一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄薄的氧化銦錫在(zai)可見(jian)光(guang)范(fan)圍內(nei)呈現透(tou)(tou)明狀。不(bu)過在(zai)紅外(wai)光(guang)線(xian)下(xia)，氧化銦錫層(ceng)起著(zhu)不(bu)透(tou)(tou)明的作用，反射紅外(wai)線(xian)。

氧(yang)化(hua)銦錫作為一(yi)種n型半導(dao)體材料(liao)，具(ju)有高的(de)(de)導(dao)電(dian)率、優(you)異的(de)(de)可見光透(tou)過率、較強的(de)(de)機(ji)(ji)械硬度和(he)良好的(de)(de)化(hua)學穩定性，主(zhu)要(yao)用于制作液晶顯(xian)(xian)示器(qi)、平板顯(xian)(xian)示器(qi)、等(deng)(deng)離(li)子(zi)顯(xian)(xian)示器(qi)、觸摸屏、電(dian)子(zi)紙、有機(ji)(ji)發光二極管、太陽能電(dian)池、抗靜(jing)電(dian)鍍膜(mo)、EMI屏蔽的(de)(de)透(tou)明傳導(dao)鍍、各種光學鍍膜(mo)等(deng)(deng)。

ITO靶(ba)材(cai)是濺(jian)射靶(ba)材(cai)中的一種，主(zhu)要通過(guo)磁控濺(jian)射將ITO靶(ba)材(cai)氣化(hua)(hua)，濺(jian)鍍到玻璃基板或柔(rou)性(xing)有機薄膜上，制造成(cheng)ITO薄膜，后者為透(tou)明導電氧化(hua)(hua)物(wu)薄膜，厚(hou)度一般為30-200納(na)米。

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二、ITO靶材應用領域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領域，ITO靶材主(zhu)要用于(yu)制作ITO導電玻璃及觸控屏(ping)電極(ji)平(ping)板，是LCD、PDP、OLED、觸摸屏(ping)等(deng)各類平(ping)板顯示器件制備的核心材料。顯示面板一般涉(she)及上下兩層ITO導電膜，用量較大(da)，ITO靶(ba)材是平(ping)板顯示領域用量最大(da)的靶(ba)材之一。

ITO導電(dian)膜玻(bo)璃按電(dian)阻(zu)分為：高電(dian)阻(zu)玻(bo)璃（電(dian)阻(zu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)(wei)(wei)在150~500歐姆(mu)）、普(pu)通(tong)玻(bo)璃（電(dian)阻(zu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)(wei)(wei)在60~150歐姆(mu)）、低電(dian)阻(zu)玻(bo)璃（電(dian)阻(zu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)(wei)(wei)小于(yu)60歐姆(mu)）。其中高電(dian)阻(zu)玻(bo)璃一般(ban)(ban)用(yong)于(yu)靜電(dian)防護、觸控屏幕制(zhi)作(zuo)用(yong)；普(pu)通(tong)玻(bo)璃一般(ban)(ban)用(yong)于(yu)TN類(lei)液(ye)(ye)晶(jing)顯示(shi)器和電(dian)子抗干擾；低電(dian)阻(zu)玻(bo)璃一般(ban)(ban)用(yong)于(yu)STN、TFT液(ye)(ye)晶(jing)顯示(shi)器和透(tou)明(ming)線路板。

LCD面板(ban)組件總厚度不(bu)(bu)到1公分，內部包含20多(duo)項材(cai)(cai)料(liao)(liao)及元(yuan)件。不(bu)(bu)同(tong)類(lei)型(xing)LCD所需(xu)材(cai)(cai)料(liao)(liao)不(bu)(bu)盡相同(tong)，但基本(ben)結構(gou)類(lei)似，即在(zai)ITO導(dao)電(dian)膜玻(bo)璃(li)內夾著彩色濾光片、偏(pian)光板(ban)、配向膜等(deng)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，灌入液(ye)(ye)晶材(cai)(cai)料(liao)(liao)，后封裝(zhuang)成一個液(ye)(ye)晶盒。因此，ITO導(dao)電(dian)膜玻(bo)璃(li)作為(wei)LCD面板(ban)的關鍵基礎材(cai)(cai)料(liao)(liao)，約占LCD面板(ban)材(cai)(cai)料(liao)(liao)成本(ben)的30%，而ITO靶材(cai)(cai)約占導(dao)電(dian)玻(bo)璃(li)成本(ben)的20%。

2、薄膜太陽能電池（純度4N）

ITO是一(yi)種透明導電層(ceng)，在太陽能(neng)電池(chi)中作為透光(guang)層(ceng)，同時(shi)作為電極(ji)，一(yi)般為正極(ji)，另一(yi)個電極(ji)一(yi)般以金屬(shu)銀或鋁作為背電極(ji)使用。ITO靶材(cai)主要用于生成(cheng)太陽能(neng)薄(bo)膜電池(chi)的背電極(ji)，主要需求為方形板狀(zhuang)靶材(cai)。

3、保溫透光領域

ITO透明導電膜玻(bo)璃(li)(li)(li)作(zuo)為(wei)面(mian)發熱體(ti)，通(tong)電后可以除冰霜，用(yong)于(yu)(yu)飛(fei)機擋(dang)風玻(bo)璃(li)(li)(li)、飛(fei)機眩窗、激(ji)光測距儀、潛望鏡(jing)觀(guan)察窗等，多年來已得(de)到了廣泛的(de)(de)應用(yong)。ITO透明導電膜玻(bo)璃(li)(li)(li)正(zheng)反(fan)面(mian)具有(you)相反(fan)的(de)(de)紅外(wai)(wai)線(xian)通(tong)過及反(fan)射(she)性(xing)(xing)能，玻(bo)璃(li)(li)(li)正(zheng)面(mian)具有(you)優良(liang)的(de)(de)紅外(wai)(wai)線(xian)通(tong)過性(xing)(xing)，衰(shuai)減量極小，而(er)反(fan)面(mian)又具有(you)紅外(wai)(wai)線(xian)阻擋(dang)反(fan)射(she)作(zuo)用(yong)，因而(er)該(gai)種玻(bo)璃(li)(li)(li)具有(you)優良(liang)的(de)(de)保溫透光性(xing)(xing)能，已大量用(yong)于(yu)(yu)制造冷藏(zang)柜(ju)，隨著成本(ben)的(de)(de)降低將有(you)望用(yong)于(yu)(yu)房屋節能。