一、掃描電鏡有哪些種類

掃(sao)描電(dian)鏡分類方法：

1、按照電子槍種類分：鎢(wu)絲槍(qiang)、六硼化鑭、場(chang)(chang)發(fa)射電(dian)子(zi)槍(qiang)（冷(leng)場(chang)(chang)發(fa)射、熱場(chang)(chang)發(fa)射）。

2、按照樣品室的真空度分：高(gao)真空模式(shi)、低真空模式(shi)、環境模式(shi)（冷(leng)熱高(gao)壓(ya)低壓(ya)等(deng)等(deng)）。

3、按照真空泵分：油擴散泵、分(fen)子泵。

4、按照自動化程度分：自動、手動。

5、按照操作方式分：旋鈕操作、鼠(shu)標操作。

6、按照電器控制系統分：模擬控制(zhi)(zhi)、數字控制(zhi)(zhi)。

7、按照圖像顯示系統分：模擬(ni)顯像(xiang)、數字(zi)顯像(xiang)。

二、掃描電鏡由什么組成

掃(sao)描電鏡由電子(zi)光學系統(tong)(tong)(tong)，信號收(shou)集及顯示系統(tong)(tong)(tong)，真(zhen)空系統(tong)(tong)(tong)及電源(yuan)系統(tong)(tong)(tong)組成(cheng)。

1、電子光學系統

電(dian)子(zi)光學(xue)系統(tong)由電(dian)子(zi)槍，電(dian)磁透鏡，掃(sao)描線圈和(he)樣品室等部件組成。其作(zuo)用是用來(lai)獲得掃(sao)描電(dian)子(zi)束，作(zuo)為產生(sheng)物(wu)理(li)信(xin)號的(de)激發源(yuan)。為了獲得較(jiao)高的(de)信(xin)號強(qiang)度和(he)圖像分辨率，掃(sao)描電(dian)子(zi)束應具有較(jiao)高的(de)亮度和(he)盡可能小的(de)束斑直徑。

（1）電子槍

其作(zuo)用(yong)(yong)是(shi)(shi)利(li)用(yong)(yong)陰(yin)極(ji)與陽(yang)極(ji)燈絲間的(de)(de)高(gao)壓產(chan)生高(gao)能(neng)量的(de)(de)電(dian)子(zi)(zi)(zi)束。目前大多數掃(sao)描電(dian)鏡(jing)采(cai)用(yong)(yong)熱陰(yin)極(ji)電(dian)子(zi)(zi)(zi)槍(qiang)。其優點(dian)是(shi)(shi)燈絲價格較便宜，對真空(kong)(kong)度要(yao)求不高(gao)，缺點(dian)是(shi)(shi)鎢(wu)絲熱電(dian)子(zi)(zi)(zi)發(fa)射(she)效率低(di)，發(fa)射(she)源直徑較大，即使經(jing)過(guo)二級(ji)或(huo)(huo)三(san)級(ji)聚光鏡(jing)，在(zai)樣品(pin)表面上的(de)(de)電(dian)子(zi)(zi)(zi)束斑直徑也(ye)在(zai)5-7nm，因此儀器(qi)分辨(bian)率受到(dao)限制(zhi)。現在(zai)，高(gao)等(deng)級(ji)掃(sao)描電(dian)鏡(jing)采(cai)用(yong)(yong)六硼化鑭（LaB6）或(huo)(huo)場發(fa)射(she)電(dian)子(zi)(zi)(zi)槍(qiang)，使二次電(dian)子(zi)(zi)(zi)像(xiang)的(de)(de)分辨(bian)率達到(dao)2nm。但這種電(dian)子(zi)(zi)(zi)槍(qiang)要(yao)求很高(gao)的(de)(de)真空(kong)(kong)度。

（2）電磁透鏡

其作(zuo)用主要是(shi)把電(dian)子(zi)槍的(de)束(shu)(shu)斑(ban)(ban)逐漸縮小，是(shi)原(yuan)來直徑約為50mm的(de)束(shu)(shu)斑(ban)(ban)縮小成(cheng)一個(ge)只有數(shu)nm的(de)細小束(shu)(shu)斑(ban)(ban)。其工作(zuo)原(yuan)理與透射電(dian)鏡(jing)中的(de)電(dian)磁透鏡(jing)相同(tong)。

掃描電(dian)鏡(jing)(jing)(jing)一(yi)般(ban)有(you)三個(ge)聚(ju)光鏡(jing)(jing)(jing)，前兩個(ge)透(tou)鏡(jing)(jing)(jing)是強(qiang)透(tou)鏡(jing)(jing)(jing)，用來縮小電(dian)子束光斑(ban)尺寸。第三個(ge)聚(ju)光鏡(jing)(jing)(jing)是弱(ruo)透(tou)鏡(jing)(jing)(jing)，具有(you)較長(chang)的焦(jiao)距，在該透(tou)鏡(jing)(jing)(jing)下方(fang)放置樣品可避免磁場對二(er)次電(dian)子軌跡的干擾。

（3）掃描線圈

其作(zuo)用(yong)是(shi)提(ti)供入(ru)射(she)電子(zi)束在(zai)樣(yang)品(pin)表面上以(yi)及陰極射(she)線(xian)管內電子(zi)束在(zai)熒(ying)光(guang)屏上的(de)同(tong)步掃(sao)(sao)描信號。改(gai)變入(ru)射(she)電子(zi)束在(zai)樣(yang)品(pin)表面掃(sao)(sao)描振幅，以(yi)獲得(de)所需放大倍率的(de)掃(sao)(sao)描像。掃(sao)(sao)描線(xian)圈(quan)試掃(sao)(sao)描點晶(jing)的(de)一個重(zhong)要(yao)組件，它一般放在(zai)最后二透(tou)鏡之間(jian)，也有(you)的(de)放在(zai)末級透(tou)鏡的(de)空間(jian)內。

（4）樣品室

樣品(pin)室中主要部件是樣品(pin)臺。它出(chu)能進行三維空間的(de)移動，還能傾斜(xie)和轉動，樣品(pin)臺移動范(fan)圍一般可達40毫米，傾斜(xie)范(fan)圍至(zhi)少在50度左右，轉動360度。

樣(yang)(yang)品(pin)室(shi)中還(huan)(huan)要(yao)安置(zhi)各種型號檢(jian)(jian)測(ce)(ce)器(qi)。信號的(de)(de)(de)收集效(xiao)率和相應(ying)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)器(qi)的(de)(de)(de)安放位(wei)置(zhi)有很(hen)大關系。樣(yang)(yang)品(pin)臺還(huan)(huan)可(ke)以(yi)帶有多種附件(jian)(jian)，例如樣(yang)(yang)品(pin)在(zai)樣(yang)(yang)品(pin)臺上加熱，冷卻或拉伸，可(ke)進行(xing)動態觀(guan)察(cha)。近年(nian)來，為適應(ying)斷口(kou)實物等大零件(jian)(jian)的(de)(de)(de)需要(yao)，還(huan)(huan)開(kai)發(fa)了可(ke)放置(zhi)尺寸在(zai)Φ125mm以(yi)上的(de)(de)(de)大樣(yang)(yang)品(pin)臺。

2、信號檢測放大系統

其作(zuo)用是檢測(ce)樣品在入(ru)射電子作(zuo)用下產生的(de)物(wu)理(li)信(xin)號，然后(hou)經(jing)視頻放大作(zuo)為顯像系統的(de)調制信(xin)號。

3、真空系統和電源系統

真空(kong)系(xi)(xi)統的(de)作(zuo)用(yong)是為(wei)保證(zheng)電(dian)子光學系(xi)(xi)統正常工作(zuo)，防止樣品污(wu)染提供高的(de)真空(kong)度(du)，一般情況下要(yao)求(qiu)保持10.4-10.5mmHg的(de)真空(kong)度(du)。