一、有了光刻機就能造芯片?
其實光刻(ke)(ke)只是半導體前(qian)道(dao)7大(da)工藝環節(jie)(光刻(ke)(ke)、刻(ke)(ke)蝕、沉積、離(li)子注(zhu)入、清洗(xi)、氧化、檢(jian)測(ce))中的(de)一個環節(jie),雖(sui)然是最重要的(de)環節(jie)之(zhi)一,但(dan)是離(li)開了其他6個環節(jie)中的(de)任(ren)何一個都不行。
集成電(dian)路的制造工藝分為“三大”+“四小”工藝:
三(san)大(da)(75%):光刻(ke)、刻(ke)蝕、沉(chen)積;
四小(xiao)(25%):清洗、氧化、檢測(ce)、離(li)子(zi)注入。
一般(ban)情況下光(guang)刻占整條產線(xian)設備(bei)投資的(de)30%,與刻蝕機(ji)(25%)、PVD/CVD/ALD(25%)并(bing)列(lie)成為最(zui)重要的(de)三大(da)前道設備(bei)之一,所以并(bing)不是有(you)了光(guang)刻機(ji)就(jiu)能造芯(xin)片,光(guang)刻只是芯(xin)片制(zhi)造工(gong)藝流程(cheng)的(de)中的(de)一個,還需(xu)要其他6大(da)前道工(gong)藝設備(bei)的(de)支撐,其重要程(cheng)度與光(guang)刻機(ji)同(tong)等重要。
二、光刻機刻一枚芯片需要多久
根據有關專家的介紹,芯片自身雖小,其制造工藝卻是極其復雜的過程,每一步都融合了諸多高科技技術,從專業角度介紹,芯片的制造要經過光刻、離子注入、時刻以及曝光等多重程序,其中光刻機主(zhu)要(yao)在(zai)光刻(ke)這一階段發揮作用(yong)。
由于芯(xin)片自身體(ti)積(ji)很小(xiao),但是卻要承(cheng)載著巨大的(de)功能,因(yin)此芯(xin)片的(de)光刻階段也需要十分(fen)細致的(de)操作,對于工作人員(yuan)的(de)要求是十分(fen)精細的(de)。
首先芯片(pian)的(de)(de)(de)光(guang)刻需(xu)要(yao)用到高(gao)端(duan)的(de)(de)(de)精密儀器進行操作(zuo)(zuo),其次還(huan)需(xu)要(yao)工(gong)作(zuo)(zuo)人員十分熟練。一旦發生一絲的(de)(de)(de)失(shi)誤,極有(you)可能導致芯片(pian)的(de)(de)(de)報廢(fei),因此芯片(pian)在進入光(guang)刻階段之前,其實還(huan)需(xu)要(yao)大(da)量的(de)(de)(de)準備工(gong)作(zuo)(zuo)。
這(zhe)就(jiu)需(xu)(xu)要(yao)設計師事先(xian)將圖紙準(zhun)備好,并且(qie)經受(shou)多種檢驗,這(zhe)一(yi)過程就(jiu)需(xu)(xu)要(yao)耗費很長的時間(jian),市場需(xu)(xu)要(yao)反復操作。
通過檢(jian)驗之后(hou),才能夠(gou)進入芯片(pian)的(de)(de)(de)正(zheng)式(shi)生產過程,而真正(zheng)光(guang)刻(ke)需要的(de)(de)(de)時(shi)(shi)間(jian)其實并(bing)沒有準(zhun)備時(shi)(shi)間(jian)那么長(chang),另外(wai)隨著技(ji)術(shu)的(de)(de)(de)發展,相信芯片(pian)制造的(de)(de)(de)整個過程耗費(fei)的(de)(de)(de)時(shi)(shi)間(jian)還將會越(yue)來(lai)越(yue)短。