一、芯片封裝需要光刻機嗎
光刻機是制造芯片的核心裝備,很多朋友都知道,一般是芯片制造過程中使用,芯片封裝和芯(xin)片制造不同,那么芯(xin)片封裝要(yao)用光刻機嗎?
一(yi)般來說,普(pu)通芯片封(feng)裝不需(xu)要用(yong)到光刻機,不過高端芯片封(feng)測,比如晶圓級(ji)封(feng)測,就(jiu)需(xu)要用(yong)到光刻機。不過值得(de)一(yi)提的(de)是(shi),芯片封(feng)裝用(yong)的(de)光刻機和我們平時常說的(de)光刻機其實是(shi)有所不同的(de)。
二、芯片封裝用的什么光刻機
芯片封裝用的光刻機是封裝光刻機,又叫后道光刻機;而我們常說的卡脖子的光刻機,實(shi)際上是用(yong)于晶圓(yuan)制造的前道光(guang)刻(ke)機(ji):
1、前道(dao)光(guang)刻機(ji)又分(fen)為(wei)EUV和DUV光(guang)刻機(ji)。EUV也就是(shi)“極深紫外線”的(de)(de)意思,EUV能滿足10nm以下的(de)(de)晶(jing)圓制造(zao);而DUV是(shi)“深紫外線”的(de)(de)意思,DUV基本上只能做到25nm。
2、后道光刻機是用于芯片封裝,相比(bi)前(qian)道光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)來說,技術含量要低不少(shao),精度方面也有所差(cha)距,后道光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)已經可以國(guo)產了,并且很(hen)多國(guo)產的封裝光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)在后道光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)領域做到了世(shi)界領先水平。