一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分辨率是多少(shao)呢(ni)？

掃(sao)描(miao)(miao)電(dian)鏡(jing)具有很高的分(fen)辨率，普(pu)通(tong)掃(sao)描(miao)(miao)電(dian)鏡(jing)的分(fen)辨率為幾納米(mi)，場發(fa)射掃(sao)描(miao)(miao)電(dian)鏡(jing)的分(fen)辨率可達1nm，已十分(fen)接近透射電(dian)鏡(jing)的水平。

光(guang)學顯(xian)微鏡(jing)只能在(zai)低倍(bei)率(lv)下(xia)使用，而透射(she)電鏡(jing)只能在(zai)高(gao)倍(bei)率(lv)下(xia)使用，掃描電鏡(jing)可(ke)以在(zai)幾(ji)倍(bei)到幾(ji)十(shi)萬(wan)倍(bei)的(de)范圍(wei)內連續(xu)可(ke)調，彌補(bu)了(le)(le)從(cong)光(guang)學顯(xian)微鏡(jing)到透射(she)電鏡(jing)觀(guan)察的(de)一個(ge)很大的(de)跨度(du)，實現了(le)(le)對樣品從(cong)宏觀(guan)到微觀(guan)的(de)觀(guan)察和分析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分(fen)辨率受哪(na)些因素影響(xiang)嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為在理想的情況下，掃描電鏡的分辨率(lv)不可(ke)能小于(yu)掃描電子束(shu)(shu)斑直(zhi)徑，故束(shu)(shu)斑直(zhi)徑越(yue)小，電鏡的分辨本領越(yue)高。束(shu)(shu)斑直(zhi)徑主要取決(jue)于(yu)電子光學系統（電子槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不(bu)同(tong)的入射(she)(she)電子能(neng)量導致作(zuo)(zuo)用(yong)區(qu)域不(bu)同(tong)，高加(jia)速(su)電壓(ya)(ya)時(shi)，入射(she)(she)電子能(neng)量高，作(zuo)(zuo)用(yong)深度大，不(bu)同(tong)深度的信(xin)號疊加(jia)，無法清晰地(di)表(biao)(biao)征材料最表(biao)(biao)面細節(jie)；低(di)加(jia)速(su)電壓(ya)(ya)時(shi)，入射(she)(she)電了能(neng)量低(di)，作(zuo)(zuo)用(yong)深度淺(qian)，提高了空間分辨率。

3、成像所用信號種類

也是(shi)主要與信(xin)號(hao)本身(shen)的(de)能量和信(xin)號(hao)取樣的(de)區域范(fan)圍(wei)，以(yi)二次(ci)電(dian)子為調制信(xin)號(hao)和以(yi)背散射(she)電(dian)子就(jiu)不一樣，后者(zhe)分辨率(lv)低(di)于前者(zhe)。