一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄薄的氧(yang)化(hua)銦錫在可見光(guang)范圍內呈現透(tou)明狀(zhuang)。不過在紅外光(guang)線(xian)下，氧(yang)化(hua)銦錫層起(qi)著(zhu)不透(tou)明的作用，反射紅外線(xian)。

氧(yang)化(hua)銦錫作為一種n型半導(dao)體材料，具(ju)有高的(de)導(dao)電率、優異的(de)可見光(guang)透(tou)(tou)過率、較(jiao)強(qiang)的(de)機械硬度和(he)良好(hao)的(de)化(hua)學穩定性，主(zhu)要用于制作液晶顯示(shi)器、平板顯示(shi)器、等(deng)離子(zi)顯示(shi)器、觸(chu)摸屏、電子(zi)紙、有機發光(guang)二極(ji)管、太陽能電池、抗靜電鍍(du)膜、EMI屏蔽的(de)透(tou)(tou)明(ming)傳導(dao)鍍(du)、各種光(guang)學鍍(du)膜等(deng)。

ITO靶材(cai)是濺(jian)射靶材(cai)中的(de)一(yi)種，主要(yao)通過磁控(kong)濺(jian)射將(jiang)ITO靶材(cai)氣化，濺(jian)鍍(du)到玻璃基(ji)板或柔性有機薄膜(mo)上，制造成ITO薄膜(mo)，后者為透明導(dao)電氧化物薄膜(mo)，厚度一(yi)般為30-200納米。

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二、ITO靶材應用領域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領域，ITO靶材主(zhu)要用(yong)(yong)于(yu)制作(zuo)ITO導電(dian)玻璃及觸控屏電(dian)極平板(ban)，是(shi)LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類平板(ban)顯示器件制備(bei)的核心材(cai)(cai)料。顯示面板(ban)一般涉及上下兩層ITO導電(dian)膜，用(yong)(yong)量較大，ITO靶材(cai)(cai)是(shi)平板(ban)顯示領域用(yong)(yong)量最大的靶材(cai)(cai)之一。

ITO導電(dian)(dian)膜玻(bo)(bo)璃(li)按電(dian)(dian)阻(zu)(zu)分(fen)為(wei)：高(gao)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)范圍在150~500歐(ou)(ou)姆）、普通玻(bo)(bo)璃(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)范圍在60~150歐(ou)(ou)姆）、低電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)范圍小于(yu)60歐(ou)(ou)姆）。其中高(gao)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)一(yi)般用于(yu)靜電(dian)(dian)防護、觸控屏幕制(zhi)作用；普通玻(bo)(bo)璃(li)一(yi)般用于(yu)TN類液晶顯示器和電(dian)(dian)子抗干(gan)擾；低電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)一(yi)般用于(yu)STN、TFT液晶顯示器和透明線路板。

LCD面板組件總(zong)厚度(du)不(bu)到1公分，內(nei)部包含20多項材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)及元件。不(bu)同類(lei)型LCD所需材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)不(bu)盡相同，但(dan)基本結(jie)構類(lei)似(si)，即在ITO導電(dian)膜玻璃(li)內(nei)夾著彩色(se)濾光(guang)片、偏光(guang)板、配向膜等材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)，灌入液(ye)晶材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)，后(hou)封裝(zhuang)成一個液(ye)晶盒。因(yin)此，ITO導電(dian)膜玻璃(li)作為(wei)LCD面板的關鍵基礎材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)，約占(zhan)(zhan)LCD面板材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)成本的30%，而(er)ITO靶(ba)材(cai)(cai)(cai)約占(zhan)(zhan)導電(dian)玻璃(li)成本的20%。

2、薄膜太陽能電池（純度4N）

ITO是(shi)一種透(tou)明導電(dian)層，在太陽(yang)(yang)能電(dian)池(chi)(chi)中(zhong)作(zuo)為(wei)(wei)透(tou)光層，同時作(zuo)為(wei)(wei)電(dian)極(ji)，一般為(wei)(wei)正(zheng)極(ji)，另(ling)一個電(dian)極(ji)一般以金屬銀或鋁作(zuo)為(wei)(wei)背(bei)電(dian)極(ji)使用(yong)。ITO靶材主要用(yong)于生成太陽(yang)(yang)能薄膜電(dian)池(chi)(chi)的背(bei)電(dian)極(ji)，主要需求為(wei)(wei)方(fang)形板狀靶材。

3、保溫透光領域

ITO透明(ming)導電(dian)(dian)膜(mo)玻(bo)(bo)璃(li)作(zuo)為面(mian)發熱(re)體，通電(dian)(dian)后可以除冰(bing)霜，用(yong)(yong)于飛機擋風玻(bo)(bo)璃(li)、飛機眩窗、激光測距(ju)儀、潛望鏡觀(guan)察(cha)窗等，多年來已得(de)到了廣(guang)泛的應用(yong)(yong)。ITO透明(ming)導電(dian)(dian)膜(mo)玻(bo)(bo)璃(li)正反面(mian)具有(you)相反的紅外(wai)線(xian)通過(guo)及(ji)反射性能(neng)，玻(bo)(bo)璃(li)正面(mian)具有(you)優(you)良的紅外(wai)線(xian)通過(guo)性，衰減量極小，而反面(mian)又具有(you)紅外(wai)線(xian)阻(zu)擋反射作(zuo)用(yong)(yong)，因而該(gai)種玻(bo)(bo)璃(li)具有(you)優(you)良的保溫透光性能(neng)，已大量用(yong)(yong)于制造冷藏(zang)柜，隨(sui)著成本(ben)的降低將有(you)望用(yong)(yong)于房(fang)屋節能(neng)。