一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀(xi)有金(jin)屬，通常(chang)指在(zai)自(zi)然(ran)界(jie)中含量較(jiao)少或(huo)分布(bu)稀(xi)散的(de)(de)金(jin)屬，它(ta)們難于(yu)從原料(liao)中提(ti)取，在(zai)工業(ye)上制備和應用較(jiao)晚(wan)，但在(zai)現代工業(ye)中有廣泛的(de)(de)用途(tu)。中國(guo)稀(xi)有金(jin)屬資(zi)源豐(feng)富，如鎢、鈦、稀(xi)土、釩(fan)、鋯、鉭、鈮、鋰、鈹等已(yi)探明的(de)(de)儲量，正在(zai)逐(zhu)步建(jian)立(li)稀(xi)有金(jin)屬工業(ye)體(ti)系。

稀有(you)輕(qing)金屬(shu)：包(bao)括鋰(li)Li、銣Rb、銫Cs、鈹Be。比重較小(xiao)，化學活(huo)性強。

稀有難熔金屬：包括鈦、鋯、鉿(jia)、釩、鈮、鉭、鉬、鎢。熔點較高，與碳、氮、硅、硼等生成(cheng)的化合物熔點也較高。

稀有分散金屬：簡稱稀散金屬，包(bao)括鎵、銦、鉈、鍺(zang)、錸(lai)以(yi)及硒(xi)、碲。大部分賦存(cun)于其他元素的(de)礦物(wu)中。

稀有(you)稀土(tu)金(jin)(jin)屬：簡(jian)稱稀土(tu)金(jin)(jin)屬，包(bao)括鈧、釔(yi)及鑭系元素。它們(men)的化學性(xing)質(zhi)非常相(xiang)似，在礦物中相(xiang)互伴生。

稀有放射性金(jin)屬：包括(kuo)天然存在的鈁、鐳、釙和(he)錒(a)系(xi)金(jin)屬中的錒(a)、釷、鏷、鈾，以(yi)及人工制造的锝(de)、钷、錒(a)系(xi)其(qi)他(ta)元(yuan)素(su)(su)和(he)104至107號元(yuan)素(su)(su)。

上述(shu)(shu)分類不是(shi)十(shi)分嚴格(ge)的。有(you)些稀有(you)金屬(shu)(shu)既可(ke)以列(lie)入(ru)這一(yi)類又可(ke)列(lie)入(ru)另一(yi)類。例如錸可(ke)列(lie)入(ru)稀散金屬(shu)(shu)也可(ke)列(lie)入(ru)稀有(you)難熔金屬(shu)(shu)。但是(shi)從上述(shu)(shu)描述(shu)(shu)中不難看(kan)出，有(you)些特殊應用的濺射靶材的金屬(shu)(shu)成分的確屬(shu)(shu)于稀缺(que)資源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或(huo)殘料(liao)(liao)什么(me)都(dou)(dou)(dou)是(shi)可(ke)以(yi)(yi)回收(shou)(shou)再利(li)用(yong)的(de)。比(bi)如(ru)金靶材(cai)(cai)、銀(yin)(yin)靶材(cai)(cai)、鈀靶材(cai)(cai)等都(dou)(dou)(dou)可(ke)以(yi)(yi)回收(shou)(shou)再利(li)用(yong)。以(yi)(yi)ITO銀(yin)(yin)靶材(cai)(cai)為例，生產加工時銀(yin)(yin)靶材(cai)(cai)會被打穿，產生的(de)絲狀殘料(liao)(liao)這(zhe)些都(dou)(dou)(dou)是(shi)可(ke)以(yi)(yi)回收(shou)(shou)再利(li)用(yong)的(de)，廢(fei)料(liao)(liao)上會沾染少量的(de)銦(yin)，說是(shi)氧(yang)化用(yong)的(de)，這(zhe)種銦(yin)元(yuan)素處理(li)一(yi)下(xia)就可(ke)以(yi)(yi)了。所以(yi)(yi)含(han)金、銀(yin)(yin)、鈀、鉑(bo)、銠這(zhe)些貴金屬的(de)靶材(cai)(cai)都(dou)(dou)(dou)可(ke)以(yi)(yi)回收(shou)(shou)再利(li)用(yong)的(de)，還有(you)合金靶材(cai)(cai)之類(lei)的(de)。