一、硅片清洗機工作原理是什么
硅(gui)片清(qing)洗(xi)(xi)機是(shi)利用超聲波清(qing)洗(xi)(xi)技術,在(zai)清(qing)洗(xi)(xi)過程中(zhong)超聲波頻(pin)率在(zai)合理(li)的范圍內(nei)往復(fu)掃動(dong),帶(dai)(dai)動(dong)清(qing)洗(xi)(xi)液(ye)形成細微回(hui)流,使(shi)工件污(wu)垢在(zai)被超聲剝離(li)的同時迅速帶(dai)(dai)離(li)工件表面,提高(gao)清(qing)洗(xi)(xi)效(xiao)率。
具體的(de)原理有以下:
1、真空(kong)脫氣,有效去(qu)除液體中氣體,且運用拋動功能(neng),增強超聲對工件表(biao)面油污和(he)污垢的(de)清洗能(neng)力,縮短清洗時間。
2、洗籃(lan)轉(zhuan)動機構,重(zhong)疊不可分拆的(de)(de)零件或形狀復(fu)雜的(de)(de)零件,也可做(zuo)到均勻(yun)完整的(de)(de)清洗。
3、減(jian)(jian)壓(ya)真空系統,能吸出盲孔、縫隙及疊加零件(jian)之間的(de)空氣,使超聲波在減(jian)(jian)壓(ya)的(de)狀態下產生驚人(ren)的(de)清洗效果。
4、真空蒸汽清(qing)洗+真空干(gan)燥系統,利用蒸汽洗凈做養護,完美(mei)實現清(qing)洗效果。
5、蒸(zheng)汽清(qing)洗、干燥及清(qing)洗液加(jia)熱的全過程在減(jian)壓(ya)真(zhen)空(kong)中進(jin)行,更有(you)效地確(que)保了安全性。
6、防(fang)爆配(pei)件及簡潔(jie)加熱系統,進一步提(ti)高安全度。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清洗(xi)工件放入料(liao)框(kuang)(kuang)(kuang)內(nei)(nei)專用(yong)固定(ding)夾內(nei)(nei),由(you)人(ren)工將(jiang)料(liao)框(kuang)(kuang)(kuang)放上(shang)入料(liao)口,等工位機(ji)械手自動將(jiang)料(liao)框(kuang)(kuang)(kuang)送入清洗(xi)機(ji)本體,上(shang)下(xia)提(ti)升機(ji)構依(yi)照PLC指定(ding)的程(cheng)序(xu)將(jiang)料(liao)框(kuang)(kuang)(kuang)搬(ban)送到相應高度位置。
2、完成對工件的清(qing)洗、噴淋(lin)、漂(piao)洗、慢提拉脫水和熱(re)風干(gan)燥后(hou)、送至清(qing)洗機出口(kou),運送到卸料臺出料,等工位機械手(shou)由氣(qi)缸橫向驅動(dong),直(zhi)線(xian)滑(hua)軌導向。
3、上下提升(sheng)由馬(ma)達驅動,直線(xian)導(dao)軸(zhou)導(dao)向(xiang)(xiang),慢提拉(la)提升(sheng)機(ji)構由變頻馬(ma)達驅動,直線(xian)滑塊導(dao)向(xiang)(xiang),上下料由上下提升(sheng)機(ji)構獨(du)立完成(cheng),采用觸摸屏操(cao)作系統,有手動和自動切換(huan)開關及有關操(cao)作按(an)鈕,能對整個運行過程實行控制。