一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀(xi)有金(jin)屬(shu)，通常(chang)指在(zai)自然(ran)界中含量較(jiao)少或分(fen)布稀(xi)散的金(jin)屬(shu)，它們難于從原(yuan)料中提(ti)取，在(zai)工(gong)業上制備和應用較(jiao)晚，但在(zai)現(xian)代(dai)工(gong)業中有廣泛的用途。中國稀(xi)有金(jin)屬(shu)資源豐富，如鎢、鈦(tai)、稀(xi)土、釩(fan)、鋯、鉭、鈮、鋰、鈹等已探明的儲量，正在(zai)逐步(bu)建立稀(xi)有金(jin)屬(shu)工(gong)業體系(xi)。

稀(xi)有輕(qing)金屬：包括鋰Li、銣Rb、銫Cs、鈹Be。比重(zhong)較小，化學活(huo)性強。

稀有難熔金屬：包括鈦(tai)、鋯、鉿、釩、鈮、鉭、鉬、鎢。熔點(dian)較高，與碳、氮、硅、硼等生成的(de)化合(he)物熔點(dian)也較高。

稀(xi)有(you)分散金屬：簡(jian)稱稀(xi)散金屬，包括鎵、銦、鉈、鍺、錸以及硒、碲。大部分賦存于(yu)其他元素(su)的礦物中。

稀有稀土金屬：簡稱(cheng)稀土金屬，包括鈧、釔(yi)及(ji)鑭(lan)系元(yuan)素。它(ta)們的化學性質非常(chang)相似，在礦物中相互伴生。

稀有放(fang)射(she)性金屬：包括天然(ran)存在的鈁、鐳(lei)、釙和(he)錒(a)系金屬中的錒(a)、釷、鏷、鈾(you)，以及(ji)人工制(zhi)造的锝、钷(po)、錒(a)系其他元素和(he)104至(zhi)107號元素。

上述分類(lei)不是(shi)十分嚴格的(de)。有(you)些(xie)稀有(you)金屬既可以列(lie)入(ru)(ru)這(zhe)一類(lei)又可列(lie)入(ru)(ru)另一類(lei)。例如錸可列(lie)入(ru)(ru)稀散(san)金屬也可列(lie)入(ru)(ru)稀有(you)難熔金屬。但(dan)是(shi)從上述描述中(zhong)不難看出(chu)，有(you)些(xie)特殊(shu)應用的(de)濺射靶材的(de)金屬成分的(de)確屬于稀缺(que)資源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都是可以回(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)用(yong)(yong)的(de)。比如金靶(ba)材、銀(yin)靶(ba)材、鈀(ba)靶(ba)材等(deng)都可以回(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)用(yong)(yong)。以ITO銀(yin)靶(ba)材為例，生產加工時銀(yin)靶(ba)材會被(bei)打(da)穿(chuan)，產生的(de)絲狀殘料這(zhe)些(xie)都是可以回(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)用(yong)(yong)的(de)，廢(fei)料上(shang)會沾染少(shao)量的(de)銦，說(shuo)是氧化用(yong)(yong)的(de)，這(zhe)種銦元素處理一下就(jiu)可以了。所以含金、銀(yin)、鈀(ba)、鉑(bo)、銠這(zhe)些(xie)貴(gui)金屬的(de)靶(ba)材都可以回(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)用(yong)(yong)的(de)，還有合金靶(ba)材之類(lei)的(de)。