品種和(he)數(shu)量(liang)的消防(fang)器材及泄漏應(ying)急處理設(she)備。倒空的容器可(ke)能殘留(liu)有害物。

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