一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主(zhu)要成像(xiang)信(xin)號有哪幾種(zhong)嗎？

1、對于形貌成像：主要信號(hao)是二(er)次電(dian)子，背散射電(dian)子也有(you)使用。吸收電(dian)流成像，是比較特殊的應(ying)用，往往用于(yu)專門材料(liao)檢測(ce)。

2、對于成分分布成像：背散(san)射(she)電子，陰極熒光，元素特(te)征X射(she)線等。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃描電鏡主要參數(shu)：分辨率、放大倍數(shu)、景深。

1、分辨率

分(fen)(fen)辨(bian)率是掃(sao)描電鏡(jing)最(zui)主要的(de)(de)性能(neng)指(zhi)標，對(dui)成像(xiang)(xiang)而言(yan)，它是指(zhi)能(neng)分(fen)(fen)辨(bian)兩點之間(jian)(jian)的(de)(de)最(zui)小(xiao)距離(li)；對(dui)微(wei)區成分(fen)(fen)分(fen)(fen)析而言(yan)，它是指(zhi)能(neng)分(fen)(fen)析的(de)(de)最(zui)小(xiao)區域。掃(sao)描電鏡(jing)的(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)率通過測(ce)定圖像(xiang)(xiang)中兩個顆粒(或區域)間(jian)(jian)的(de)(de)最(zui)小(xiao)距離(li)來確定的(de)(de)，測(ce)定的(de)(de)方法是在(zai)已知(zhi)放(fang)大倍數的(de)(de)條件(jian)下，把在(zai)圖像(xiang)(xiang)上測(ce)到(dao)的(de)(de)最(zui)小(xiao)間(jian)(jian)距除以放(fang)大倍數所得數值就是分(fen)(fen)辨(bian)率。

2、放大倍數

當入射電子束做光(guang)柵掃描(miao)時(shi)，若電子束在(zai)樣(yang)品表面掃描(miao)的幅(fu)度(du)(du)為(wei)As，在(zai)顯光(guang)屏上(shang)陰(yin)極射線同步(bu)掃描(miao)的幅(fu)度(du)(du)為(wei)Ac，則放(fang)大倍數可表示為(wei)M=Ac/As。

由于熒光屏(ping)的(de)(de)尺寸是不變(bian)的(de)(de)，因此，放大(da)倍數的(de)(de)變(bian)化只要通(tong)過(guo)改(gai)變(bian)電子束(shu)在樣品表面的(de)(de)掃描幅度(du)As來實現。

目前商品化(hua)的(de)掃面電鏡的(de)放(fang)大倍數(shu)可以從(cong)20倍到(dao)20萬倍之間連續調(diao)節。

3、景深

景深是(shi)指透鏡對高低不平的(de)樣品各部位能同(tong)時聚(ju)焦成像的(de)能力范(fan)圍，這個范(fan)圍用一段(duan)距(ju)離表示。

如果景(jing)深為Ds，只要樣(yang)品(pin)表面(mian)高(gao)低范圍值小于(yu)Ds，則(ze)在熒(ying)光(guang)屏上就能清(qing)晰地反映出(chu)樣(yang)品(pin)的表面(mian)形貌。正是由(you)于(yu)掃描電鏡(jing)景(jing)深大，特別(bie)適用于(yu)粗糙(cao)表面(mian)和(he)斷口(kou)的分析觀察；圖像富(fu)有立(li)體感、真實(shi)感、易于(yu)識(shi)別(bie)和(he)解釋。