一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分(fen)辨率是多少呢？

掃描電鏡(jing)具(ju)有很高(gao)的(de)分辨(bian)率(lv)(lv)，普通(tong)掃描電鏡(jing)的(de)分辨(bian)率(lv)(lv)為幾(ji)納米(mi)，場發射掃描電鏡(jing)的(de)分辨(bian)率(lv)(lv)可達(da)1nm，已十分接近透射電鏡(jing)的(de)水平(ping)。

光(guang)學顯微鏡(jing)(jing)只能在(zai)(zai)低倍(bei)率(lv)下(xia)使用，而透射電鏡(jing)(jing)只能在(zai)(zai)高(gao)倍(bei)率(lv)下(xia)使用，掃描電鏡(jing)(jing)可以在(zai)(zai)幾倍(bei)到(dao)(dao)幾十萬倍(bei)的(de)范圍內連(lian)續(xu)可調，彌補了(le)從(cong)光(guang)學顯微鏡(jing)(jing)到(dao)(dao)透射電鏡(jing)(jing)觀(guan)察的(de)一個很大的(de)跨(kua)度，實(shi)現了(le)對樣(yang)品從(cong)宏觀(guan)到(dao)(dao)微觀(guan)的(de)觀(guan)察和分析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般(ban)認(ren)為在理想的(de)情況(kuang)下，掃(sao)描電鏡(jing)的(de)分(fen)辨率(lv)不可能小于掃(sao)描電子(zi)束(shu)斑直徑，故束(shu)斑直徑越(yue)小，電鏡(jing)的(de)分(fen)辨本領越(yue)高。束(shu)斑直徑主要取決(jue)于電子(zi)光學系統(tong)（電子(zi)槍等(deng)）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不(bu)同的入(ru)射電子(zi)能(neng)量導致(zhi)作(zuo)用區域不(bu)同，高加(jia)速電壓時，入(ru)射電子(zi)能(neng)量高，作(zuo)用深(shen)度(du)(du)大，不(bu)同深(shen)度(du)(du)的信號疊加(jia)，無(wu)法清晰地表(biao)征(zheng)材(cai)料最表(biao)面(mian)細節(jie)；低(di)加(jia)速電壓時，入(ru)射電了能(neng)量低(di)，作(zuo)用深(shen)度(du)(du)淺，提高了空間分辨率。

3、成像所用信號種類

也是主要與信(xin)(xin)號本(ben)身的能量和(he)信(xin)(xin)號取樣(yang)(yang)的區域(yu)范(fan)圍(wei)，以(yi)二(er)次電(dian)子為調制信(xin)(xin)號和(he)以(yi)背(bei)散射電(dian)子就不一樣(yang)(yang)，后(hou)者分辨率低于前者。