一、芯片封裝需要光刻機嗎
光刻機是制造芯片的核心裝備,很多朋友都知道,一般是芯片制造過程中使用,芯片封裝和芯片制造不同,那(nei)么芯片封(feng)裝(zhuang)要用光刻機嗎?
一(yi)般來(lai)說(shuo),普通芯(xin)片(pian)(pian)封(feng)裝不(bu)需要(yao)用(yong)到光刻(ke)(ke)機,不(bu)過(guo)高端(duan)芯(xin)片(pian)(pian)封(feng)測(ce),比(bi)如晶圓級(ji)封(feng)測(ce),就需要(yao)用(yong)到光刻(ke)(ke)機。不(bu)過(guo)值得一(yi)提的是,芯(xin)片(pian)(pian)封(feng)裝用(yong)的光刻(ke)(ke)機和我(wo)們平時常(chang)說(shuo)的光刻(ke)(ke)機其(qi)實是有所不(bu)同的。
二、芯片封裝用的什么光刻機
芯片封裝用的光刻機是封裝光刻機,又叫后道光刻機;而我們常說的卡脖子的光刻機,實(shi)際上是用(yong)于晶圓制造(zao)的(de)前道光刻機:
1、前道光刻機又分為EUV和(he)DUV光刻機。EUV也就(jiu)是“極深(shen)紫外(wai)線”的意(yi)思,EUV能滿足10nm以下的晶圓制造(zao);而(er)DUV是“深(shen)紫外(wai)線”的意(yi)思,DUV基本上只能做到25nm。
2、后道光刻機是用于芯片封裝,相(xiang)比前道光(guang)(guang)刻機來說,技(ji)術含量(liang)要低不少,精度方面(mian)也有所差距(ju),后道光(guang)(guang)刻機已經可以國(guo)產(chan)(chan)了(le),并(bing)且很(hen)多國(guo)產(chan)(chan)的(de)封(feng)裝(zhuang)光(guang)(guang)刻機在后道光(guang)(guang)刻機領(ling)域做到了(le)世界領(ling)先水平。