一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要成像信(xin)號有哪幾(ji)種嗎(ma)？

1、對于形貌成像：主(zhu)要信號(hao)是二次電(dian)子(zi)，背散射電(dian)子(zi)也(ye)有使用。吸收電(dian)流成像，是比較特殊(shu)的應用，往往用于專門(men)材料檢測。

2、對于成分分布成像：背散射(she)電子，陰極(ji)熒光(guang)，元素特征(zheng)X射(she)線等。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃描電鏡主要參數：分(fen)辨率、放大倍(bei)數、景深(shen)。

1、分辨率

分(fen)辨率是(shi)掃描電鏡最(zui)(zui)主(zhu)要(yao)的(de)(de)(de)性能指(zhi)標(biao)，對成像而言(yan)(yan)，它(ta)是(shi)指(zhi)能分(fen)辨兩點之間(jian)(jian)的(de)(de)(de)最(zui)(zui)小距離(li)；對微區(qu)(qu)成分(fen)分(fen)析而言(yan)(yan)，它(ta)是(shi)指(zhi)能分(fen)析的(de)(de)(de)最(zui)(zui)小區(qu)(qu)域。掃描電鏡的(de)(de)(de)分(fen)辨率通(tong)過測(ce)定圖(tu)像中兩個顆(ke)粒(或區(qu)(qu)域)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)最(zui)(zui)小距離(li)來確定的(de)(de)(de)，測(ce)定的(de)(de)(de)方(fang)法(fa)是(shi)在(zai)已知(zhi)放大倍(bei)數的(de)(de)(de)條件下，把在(zai)圖(tu)像上測(ce)到的(de)(de)(de)最(zui)(zui)小間(jian)(jian)距除以放大倍(bei)數所得數值就是(shi)分(fen)辨率。

2、放大倍數

當(dang)入(ru)射電子束做光柵掃描(miao)時，若電子束在樣(yang)品(pin)表面掃描(miao)的幅(fu)度為As，在顯光屏上陰(yin)極射線(xian)同步(bu)掃描(miao)的幅(fu)度為Ac，則(ze)放(fang)大倍數可表示為M=Ac/As。

由(you)于熒光屏的(de)尺寸是不變(bian)的(de)，因此，放(fang)大倍數(shu)的(de)變(bian)化(hua)只要通過改變(bian)電(dian)子(zi)束在樣品表面(mian)的(de)掃(sao)描幅度(du)As來實現(xian)。

目前(qian)商(shang)品化的掃面(mian)電鏡(jing)的放大(da)倍(bei)數可以從(cong)20倍(bei)到20萬(wan)倍(bei)之間(jian)連續調節。

3、景深

景(jing)深是指透(tou)鏡對高低不平的(de)樣品(pin)各部位能(neng)(neng)同(tong)時聚焦成像的(de)能(neng)(neng)力(li)范(fan)圍(wei)，這(zhe)個(ge)范(fan)圍(wei)用一段距離表(biao)示(shi)。

如(ru)果景(jing)深為Ds，只(zhi)要樣(yang)品表(biao)面高低范圍值小于(yu)Ds，則(ze)在(zai)熒光屏上就能清晰地反映(ying)出樣(yang)品的表(biao)面形(xing)貌。正是由于(yu)掃描電鏡景(jing)深大，特別(bie)適用(yong)于(yu)粗(cu)糙表(biao)面和(he)斷口的分析(xi)觀察；圖像(xiang)富有立體感、真實感、易于(yu)識別(bie)和(he)解釋。